• Korean Chemical Engineering Research
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• 제46권4호
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• pp.676-680
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• 2008

Radio-frequency (rf) 마그네트론 스퍼터링법을 이용하여 $SiO_2(2000{\AA})/Si$ 기판위에 TiN 박막이 증착되었다. $N_2/Ar$ 혼합가스에서 $N_2$ 가스의 농도, rf power, 공정압력 등을 변화시켜서 TiN 박막이 증착되었고 증착된 박막의 증착속도, 전기저항도 및 표면의 거칠기 등이 조사되었다. $N_2$ 가스의 농도가 증가함에 따라서 증착속도는 감소하였고 저항도는 증가하였으며 표면의 거칠기는 감소하였다. rf power가 증가함에 따라서 증착속도는 증가하였지만 저항도는 감소하였다. 증착압력의 증가에 따라서 증착속도는 큰 변화가 없었지만 저항도가 급격히 증가하였으며, 1 mTorr의 압력에서 $2.46{\times}10^{-4}{\Omega}cm$의 저항도를 갖는 TiN 박막이 얻어졌다. 박막의 증착속도와 저항도는 상관관계가 있는 것이 관찰되었고 특히 증착압력이 박막의 저항도에 가장 큰 영향을 미치는 것을 알 수 있었다.

• 한국항공우주학회지
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• 제45권5호
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• pp.409-416
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• 2017

공중의 비행체에 필요한 정보를 전달하는 광대역 송신시스템은 근거리에서 동시에 운용될 수 있도록 다수의 부채널 주파수를 확보하고 있다. 취약한 외부환경에 노출되는 송신기의 경우, 시스템의 신뢰성을 높이기 위하여 안테나를 포함하여 다른 내부의 하위 구성품들의 자체고장진단을 할 수 있도록 설계되어야 한다. 안테나 자체고장진단은 보통의 경우 안테나 반사세기를 기준으로 판정 내리는데, 증폭단과 안테나가 긴 길이의 케이블로 연결될 경우는 안테나 반사세기가 주파수마다 많은 차이가 발생된다. 본 논문에서는 증폭단과 안테나의 연결에 사용되는 케이블 길이에 따라 안테나 반사세기가 주기성을 갖는 현상을 이론적으로 살펴보고, 반사세기 반복주기를 기반으로 점검주파수 범위설정, 다수 주파수 설정 점검 등을 이용하여 효과적인 안테나 고장진단 방법에 대하여 제시한다.

• Journal of information and communication convergence engineering
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• 제8권2호
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• pp.159-162
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• 2010

This paper presents a new Kurtosis driven Variable Step-Size Normalized Least Mean Square (KVSSN-LMS) algorithm to prevent repeater from oscillation due to feedback signal of radio frequency (RF) repeater. To get better Mean Square Error (MSE) performance, step-size is adjusted using the kurtosis. The proposed algorithm shows the better performance of steady state MSE. The proposed algorithm shows a better ERLE performance than that of KVSS-LMS, VSS-NLMS, NLMS algorithms.

• 조명전기설비학회논문지
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• 제20권1호
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• pp.19-26
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• 2006

용량결합고주파(ccrf)방전은 홀로우음극방전이나, 직류방전에 비해서 방전관의 구조가 간단하고 균질한 플라즈마를 발생시키는 장점을 가지고 있다. 본 논문에서는 ccrf-방전을 기체레이저의 여기에 적용하기 위한 목표를 가지고 방전시스템을 선계, 제작하여 연속운전의 균질한 방전을 실현하였다. 13.56[MHz]의 rf-전력을 방전 내부로 효율적으로 결합하기 위해서 내부직경 5[mm]의 레이저방전관에 특수하게 제작된 rf-전극을 사용하였다. 또한 방전관의 임피던스가 rf-발생기의 풀력저항 50[$\Omega$]에 정합을 이루는 임피던스 정합회로를 개발하였다.

• 한국전자파학회지:전자파기술
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• 제13권2호
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• pp.22-32
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• 2002

MEMS(Micro-Electro-Mechanical Systems)는 전기적인 구성요소와 기계적인 구성요소를 작게 조합하여 구성한 소자나 시스템을 말한다. RF(Radio Frequency) MEMS는 MEMS를 이용한 RF 소자나 시스템을 의미하며, 본 고에서는 RF 소자에 대하여 논의하고자 한다. MEMS는 RF 소자의 성능, 기능, 집적화 등을 높여 주고, 크기, 가격, 부피, 전력 소모 등을 낮추어 주므로 소자 개발에 대한 연구는 매우 다양하지만, 본 고에서는 움직이는 소자 중에서 가장 많이 연구되고 있는 mechanical RF switch에 대하여 중점적으로 다루고자 한다. 이에 대한 연구 동향, 특성, 응용 분야 등을 살펴보고, 상품으로서의 가치를 인정 받기 위하여 고려해야 할 점들을 논의 하겠다.

• Current Optics and Photonics
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• 제5권4호
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• pp.466-476
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• 2021

Frequency-multiplication technology based on microwave photonic principles can be used to generate microwave and millimeter wave signals with a wide frequency tuning range. However, the existing cascaded external modulation frequency-tupling scheme needs to ensure the phase coherence of the modulated Radio Frequency (RF) signal, while the phase modulation directly limits the frequency tuning range of the external modulation frequency multiplication. In this paper, a novel approach for generating an incoherent frequency 12-tupling signal with cascade modulation is proposed. The structure of cascaded dual-parallel Mach-Zehnder modulators can generate a frequency 12-tupling signal. The proposed structure uses no filter or phase control of the RF driving signal. Microwave photonic frequency-tupling was realized under incoherent conditions. Software simulations and experiments validated the proposed structure and proved that it can generate frequency 12-tupling microwave signals under incoherent conditions. Both the frequency range and reliability of the frequency-tupling system has been improved by the proposed structure.

• 한국전기전자재료학회논문지
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• 제14권8호
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• pp.622-628
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• 2001

We developed 1- and 2-dimensional fluid model for the analysis of a capacitively coupled Ar RF(Radio Frequency) glow discharge. This discharge is in pure Ar gas at the pressure 100[mTorr], frequency 13.56[MHz] and voltage amplitude 120[V}. This model is based on the equations of continuity and electron energy conservation coupled with Poison equation. 2-dimensional model is simulated on the condition of GEC(Gaseous Electronic Conference cell). The geometry of the discharge chamber and the electrodes used in the model is cylindrically simmetric; tow cylinders for the electrodes are surrounded by the grounded chamber. It is shown that 1-dimensional model is very useful on the understanding of RF glow discharge property and of the movement of charged particles. 2-dimensional model predicts off-axis maximum structure as in the experiments and has the results in qualitatively and quantitatively good agreement with the experiments. Effects of dc self-bias voltage, guard ring and reactor geometry is discussed.

• 한국전기전자재료학회논문지
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• 제21권4호
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• pp.296-299
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• 2008

The effects of radio frequency (RF) source power for decoupled plasma nitridation (DPN) process on the electrical properties and Fowler-Nordheim (FN) stress immunity of the oxynitride gate dielectrics for deep nano-technology devices has been investigated. With increase of RF source power, the threshold voltage (Vth) of a NMOS transistor(TR) decreased and that of a PMOS transistor increased, indicating that the increase of nitrogen incorporation in the oxynitride layer due to higher RF source power induced more positive fixed charges. The improved off-current characteristics and wafer uniformity of PMOS Vth were observed with higher RF source power. FN stress immunity, however, has been degenerated with increasing RF source power, which was attributed to the increased trap sites in the oxynitride layer. With the experimental results, we could optimize the DPN process minimizing the power consumption of a device and satisfying the gate oxide reliability.

• Journal of Magnetics
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• 제16권2호
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• pp.140-144
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• 2011

We report on a numerical calculation study of two new functional properties in magnetic tunnel junctions (MTJs), negative dynamic resistance and RF amplification. The magnetic dynamics in a conventional CoFeB/MgO/CoFeB MTJ with in-plane magnetization was investigated using a macro-spin model simulation. To examine the influence of thermal fluctuations, random external magnetic fields were also included. Using a voltage controlled bias circuit, the negative dynamic resistance was obtained from time averaged I-V characteristics at both 0 K and 300 K under appropriate external magnetic fields and bias voltages. Using this negative dynamic resistance property, we demonstrated RF amplification with a 100 MHz high frequency signal. Sizable RF amplification gain was observed without thermal fluctuation. However, at 300 K, the RF signal was not amplified because low frequency magnetization dynamics were dominant.

• 한국전기전자재료학회:학술대회논문집
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• 한국전기전자재료학회 2007년도 추계학술대회 논문집
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• pp.356-357
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• 2007

In this paper, we developed an integrated miniaturized device which acquires and transmits the signal of ECG an interested heartbeat and body's temperature and humidity. Using an amplifier circuit on the electrodes and the radio frequency transmission, the developed system dispenses with the use of cables among the electrodes, amplifier, and the post processing system. The sensor signals are transmitted to the RF-wireless terminal that was developed using the micro controller Aduc812, LCD, RF-module (frequency 424MHz, 9600-bps). In results, the developed system improves not only the signal-to-noise ration in dynamic ECG & and body's temperature and humidity measurement, but also the user convenience.