The Effect of Silicon-Alloying on the Characteristics of the Pyrolytic Carbonds Deposited in Tumbling Bed by CVD (Tumbling Bed에서 화학증착법에 의해 증착되는 열분해탄소의 특성에 미치는 Silicon-Alloying의 효과)
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- Journal of the Korean Ceramic Society
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- v.20 no.2
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- pp.166-172
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- 1983