• 제목/요약/키워드: Probe Pin

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Slit Wafer Etching Process for Fine Pitch Probe Unit

  • 한명수;박일몽;한석만;고항주;김효진;신재철;김선훈;윤현우;안윤태
    • 한국진공학회:학술대회논문집
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    • 한국진공학회 2011년도 제41회 하계 정기 학술대회 초록집
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    • pp.277-277
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    • 2011
  • 디스플레이의 기술발전에 의해 대면적 고해상도의 LCD가 제작되어 왔다. 이에 따라 LCD 점등검사를 위한 Probe Unit의 기술 또한 급속도로 발전하고 있다. 고해상도에 따라 TFT LCD pad가 미세피치화 되어가고 있으며, panel의 검사를 위한 Probe 또한 30 um 이하의 초미세피치를 요구하고 있다. 따라서, 초미세 pitch의 LCD panel의 점등검사를 위한 Probe Unit의 개발이 시급하가. 본 연구에서는 30 um 이하의 미세피치의 Probe block을 위한 Slit wafer의 식각 공정 조건을 연구하였다. Si 공정에서 식각율과 식각깊이에 따른 profile angle의 목표를 설정하고, 식각조건에 따라 이 두 값의 변화를 관측하였다. 식각실험으로 Si DRIE 장비를 이용하여, chamber 압력, cycle time, gas flow, Oxygen의 조건에 따라 각각의 단면 및 표면을 SEM 관측을 통해 최적의 식각 조건을 찾고자 하였다. 식각율은 5um/min 이상, profile angle은 $90{\pm}1^{\circ}$의 값을 목표로 하였다. 이 때 최적의 식각조건은 Etching : SF6 400 sccm, 10.4 sec, passivation : C4F8 400 sccm, 4 sec의 조건이었으며, 식각공정의 Coil power는 2,600 W이었다. 이러한 조건의 공정으로 6 inch Si wafer에 공정한 결과 균일한 식각율 및 profile angle 값을 보였으며, oxygen gas를 미량 유입함으로써 식각율이 균일해짐을 알 수 있었다. 결론적으로 최적의 Slit wafer 식각 조건을 확립함으로써 Probe Unit을 위한 Pin 삽입공정 또한 수율 향상이 기대된다.

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초소형 40 GHz Hairpin 대역통과 여파기 (Compact 40 GHz Hairpin Band-Pass Filter)

  • 이영철
    • 한국항행학회논문지
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    • 제22권1호
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    • pp.27-30
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    • 2018
  • 본 연구에서는, 밀리미터파 무선 통신 시스템 응용을 위하여 hairpin 구조를 응용한 40 GHz 대역통과 여파기 (BPF; band pass filter)를 설계 및 제작하여 그 특성을 측정하였다. 3차원 전자계분석 툴과 hairpin BPF 설계 수식을 이용하여, 비유전율 2.2와 5 mil 두께의 Duroid (RT5880) 기판에 BPF를 설계하였다. 입 출력단에서 U-shape 공진기의 tapping 위치(t)는 external Q-factor ($Q_e$)를 추출하여 결정하였고, 다른 공진기들 사이의 커플링 계수는 필터 특성을 고려하면서 물리적 치수를 조정하여 결정하였다. 제작된 hairpin BPF는 probe station에서 probing 방법으로 측정하였고, 중심 주파수와 대역폭은 각각 41.61 GHz 그리고 7.43 %으로 나타났다. 측정된 입력 및 출력 반사 손실은 통과 대역에서 -10 dB 이하 이고 측정된 삽입손실은 -3.94 dB이다. 제작된 여파기의 크기는 $9.1{\times}2.8mm^2$ 이다.

아크 금속 용사 공법에 의해 코팅된 콘크리트의 전자기파 차폐 성능 확보를 위한 실험적 연구 (An Experimental Study to Secure Electromagnetic Pulse Shielding Performance of Concrete Coated by an Arc Metal Spraying Process)

  • 장종민;정화랑;이한승
    • 한국건축시공학회지
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    • 제21권6호
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    • pp.519-527
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    • 2021
  • 본 연구에서는 기존의 전자기파 차폐 성능이 없는 콘크리트를 대상으로 아크 금속용사 공법을 적용하여 전자기파 차폐성능을 확보하고자 한다. 이를 위해 금속 코팅의 두께에 전기적 특성을 평가하기 위해서 8 종류의(Cu, CuAl, CuNi, CuZn, Al, Zn, ZnAl, AlMg) 금속들을 두께 100, 200 및 500㎛의 금속 코팅으로 제작하여 4pin-probe로 표면에서의 전기전도도를 측정하였고, KS C 0304에 의거하여 전자기파 차폐 성능 시험을 실시하였다. 금속 코팅 시험 결과를 토대로 전자기파 차폐를 위한 최적의 금속 코팅 두께 200㎛를 제안하였으며, 이를 300×300×100mm 콘크리트 시험체에 용사하여 전자기파 차폐 성능을 분석한 결과 목표 성능 1GHz에서 80dB의 전자기파 차폐 성능이 확보됨을 확인하였다. 하지만 부착 강도의 경우 최대 1.11MPa로 목표 성능 대비 74% 이하로 확인되어 추후 콘크리트 표면에 미세한 요철을 형성하여 부착 성능을 향상시키는 연구가 필요할 것으로 판단된다.

WLAN System을 위한 Short-Pin을 갖는 Snowflake 모양의 Dual-band(5.2/5.8 GBz) 마이크로스트립 패치 안테나 설계 및 제작 (Design of a Dual-band Snowflake-Shaped Microstrip patch Antenna With Short-pin For 5.2/5.8 GHz WLAN System)

  • 송준성;최선호;이화춘;곽경섭
    • 한국통신학회논문지
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    • 제34권4A호
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    • pp.324-329
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    • 2009
  • 본 논문에서는 IEEE802.11 기반의 WLAN(5.2/5.8GHz)대역에서 동작하는 새로운 모양의 마이크로스트립 패치 안테나를 설계 및 제작하였다. 안테나의 크기는 $21.2{\times}16mm^2$이며 Taconic-RF30 기판을 사용하였다. 이동성을 위해 소형화 하였고, Snowflake패치 모양에 Short-pin을 삽입하여 dual-band 공진특성 및 적절한 대역곡을 얻고자 하였다. 또한 주변 회로 집적화를 위해 단일 양면기판을 사용하였고, 시뮬레이션 설계는 Snowflake모양과 Short-pin의 위치변화, 패치길이를 최적화하여 제작 및 측정하였다. 제작한 안테나의 대역폭(Return loss < -10dB) 은 5.2GHz 대역에서 220MHz, 5.8GHz 대역에서는 135MHz의 대역폭을 얻었다. 또한 $4.7{\sim}6.9dBi$의 이득을 얻었으며, 3-dB 빔폭(HPBW)은 E-Plane과 H-Plane이 5.1500Hz에서 각각 $73.2^{\circ}/82.75^{\circ}$, 5.3500Hz에서 $74.56^{\circ}/83.63^{\circ}$, 그리고 5.7850Hz에서 $86.24^{\circ}/85.15^{\circ}$로 측정되었다.

Bi-2223 초전도 테이프의 접촉식 Ic 측정을 위한 단자 형상 및 압력 조사 (Study on terminal shape and pressure for contact type Ic measurement of long Bi-2223 tape)

  • 하동우;양주생;하홍수;오상수;권영길;류강식
    • 한국전기전자재료학회:학술대회논문집
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    • 한국전기전자재료학회 2002년도 춘계학술대회 논문집 초전도 자성체
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    • pp.25-28
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    • 2002
  • Contact type Ic measurement system is needed to measure Ic continuously for long Bi-2223 tapes. Voltage and current terminals were designed several shapes for 4-probe method Ic measurement. Voltage terminals were made with brass and current terminals were made with Cu. We used 2 kinds of Bi-2223 tapes with different strength. When we measured Ic of Bi-2223 tape with Ag-Mg sheath, The proper weight was 0.3 kg and sharp pin type was better. according to voltage terminal shape and load. In case of Bi-2223 tape with Ag-Mn sheath, the proper terminal weight was 4 kg and sharp pin type was bad. It was possible to make continuous contact type Ic measurement system because We could get proper data - terminal shapes and loads - through these experiments.

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PMN-PT 단결정의 압전 및 유전 특성 평가에 미치는 측정 방법의 영향 (Effect of Measuring Method on the Evaluation of Piezoelectric and Dielectric Properties of PMN-PT Single Crystal)

  • 김용수;박재환;이정호;이상구
    • 마이크로전자및패키징학회지
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    • 제26권4호
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    • pp.69-74
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    • 2019
  • PMN-PT 단결정 시편의 유전 및 압전 특성의 측정 결과에 미치는 측정 기구물의 영향을 고찰하였다. 샘플에 교류 전기신호를 인가하는 지그핀의 압력이 감소할수록 공진저항은 낮게 측정되고 기계적 품질계수는 높게 계산되었다. 지그핀의 스프링 텐션이 20 grf인 경우 기계적 품질계수는 418으로 측정되었고, 스프링 텐션이 200 grf인 경우 품질계수 값은 절반으로 감소하였다. 4-프로브 방식의 픽스쳐는 압전특성 측정에는 부적합하지만 유전손실 값의 측정에는 가장 적합하였다. 정확한 PMN-PT의 압전특성 평가를 위하여 지그핀의 스프링 텐션을 최대한 낮추는 것이 필요하며, 정확한 유전특성의 평가를 위하여 4-프로브 방식이 적합함을 알 수 있다.

4-포트 수평/수직 겸용 프로브용 교정키트 (Calibration Kit for 4-Port Horizontal/Vertical Probing)

  • 김태호;김종현;김성준;김광호;푸 보;나완수
    • 한국전자파학회논문지
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    • 제25권5호
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    • pp.559-575
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    • 2014
  • 본 논문에서는 4-포트 수평/수직 프로브 스테이션을 사용하여 수직 커넥터 핀의 특성 측정 시 사용되는 회로망 분석기의 교정용 키트(calibration kit)를 제안한다. 기존의 수평면에서 사용되는 교정키트를 사용하면, 교정 후 프로브 암의 변경 및 추가적인 장치가 필요하며, 이로 인한 시간 소요뿐 아니라, 주변 상황에 민감한 프로브 팁의 위치 변동에 기인한 정밀도 훼손의 위험이 있다. 본 논문에서는 이를 보완할 수 있는 4-포트 수평/수직 겸용 교정키트를 제시한다. 교정은 SOLT 방법을 이용하였으며, Short, Open, Load는 수평면에서 교정하며, Thru는 프로브의 위치에 따라서 교정기판의 같은 수평면에서 교정하거나 또는 교정기판의 위쪽, 아래쪽을 수직으로 연결하여 사용할 수 있도록 설계/제작하였다. 즉, 기판에 수직한 Thru를 교정할 때에는 교정키트를 수직으로 세워 키트 양면을 사용하여 교정할 수 있는 방법을 제안하였다. 제안한 교정키트에서의 SOLT 회로 반사/전달 특성을 기존 교정키트의 SOLT 회로의 반사/전달 특성과 비교 분석하였으며, 두 교정키트의 전달 특성은 길이 보정 후, 300 kHz부터 8.5 GHz까지 약 ${\pm}0.1$ dB의 차이가 있음을 확인할 수 있었다. 이와 같이 설계/제작된 4-포트 수평/수직 교정키트의 유용성을 입증하기 위하여 각각 수평 측정의 경우와 수직 측정의 경우의 두 가지 경우 사례 연구를 수행하였으며, 그 결과를 기존의 교정키트를 사용한 후 측정된 결과 데이터와 비교분석하였다.

경계요소법에 의한 전해가공물의 형상예측에 관한 연구 (A Study on The Prediction of Workpiece Shape of The Electrochemical Machining by Boundary Element Method)

  • 강대철;양재봉;김헌영;전병희
    • 한국소성가공학회:학술대회논문집
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    • 한국소성가공학회 2003년도 춘계학술대회논문집
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    • pp.443-447
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    • 2003
  • The BEM (Boundary Element Method) is a computational technique for the approximate solution of problems in continuum mechanics. In the BEM both volume and surface integrals transformed into boundary integral equations. So, we applied the ECM (Electrochemical Machining) process to boundary problem, because our focus is only deformed shape. The ECM process is modeled as a two-dimensional problem assuming constant properties of electrolyte, and an incremental formulation is used with automatic mesh regeneration. As a result the final shape is roughly agreed with experimental shape. But, it has an error of exact shape, because a chemically factor is not considered

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2D ANALYTICAL MODEL OF THE FSW WELD ZONE AND FINITE ELEMENT HEAT TRANSFER ANALYSIS

  • S.R, Rajesh;Bang, Han-Sur;Kim, Heung-Ju;Bang, Hee-Seon
    • 대한용접접합학회:학술대회논문집
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    • 대한용접접합학회 2005년도 추계학술발표대회 개요집
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    • pp.135-137
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    • 2005
  • The body of the work covers FSW welding of Al6061 and its thermal distribution based on an analytical model for the heat input at the probe/matrix boundary of Al plates and FSW tool due to the effect of combined translation and rotational motion of the tool pin and shoulder. Finally the 2D- finite element heat transfer analysis program has been used to plot the heat distribution at the Friction Stir Welded joint in Al 6061 plate. The work concludes that the heat distribution result obtained from FE analysis has a reasonable agreement with the experimentally measured values.

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Probing Tidal Field Strength of Virgo Cluster Galaxies

  • 윤혜인;정애리
    • 천문학회보
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    • 제36권2호
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    • pp.74.2-74.2
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    • 2011
  • We probe the tidal perturbation parameter f of Virgo cluster galaxies. The goal is to measure the strength of tidal fields around individual galaxies to get better understanding gravitational processes that can affect galaxy evolution in the cluster environment. The f-value is defined as a logarithmic ratio between the net internal gravitational force within a galaxy and the external tidal force exerted by a neighboring galaxy. Hence, it provides one way to quantify the tidal field strength of galaxies, in particular, due to galaxy neighbors. In this study, we determine f-values of the VIVA galaxies, samples of the VLA Imaging study of Virgo galaxies in Atomic gas, using the Extended Virgo Cluster Catalog (EVCC) which is the most complete Virgo cluster catalog to date. With diagnostics based on the HI gas and R-band morphologies, we discuss the impact of the tidal fields on the evolution of the VIVA sample. Also, we compare the tidal field strength to the intra cluster medium (ICM) pressure for each sample galaxy to pin down environmental processes at work.

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