Research on simulation and non-linear application control for elevation of response of Nano-stage (나노스테이지의 응답성 향상을 위한 시뮬레이션 및 비선형 적용제어에 관한 연구)
-
- Proceedings of the Korean Society of Precision Engineering Conference
- /
- 2007.11a
- /
- pp.475-476
- /
- 2007