Proceedings of the Korean Society of Precision Engineering Conference (한국정밀공학회:학술대회논문집)

  • 2007.11a
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  • Pages.475-476
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  • 2007
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  • 2005-8446(pISSN)
Korean Society for Precision Engineering (한국정밀공학회)
권호 표지

Research on simulation and non-linear application control for elevation of response of Nano-stage

나노스테이지의 응답성 향상을 위한 시뮬레이션 및 비선형 적용제어에 관한 연구

  • 김재열 (조선대학교대학교 메카트로닉스공학과) ;
  • 곽남수 (조선대학교 정밀기계공학과) ;
  • 한재호 (송원대학 자동차공학과)
  • Published : 2007.11.08
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Abstract

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