한국정밀공학회:학술대회논문집 (Proceedings of the Korean Society of Precision Engineering Conference)

한국정밀공학회 (Korean Society for Precision Engineering)
권호 표지

나노스테이지의 응답성 향상을 위한 시뮬레이션 및 비선형 적용제어에 관한 연구

Research on simulation and non-linear application control for elevation of response of Nano-stage

  • 김재열 (조선대학교대학교 메카트로닉스공학과) ;
  • 곽남수 (조선대학교 정밀기계공학과) ;
  • 한재호 (송원대학 자동차공학과)
  • 발행 : 2007.11.08
PDF 다운로드
⟨ 이전 논문 다음 논문 ⟩

초록

키워드