A Study on the Optimal Structural Design and Ultra Precision Position Control using FEM for Micro Stage (마이크로 스테이지의 유한요소법을 이용한 최적설계와 초정밀 위치제어에 관한 연구)
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- Proceedings of the Korean Society of Precision Engineering Conference
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- 1997.10a
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- pp.336-340
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- 1997