사용되는 metal구분 없이 반도체 공정장비들을 사용함으로써 cross-contamination을 유발시킬 수 있다. 특히, copper(Cu)는 확산이 쉽게 되어 cross-contamination에 의해 수 ppm정도가 wafer에 오염되더라도 트랜지스터의 leakage current발생 요인으로 작용할 수 있기 때문에 Si-IC성능에 치명적인 영향을 미칠 수 있는데, Si-LSI 실험실에서 할 수 있는 공정과 Si-LSI 실험실을 나와 할 수 있는 공정으로 구분하여 최대한 Si-LSI 장비를 공유함으로써 최소한의 장비로 Cu cross-contamination문제를 해결할 수 있다. 즉, 전기도금을 할 때 전극으로 사용되어지는 TiW/Al sputtering, photoresist (PR) coating, solder bump형성을 위한 via형성까지는 Si-LSI 실험실에서 하고, 독립적인 다른 실험실에서 Cu-seed sputtering, solder 전기도금, 전극 etching, reflow공정을 하면 된다. 두꺼운 PR을 얻기 위하여 PR을 수회 도포(multiple coaling) 하고, 유기산 주석과 유기산 연의 비를 정확히 액 조성함으로서 Sn:Pb의 조성비가 6 : 4인 solder bump를 얻을 수 있었다. solder를 도금하기 전에 저속 도금으로 Cu를 도금하여, PR 표면의 Cu/Ti seed층을 via와 PR표면과의 저항 차를 이용하여 PR표면의 Cu-seed를 Cu도금 중에 etching 시킬 수 있다. 이러한 현상을 이용하여 선택적으로 via만 Cu를 도금하고 Ti층을 etching한 후, solder를 도금함으로써 저 비용으로 folder bump 높이가 60 $\mu\textrm{m}$ 이상 높고, 고 균일/고 밀도의 solder bump를 형성시킬 수 있었다.
本論文에서는 帶域幅效率을 높이기 위해서 Partial Response Signaling(PRS)을 利用한 PR shaped된 SQAM(staggered quadrature amplitude modulation)에 대하여 硏究하였다. 硏究過程에 있어서 誤率의 上限値를 구하여 서로 比較하였으며 그 結果 誤差가 3$^{\circ}$보다 작으면(Class I, II, IV)PR 시스템을 使用目的에 따라 別差異없이 使用할 수 있지만 3以上이 되면 Class I을 使用해야 한다는 結論을 얻었다.
쇄석말뚝은 느슨한 사질토지반이나 점토지반에 치환법에 의해 다져진 자갈이나 쇄석을 연약한 지반에 삽입하여 개량하는 공법이다. 쇄석말뚝 공법은 흙과 말뚝 접촉면에서 압밀거동이 다양한 인자에 의해 영향을 받게 되어 정량적인 해석에 많은 어려움이 있다. 본 연구에서는 재하시험을 통해 선단지지 군말뚝의 거동에 대한 다양한 인자의 영향을 조사하였다. 궁극적으로 연약지반의 개량 특성과 설계인자의 영향력을 PR값을 사용하여 평가하였다. 실험결과와 계산된 PR 값으로부터 쇄석말뚝의 침하거동이 근입비나 매트의 설치여부 보다는 말뚝의 직경이나 복합지반의 치환율에 의해 영향을 받고 있음을 알 수 있다.
칡추출물이 알코올성 뇌손상에 미치는 영향 을 구명하기 위해 알코올을 투여한 흰쥐에게 갈화와 갈근을 수준별 (I;1.2 g/kg B.W., II;2.4 g/kg B.W.) 로 5주간 급여한 후 \ulcorner 열수추출물이 알코올 대사와 유리기 생성 및 제거효소 활성에 미치는 영향을 관찰하였다. ADH 활성응ㄴ 갈화 및 갈근추출물 급여시 에탄올만 투 여한 대조군에 비하여 유의적으로 감소한 반면, ALDH 활성은 갈근추출물 급여군에서 유의 적으로 증가하였는데 1수준군의 증가정도가 현저하였다. P450 함량과 AD, AH 활성은 대조 군에 비하여 칡 열수추출물 급여시 감소되는 경향이었는데 갈근 급여군의 감소효과가 현저 하게 나타났다. AO와 XO 활성은 갈화 및 갈근추출물 급여군이 대조군에 비하여 감소되었 는데 특히 갈근추출물 1수준군에서 현저하게 나타났다. SOD 활성은 칡 열수추출물 급여시 증가하였으며 CAT와 GSH-Px 활성은 에탄올 투여로 증가된 활성이 갈근 열수추출믈 I 수 준 급여시 유의적으로 증가되었다. 이상의 결과에서 갈화 및 갈근 열수추출물 급여는 뇌조 직 중의 에탄올 대사효소계의 활성을 촉진시켰으며, 유리기제거 효소의 활성을 억제하고 항 산화효소계를 활성화하여 에탄올 투여에 인한 뇌조직의 산화적 스트레스를 완화시킬 수 있 을 것으로 사료된다.
선택적 CO 산화반응(PrOx)을 위한 Ru이 고분산 담지된 $Ru/{\alpha}-Al_2O_3$ 촉매를 증착-침전법(deposition-precipitation)으로 제조하였다. 용액의 pH와 aging 시간에 따른 Ru 입자의 크기 변화와 분산도의 영향을 살펴보았으며 함침법(impregnation)으로 비교 촉매를 제조하였다. 촉매의 특성분석은 BET, TPR, CO-Chemisorption분석을 수행하여 촉매의 비표면적, 환원특성, 분산도를 알 수 있었다. 특성분석결과, 증착-침전법으로 제조한 $Ru/{\alpha}-Al_2O_3$ 촉매가 함침법으로 제조한 촉매에 비해 분산도가 높았으며, pH별 촉매 제조에서는 pH6.5로 제조한 촉매가 22.06%로 가장 높은 분산도를 보였다. 또한, 담체의 비표면적 영향에 따른 Ru 입자의 분산도를 살펴보기 위해 ${\gamma}-Al_2O_3$와 ${\alpha}-Al_2O_3$ 담체를 적용한 결과, 비표면적이 작은 ${\alpha}-Al_2O_3$ 담체 표면에서 Ru 분산도가 ${\gamma}-Al_2O_3$ 담체에 비해 높았다. 이는 기공이 발달하여 비표면적이 넓은 ${\gamma}-Al_2O_3$ 담체는 소량의 Ru을 고분산 담지 시 담체 표면보다는 기공 내에 담지 되는 양이 많아 실제 반응 시 반응에 참여하는 표면 활성 금속양이 적음을 알 수 있다. 특히, 선택적 산화반응과 같이 표면에서 빠른 반응이 일어나는 경우, 기공 내부의 활성금속이 반응에 참여하기 어려워 반응 활성이 낮음을 PrOx 반응실험을 통해 확인할 수 있었다. PrOx test 조건은 GHSV 250000~60000, 온도는 80~200도, 람다값은 2~4로 성능 비교하여 실험 하였다. PrOx의 성능평가 결과 담체를 ${\alpha}-Al_2O_3$를 사용하여 deposition-precipitation방법으로 제조한 pH6.5 촉매에서 $100{\sim}160^{\circ}C$에서 90%의 가장 높은 CO conversion을 가지고 18%의 선택도를 가졌다.
적색 CaTiO$_3$:Pr 형광체 막을 졸-겔법으로 제조하고 형광체의 결정상 및 발광특성에 미치는 열처리 조건 및 Pr 첨가량의 영향에 대하여 연구하였다. CaTiO$_3$:Pr sol로부터 제조된 CaTiO$_3$:Pr 분말은 30~60nm 크기의 입자들이 0.3~0.5$mu extrm{m}$ 크기로 응집된 상태를 나타내었으며, 한편 sol을 borosilicate 기판 위에 4000rpm의 속도로 3회 스핀 코팅하고 열처리하였을 경우 두께 1.2$\mu\textrm{m}$의 CaTiO$_3$:Pr 박막이 형성되었다. CaTiO$_3$:Pr gel 분말을 여러 온도에서 열처리한 경우, $600^{\circ}C$ 이하에서는 비정질이지만, 온도가 증가하면서 erovskite 결정상이 생성되기 시작하여 90$0^{\circ}C$에서는 우수한 perovskite 결정상이 발달되었다. 반면, 박막의 경우에는 80$0^{\circ}C$의 열처리 온도에서는 결정성이 우수한 perovskite 상이 관찰되었으며 이러한 온도는 기존의 분말법의 소결온도에 비하여 300~40$0^{\circ}C$나 낮은 것이다. 0.2 mol% Pr이 첨가되고 90$0^{\circ}C$로 열처리된 분말시편은 최적의 Photoluminescence (PL) 특성을 나타낸 반면, 박막의 경우에는 80$0^{\circ}C$에서 열처리된 시편이 최적의 PL 특성을 나타내었다. 제조된 CaTiO$_3$:Pr 박막에 대하여 Cathodoluminescence (CL) 분석을 행한 결과, 6100$\AA$에서 폭이 좁고 강도가 큰 스펙트럼을 나타냄으로서, 본 실험에서 제조된 박막이 FED(field emission display)등의 적색형광체로 사용될 수 있음을 확인하였다.
반도체 소자 집적도의 비약적인 발전으로 인하여 반도체 공정은 더욱 다층화 되어가고 있다. 이러한 다층화 공정에서는 필수적으로 여러 단계의 패턴을 형성하기 위하여 Photoresist(PR)를 이용한 식각 공정을 사용하게 된다. 이러한 식각 공정에서 다단계 식각 공정으로 인한 공정시간 증가와 식각 후 남은 잔여 PR residue는 초고집적화된 현 반도체 산업에서는 소자에 치명적인 문제를 발생시킨다. 따라서 본 연구에서는 기존 PR strip 용액을 플라즈마에 의하여 액체 상태로 활성화하여 기존의 건식세정법과 습식세정법을 동시에 사용하여 PR을 효과적으로 제거하기 위한 방법을 연구하였다. 플라즈마에 의하여 약액을 활성화하기 위하여 먼저 플라즈마 약액활성화를 위한 장치를 simulation하여 실험 장치에서 균일한 gas흐름을 확인하였다. 이후 플라즈마의 세기를 0V에서 100V까지 증가시켜 약액을 활성화한 후 PR을 strip하여 각 플라즈마 세기에서의 식각률을 조사하였으며 80V에서 가장 빠른 식각률을 나타났다. 또한 0V와 80V의 Dilution에 대한 영향을 확인하였으며 약액을 Dilution 후에도 식각률은 더욱 향상됨을 확인할 수 있었다. 이러한 세정 시간의 단축은 여러 단계의 식각 공정 시간을 단축하여 반도체 공정에서 소자 생산을 위한 시간을 단축하게 된다. 또한 각 세정공정마다 증가한 세정 공정으로 인하여 세정액의 사용이 많아져 세정액 폐수로 인한 환경문제가 심각해지고 있다. 세정 약액 활성화 방법을 사용함으로써 세정액의 절감효과가 나타난다.
본 연구는 갈근과 지황 복합물과 유산소 운동이 난소절제로 갱년기를 유도한 흰 쥐에서 나타나는 지질 및 당대사 이상에 미치는 영향을 확인하였다. 난소절제 후 8주간 AIN-76A 식이를 급여한 결과 체중증가량, 식이섭취량, 체 지방, 혈장 LDL-C, 공복혈당 증가를 통해 갱년기 동물 모델이 유도되었음을 확인할 수 있었다. 갈근과 지황 복합물과 유산소 운동은 서로 다른 기전으로 에스트로겐 분비 저하로 나타나는 비만 및 대사이상을 정상화하는 유익한 결과를 나타냈다. 지방 조직에서 확인된 관련 기전으로는 갈근과 지황 복합물로 인한 아디포넥틴 유전자 발현 증가 및 렙틴저항 억제, 유산소 운동으로 인한 아디포넥틴 및 인슐린 수용체 유전자 발현 증가, 갈근과 지황 복합물 및 유산소 운동의 병행으로 인한 아디포넥틴 유전자 발현 증가 상승효과가 관찰되었다. 이상의 결과로 갈근과 지황 복합물과 유산소 운동의 병행은 폐경기 에스트로겐 결핍으로 인한 대사이상을 개선하는 효과가 있을 것으로 기대한다. 향후에는 폐경기 유도 동물모델의 개선과 함께 단백질 및 신호전달분자 수준에서 추가적인 기전연구가 필요할 것으로 사료된다.
최근 SNS 사용자가 증가함에 따라 정부부처의 홍보에도 SNS가 주요 홍보채널로 등장하였다. 특히 리스크를 관리하는 데 있어서 SNS는 유용한 도구이자 새로운 도전 과제가 되었다. 우리나라에서 원자력은 주요한 리스크 중 하나이며, 원자력 규제기관이 국민과 어떻게 소통하고 있는가는 원자력시설에 대한 신뢰 혹은 수용성에 매우 주요한 영향을 미칠 수 있다. 이를 반영하여 본 연구는 한국(NSSC)과 미국(NRC) 양국의 원자력규제를 담당하는 정부부처의 SNS 활용과 수용자 반응을 비교 분석했다. 연구 결과, 양 기관 모두 '정보제공'목적의 포스팅이 가장 많았으며, PR유형의 경우 한국은 '관계관리 PR', 미국은 '이미지 PR'의 포스팅이 많았다. 수용자 반응을 살펴보면 참여형과 비주얼형(동영상, 카드뉴스, 인포그래픽 등)의 포스팅에 수용자들의 반응이 높았으며, 관계관리 PR에 대한 수용자 반응이 더욱 높았다. 이러한 연구 결과가 향후 정부부처 정책을 소통 전략을 수립하는데 있어 도움이 되길 기대해 본다.
본 연구에서는 시공시 현장다짐관리에 있어 단위중량을 이용하는 기존의 방법 대신 탄성계수와 같은 역학적 특성을 이용하는 새로운 다짐관리기준 정립을 위한 현장시험방법을 제시하고자 한다. 이를 위하여 시험법이 간편하며, 활용성이 증가하고 있는 동적콘관입시험인 DCPT 측정시험이 노상토의 다짐품질관리의 적용이 가능한지를 검토하였다. DCPT 시험방법이 현장에서 다짐후 설계탄성계수를 추정할 수 있는지를 확인하기 위하여 실내토조시험, 현장시험을 실시하였고, 노상층의 DCPT, CBR, 회복탄성계수간의 상관관계를 분석하였다. 또한, 문헌조사 분석을 통하여 DCPT 시험간격을 제시하였다. 실내시험결과를 분석한 결과, DCPT 관입치 (PR) 값과 CBR값 간의 상관관계식에서는 Livneh 식이 가장 부합됨을 알 수 있었고, DCPT 시험을 통한 PR값을 국내외 탄성계수 추정식을 평가한 결과, 예측 $M_R$ 탄성계수 값과 부합하는 제안식으로는 George와 Pradesh의 식이 있었으며, FWD를 이용한 $M_R$ 제안식을 비교한 결과, Cudishala의 제안삭은 예측 $M_R$ 값보다 다소 크게 산정되며, Chen의 제안식의 경우 다소 작은 값을 보이고, 건설기술연구원의 제안식은 예측 $M_R$값에 과소 평가함을 알 수 있었다. 그러나 실제 차량이 유발하는 주행속도에 따른 축차응력과 구속응력으로부터 실내 $M_R$ 시험결과를 비교분석한 결과, 건기원 제안식이 가장 적합함을 알 수 있었다. DCPT 현장시험결과를 분석한 결과, 관입지점의 입도분포에 따라 PR 값에 오차가 생길 수 있음을 알 수 있었고, 오차를 감소하기 위한 DCPT 시험간격에 대한 추천값을 제시하였다. 현장시험결과를 분석한 결과 현장 다짐도를 만족하는 노상이라 하여도 노상 재료에 따라 평균 PR 값이 다르게 나타났으며, 특히 입경이 큰 재료일수록 평균 PR 값이 작음을 알 수 있었고, 현장함수비의 경우 다짐도에 미치는 영향은 상당히 크나, DCPT 시험에 있어서 현장함수비 변화는 평균PR값에 미치는 영향이 미미함을 알수 있었다.
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[게시일 2004년 10월 1일]
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