톱니파 및 삼각파 프로브 bias 전압에 의해 측정된 전자에너지 분포함수의 비교에 관한 연구 (A Study on the Comparision of Electron Energy Distribution Function measured by sawtooth and triangle waveform probe bias voltages)
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- 대한전기학회:학술대회논문집
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- 대한전기학회 1996년도 하계학술대회 논문집 C
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- pp.1844-1847
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- 1996