Inductively Coupled Plasma를 이용한 lead-zirconate-titanate 박막의 식각 손상 개선 (The reduction of etching damage in lead-zirconate-titanate thin films using Inductively Coupled Plasma)
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- 한국전기전자재료학회:학술대회논문집
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- 한국전기전자재료학회 2003년도 춘계학술대회 논문집 센서 박막재료 반도체 세라믹
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- pp.178-181
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- 2003