The Effect of Thermal Treatments on the Peel Adhesion Strength of Pt/Ti Thin Film for a Bottom Electrode of Ferroelectric Materials (강유전체의 하부전극용 Pt/Ti 박막의 필 접착력에 미치는 열처리의 영향)
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- Korean Journal of Materials Research
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- v.6 no.6
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- pp.610-617
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- 1996