에어로졸 증착법에 의해서 상온에서 $6{\mu}m/min$의 속도로 $5{\sim}10{\mu}m$ 두께의 PZT-PZN(0 %, 20 %, 40 %) 복합체의 막을 실리콘/사파이어 기판위에서 제조하였다. 에어로졸 증착에 사용된 PZT, 2PZN-8PZT, 4PZN-6PZT 초기분말입자는 불규칙한 형상을 가지고 있으며 submicron 크기임을 확인하였다. 증착된 막은 어떠한 뜯김이나 기공도 없는 치밀한 막임을 확인하였고 나노크기의 입자를 가진 페로브스카이트 단상이었다. 실리콘기판 및 사파이어 기판위에서 증착된 막은 전기로에서 $700^{\circ}C$ 및 $900^{\circ}C$에서 각각 어닐링처리 하였으며 PZT에 40 %의 PZN이 첨가된 조성의 막의 경우 pyrochlore의 2차상이 형성되었다. 미세구조에 미치는 PZN 첨가의 영향을 관찰하기 위해 FE-SEM 및 HR-TEM이 사용되었다.
에어로졸 증착법에 의해서 상온에서 5~10 ㎛ 두께의 PZN-PZT(0 %, 20 %, 40 %) 복합체의 막을 실리콘/사파이어 기판 위에서 제조하였다. PZN의 농도는 0 %, 20 % 및 40 %까지 첨가하였다. 실리콘기판 및 사파이어 기판 위에서 증착된 막은 전기로에서 700℃ 및 900℃에서 각각 어닐링처리 하였으며 900℃에서 어닐링한 경우의 잔류분극 및 유전 상수 등의 전기적 특성이 700℃에서의 특성보다 우수하였다. 특히 900℃에서 어닐링한 2PZN-8PZT 막의 경우 1200℃에서 소결한 같은 조성의 벌크재에서 얻은 값과 상호 비교하였다. 열처리 온도가 높아짐에 따라 유전상수가 증가하는 경향을 보이는데 이는 후열처리에 따른 막의 결정성의 향상과 입자 성장으로 기인한다.
The physical properties of 0.5PZT-0.5(PNN-PZN) ceramics have been investigated as a function of PZN content. A pyrochlore phase exists in the range of 600∼850$^{\circ}C$ and a stable perovskite phase appears above 850$^{\circ}C$. The piezoelectric properties (except electro-mechanical coupling factor) of 0.5PZT-0.5(PNN-PZN) ceramics showed almost linear relationships of PZN content within the range of 0.5PZT-0.5PNN system and 0.5PZT-0.5PZN system. The temperature dependence of piezoelectric constant, the electric field dependence of induced strain and a bend strength are improved by addition of PZN.
In this study, dielectric and piezoelectric properties of 0.5PNN-(0.5-x)PZN-xPZT system ceramics with PZT mole ratio were investigated. As the amount of PZT increases, curie temperature was increased. The maximum of dielectric and piezoelectric constant was shoun at 0.3 mole of PZT amount. As a results, we have found that the structure of ceramics with PZT 0.3 mole was morphotropic phase boundary.
In this study, multilayer piezoelectric transformer were manufactured using the PZN-PMN-PZT ceramic and then the electrical characteristics were investigated. The voltage step-up ratio of multilayer piezoelectric transformer showed the maximum value in the vicinity of 78.16kHz and increased according to the increase of load resistance. When the output impedance coincided with the load resistance, piezoelectric transformer showed the temperature increase of about $20^{\circ}C$ at the output power of 12W. The results, the multilayer transformer manufactured using the low temperature sintered PZN-PMN-PZT ceramics can be stably driven for step-up transformers.
$Pb(Zr,\;Ti)O_3$ (PZT) is a piezoelectric material applied in a typical actuator and has been actively studied. However, in order to overcome the limitations of PZT, piezoelectric ceramics comprising mixed solid solutions of PZT with various relaxer electric materials have been studied. The $Pb(Zn_{1/3}Nb_{2/3})-Pb(Ni_{1/3}Nb_{2/3})-Pb(Zr,\;Ti)O_3$ (PZN-PNN-PZT) piezoelectric ceramic, known to have high piezoelectric constant and electromechanical coupling coefficient, was studied herein. The piezoelectric characteristics with various Zr contents (Zr/Ti ratios), PZN molar ratios, and sintering temperatures were compared. The piezoelectric properties of $d_{33}=580pC/N$ and $k_P=0.68$ were obtained with the $0.1PZN-0.2PNN-0.7PbZr_{0.46}Ti_{0.54}O_3$ composition sintered at $1,290^{\circ}C$.
Dielectric and piezoelectric properties of PMN-PZT ceramics with a high mechanical quality factor$(Q_m)$ and a low temperature sintering temperature were investigated as a function of PZN substitution in order to develop multilayer piezoelectric transformer for AC-DC converter. Multilayer piezoelectric transformers were subsequently manufactured using the PMN-PZN-PZT ceramic offering the optimal behavior and then the electrical performance were invetigated. At the sintering temperature of $940^{\circ}C$, density, electromechanical coupling factor$(k_p)$, mechanical qualify factor$(Q_m)$ and dielectric constant$(\varepsilon_r)$ of 8 mol% PZN substituted specimen were $7.73g/cm^3$, 0.524, 1573 and 1455, respectively. The PZN substitution caused a increase in the dielectric constant and the electromechnical coupling factor. The voltage step-up ratio of multilayer piezoelectric transformer showed the maximum value at near the resonant frequency of 76.55 kHz and increased according to the increase of load resistance. The multilayer piezoelectric transformer with the output impedance coincided with the load resistance showed the temperature increase of less than $20^{\circ}C$ at the output power of 10 W. Based on the results, the manufactured multilayer transformer using the low temperature sintered PMN-PZN-PZT ceramics can be stably driven for both step-up and down transformers.
In this paper, PNN-PZN-PZT ceramics were fabricated with various mole ratio of the PZT[$Pb(Zr_{1/2}Tid_{1/2})O_3$]. PNN [$Pb(Ni_{1/3}Nb_{2/3})O_3$] and PZN[$Pb(Ni_{1/3}Nb_{2/3})O_3$ powders prepared by double calcination and PZT powders prepared by molten-salt synthesis method. The formation rate of perovskite phase in PNN-PZN-PZT ceramics could be obtained about 92% at PZT 0.3 mole ratio. The relative permittivity of specimen with PZT 0.3 mole ratio was shown 5,320 and appeared the relaxor ferroelectric feature. The maximum piezoelectric coefficient $d_{31}$ to be used for evaluation the displacement of piezoceramics in PNN-PZN-PZT ceramics was $324{\times}10^{-12}$(C/V) at the vicinity of morphotropic phase boundary and was larger than that of solid PZT ceramics($120{\times}10^{-12}C/V$).
In this paper, PNN-PZN-PZT ceramics were fabricated with various mole ratio of the PZT[$Pb(Zr_{1/2}Tid_{1/2})O_3$]. PNN [$Pb(Ni_{1/3}Nb_{2/3})O_3$] and PZN[$Pb(Ni_{1/3}Nb_{2/3})O_3$ powders prepared by double calcination and PZT powders prepared by molten-salt synthesis method. The formation rate of perovskite phase in PNN-PZN-PZT ceramics could be obtained about 92% at PZT 0.3 mole ratio. The relative permittivity of specimen with PZT 0.3 mole ratio was shown 5,320 and appeared the relaxor ferroelectric feature. The maximum piezoelectric coefficient $d_{31}$ to be used for evaluation the displacement of piezoceramics in PNN-PZN-PZT ceramics was $324{\times}10^{-12}$(C/V) at the vicinity of morphotropic phase boundary and was larger than that of solid PZT ceramics($120{\times}10^{-12}C/V$).
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[게시일 2004년 10월 1일]
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