• Transactions on Electrical and Electronic Materials
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• 제15권5호
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• pp.253-256
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• 2014

$Pb(Zr_{0.52}Ti_{0.48})O_3$ thin films of $1.5{\mu}m$ thickness were grown on $Pt/Ti/Gd_3Ga_5O_{12}$ substrate by RF magnetron sputtering at annealing temperatures ranging from $550^{\circ}C$ to $700^{\circ}C$. We evaluated the residual stress, by using a William-Hall plot, as a function of the annealing temperatures of PZT thin film with a constant thickness. As a result, the residual stresses of PZT thin film of $1.5{\mu}m$ thickness were changed by varying the annealing temperature. Also, we measured the hysteresis characteristic of PZT thin films of $1.5{\mu}m$ thickness to evaluate for application of an optoelectronic device.

• 대한기계학회논문집A
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• 제32권3호
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• pp.250-257
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• 2008

We calculate the variation of the surface stresses according to uniaxial and biaxial strains in face-centered cubic (FCC) metals. In our study, three mainly observed free surfaces of seven representative FCC metals are considered. Employed method is molecular mechanics, in which the interaction of atoms is described by empirical interatomic potentials. As uniaxial strain increases to tensile direction, the surface stresses on {100} and {110} free surfaces decrease monotonously, while those on {111} surface increase. These tendencies are the same regardless of the species of metals and interatomic potentials employed. However, when the system is under biaxial strain, surface stresses change different according to the surface directions, the species of metals, and even interatomic potentials. On {100} and {111} surfaces, heavy metals (Pt, Au) show the opposite variation to light metals (Ni, Cu). In the cases of Pd and Ag, the surface stresses reveal the opposite tendency, depending on interatomic potentials used.

• 동력기계공학회지
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• 제5권2호
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• pp.36-42
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• 2001

This paper deals with finite element analyses of residual stresses causing popping up which are induced in micromachining processes of a microaccelerometer sensors. The paddle of the micro accelerometer sensor is designed symmetric with respect to the direction of the beam. After heating the tunnel gap up to 100 degree and get it through the cooling process and the additional beam up to 80 degree and get it through the cooling process. We learn the thermal internal stresses of each shape and compare the results with each other, after heating the tunnel gap up to 400 degree during the Pt deposition process. Finally we find the optimal shape which is able to minimize the internal stresses of microaccelerometer sensor. We want to seek after the real cause of this pop up phenomenon and diminish this by change manufacturing processes of microaccelerometer sensor by electrostatic force.

• 한국재료학회지
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• 제9권11호
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• pp.1069-1074
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• 1999

본 연구에서는 PbZr(sub)0.53Ti(sub)0.47O$_3$(PZT) 박막을 복수 도포함에 따른 박막내의 응력을 온도의 함수로 실시간(in situ) 측정하였으며, 응력발생의 원인에 박막의 건조, 열분해(pyrolysis), 치밀화 및 결정화 현상과 연관시켜 설명하였다. 도포직후 단층박막에 생성된 55MPa의 인장응력은 가열됨에 따라$ 300^{\circ}C$-$350^{\circ}C$에서 최대 145MPa로 증가하였으며, 박막내의 응력은 모든 온도구간에서 항상 인장응력을 나타내었더. 다층도포시 $650^{\circ}C$까지 열처리 주기를 완료한 층이 두꺼워질수록 새로 도포한 층의 영향은 점차 감소하였으며, 9층박막에 이르러서는 가열과 냉각에 따라 응력이 동일하게 변화하였다. 응력측정 결과 다층박막의 치밀화는 $350^{\circ}C$에서 시작되어 $520^{\circ}C$-$550^{\circ}C$ 부근에서 완료되는 것으로 나타났으며 치밀화가 시작하는 온도는 미세경도 측정결과와 일치하였다. $PbTiO_3$(PT)와 달리 PZT 다층박막은 Si 기판 위에서 perovskite로의 결정화가 일어나지 않았다.

• 한국전기전자재료학회:학술대회논문집
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• 한국전기전자재료학회 2003년도 추계학술대회 논문집 Vol.16
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• pp.594-597
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• 2003

In the present study, the piezoelectricity and polarization of multilayer ceramic actuator, being designed to stack PMN-PZ-PT ceramic layers and Ag-Pd electrode layers alternatively, were investigated under a consideration of geometric factor, the volume ratio of the ceramic to the electrode layers. The actuators were fabricated by tape casting of 0.2Pb(Mg1/3Nb2/3)O3-0.38PbZrO3-0.42PbTiO3 followed by lamination and burnout & co-firing processes. The actuators of 10 10 0.62 nm3 in size were formed in a way that 60 200 m thick ceramics were stacked alternatively with 5 m thick electrode layer. Increases in polarization and electric field-induced displacement with thickness of the ceramic layer were attributed to change of 90o/180o domain ratio, which was affected by interlayer internal stress. The piezoelectricity and actuation behaviors were found to depend upon the volume ratio (or thickness ratio) of ceramic to electrode layers.

• 환경영향평가
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• 제25권6호
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• pp.514-524
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• 2016

생명기후분석시스템(BioCAS)을 이용하여 서울시 전역의 폭염사례일 기온, 인지온도(PT), 초과사망률($r_{EM}$) 분포를 분석하였다. 분석 해상도는 25m 였으며, 사례일은 2012년 8월 5일이었다. 분석 결과는 관측된 사망률 및 내원환자수 자료와의 비교를 통해 평가되었다. 2004년에서 2013년의 폭염 원인인 사망률 자료와 2006년에서 2011년의 국민건강보험공단의 폭염 내원환자수 자료를 이용하여 행정구별 폭염 건강위험 자료를 추출하였다. 자료 비교를 위한 공간 해상도는 사망률 및 내원환자수 자료의 해상도인 행정구 단위였다. BioCAS에서 분석된 사례일 최고 인지온도 및 초과사망률 분포 자료는 행정구별 공간 평균, 최대, 최소 및 누적값으로 변환된 후 건강피해자료와 상관분석이 수행되었다. 분석 결과 일 최고 인지온도 및 초과사망률의 공간 평균값은 건강피해를 설명하지 못하는 것으로 나타났다. 대신 일 최고 인지온도의 공간 최솟값은 사망률과, 공간 최댓값은 내원환자수와 상관관계가 있는 것으로 나타났다(각각 r=0.53, r=0.42). 즉, 밀집된 건물에 의해 생겨나는 공간 최댓값은 낮 동안의 일사병 발생과 내원환자수 증가에 영향을 주었고, 식생에 의해 나타나는 공간 최솟값은 밤 동안의 열 스트레스를 감소시켜 사망률에 영향을 주었던 것으로 판단된다. 한편 분석된 초과사망률($r_{EM}$)은 공간 최댓값과 내원환자수가 상관관계가 있었지만(r=0.52) 사망률과의 상관관계는 인정되지 않았는데, 이것은 연령별 인구구성 차이에 따른 기저 폭염위험도 차이 등 행정구별 불균일성을 고려하지 못한 한계가 나타난 것으로 판단된다. 개별 건물과 식생의 열적 효과는 공간 평균보다 최대, 최소 등 그 분포가 중요한 것으로 나타났다. 이러한 고해상도 분석기술은 도시의 건강영향평가를 통해 도시개발에 관한 경제성 분석에 활용이 가능할 것으로 기대된다.

• 대한물리치료과학회지
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• 제9권3호
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• pp.179-186
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• 2002

This study addresses the need to adopt teaching-learning approaches in physical therapy education that develop links between theory and clinical practice in a meaningful way. Problem-based learning (PBL) is presented as a useful way to educate physical therapy for the future. The essential characteristics of problem-based learning include: curricular organization around problems rather than disciplines; an integrated curriculum rather than one separated into clinical and theoretical components; and an inherent emphasis on cognitive skills as well as on knowledge. PBL as implemented in the health sciences, is an educational method in which the focus of learning is a small-group tutorial in which students work through health care scenarios. The goals of the health care scenarios are to provide a context for learning, to activate prior knowledge, to motivate students, and to stimulate discussion. Learning is student-centered rather than faculty-centered, and self-directed learning is emphasized. Whereas the former focuses on critical thinking and clinical judgement, the latter's emphasis is on clinical competency. The physical therapist (PT) program at Cheju Halla college is a partial integrated problem-based curriculum. The history and process of PBL in general and in the PT program are reviewed. Long-term advocates of PBL stress that it is the only known method for preparing future professionals to be able to adapt to change, learning how to reason critically, enabling a holistic approach to health.

• 콘크리트학회논문집
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• 제29권2호
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• pp.217-223
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• 2017

이 연구는 포스트텐션 콘크리트 부재의 화재에 대한 구조성능 평가기술을 개발하기 위하여, 고온에 노출된 포스트텐션 보와 슬래브 부재의 구조특성과 평가기법을 내화 실험을 통하여 연구하였다. 내화 실험 시 가열은 전기로를 사용하였으며 수열온도를 $400^{\circ}C$, $600^{\circ}C$, $800^{\circ}C$로 하였다. 이 연구로부터 고온을 받는 강연선은 응력 이완이 발생되고, 냉각되면서 긴장력의 일부 복원이 나타나는 것을 알 수 있었다. 포스트텐션 보와 슬래브 실험체가 각각 목표온도 도달 후 4시간 경과 시 포스트텐션 부재의 강연선의 잔존 긴장력을 살펴보면, 포스트텐션 보는 $400^{\circ}C$에서는 70%, $600^{\circ}C$에서는 10%, $800^{\circ}C$에서는 2%정도로 볼 수 있으며, 포스트텐션 슬래브는 $400^{\circ}C$에서는 94%, $600^{\circ}C$에서는 84.5%, $800^{\circ}C$에서는 62%정도로 나타났다. 상대적으로 포스트텐션 슬래브의 잔존 긴장력 손실이 작았던 이유는 슬래브가 고온에 일면 노출되었고, 강연선의 강도복원이 일어났기 때문으로 여겨졌다. 이 연구로부터 화재가 발생하는 경우 포스트텐션 부재는 강도 및 긴장력의 손실이 발생하고, 보강 시 손실된 내력만큼의 복원설계가 필요함을 확인하였다.

• 대한전자공학회논문지SD
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• 제40권9호
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• pp.631-637
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• 2003

Pt/TiO/sub x/SiO₂/Si 기판 위에 1,3-propanediol 을 이용해 sol-gel 법으로 제작한 PZT(30/70) 후막의 구조적 및 전기적, 강유전 특성에 대하여 조사하였다. 열처리 공정은 열 응력 (thermal stress) 를 줄이기 위해 RTA를 사용하였고, 최종적으로 650℃의 로(furnace)에서 어닐링하였다. SEM 분석 결과 1회 코팅에 330nm 의 두께를 얻었으며, 3회 코팅으로 약 1 μm 정도의 두께를 얻었다. C-D 측정결과, 1 kHz에서 비유전률과 유전손실은 각각 886 과 0.03 이었다. C-V 곡선은 좌우 대칭인 나비모양을 나타내었다. 누설전류밀도는 200kV/cm 에서 1.23×10/sup -5/A/cm²이었으며, 이력곡선으로부터 구한 잔류분극 (P/sub r/) 과 항전계(E/sub c/) 는 각각 33.8μC/cm²과 56.9kV/cm 이었다. 결론적으로 본 연구에서 제작된 PZT(30/70) 후막은 우수한 강유전 및 전기적 특성을 보였다.

• 센서학회지
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• 제5권6호
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• pp.51-59
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• 1996

실리콘기판과의 스트레스균형이 이루어진 150 nm-$Si_{3}N_{4}$/300 nm-$SiO_{2}$/150 nm-$Si_{3}N_{4}$ 다이아프레임위에 백금 박막히터 및 Bi-Sb 열전대배열을 형성하여 히터에서 실리콘기판으로 전달되는 열량의 차단효과가 현저히 개선된 유체센서를 제작하였다. 백금 박막히터는 유전체 다이아프레임의 열차단 효과때문에 비선형 전류-전압 특성을 나타내었고, 이 히터의 저항온도계수는 약 $0.00378\;/^{\circ}C$였으며, 또한 Bi-Sb 열전대의 Seebeck계수는 약 $97\;{\mu}V/K$였다. 기체의 열전도도가 증가할수록 유체센서가 나타내는 열기전력은 감소하였으며, 히터온도가 증가하거나 히터와 열전대사이의 거리가 감소할수록 센서의 감도는 증가하였다. 히터전압을 약 2.5V로 하였을 때 유체센서의 $N_{2}$유량에 대한 감도는 약 $1.27\;mV{\cdot}(sccm)^{-1/2}$였고, 열응답시간은 약 0.13 초였다.