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Critical dimension uniformity improvement by adjusting etch selectivity in Cr photomask fabrication

  • 오창훈;강민욱;한재원
    • 한국진공학회:학술대회논문집
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    • 한국진공학회 2016년도 제50회 동계 정기학술대회 초록집
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    • pp.213-213
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    • 2016
  • 현재 반도체 산업에서는 디바이스의 고 집적화, 고 수율을 목적으로 패턴의 미세화 및 웨이퍼의 대면적화와 같은 이슈가 크게 부각되고 있다. 다중 패터닝(multiple patterning) 기술을 통하여 고 집적 패턴을 구현이 가능해졌으며, 이와 같은 상황에서 각 패턴의 임계치수(critical dimension) 변화는 패턴의 위치 및 품질에 큰 영향을 끼치기 때문에 포토마스크의 임계치수 균일도(critical dimension uniformity, CDU)가 제작 공정에서 주요 파라미터로 인식되고 있다. 반도체 광 리소그래피 공정에서 크롬(Cr) 박막은 사용되는 포토 마스크의 재료로 널리 사용되고 있으며, 이러한 포토마스크는 fused silica, chrome, PR의 박막 층으로 이루어져 있다. 포토마스크의 패턴은 플라즈마 식각 장비를 이용하여 형성하게 되므로, 식각 공정의 플라즈마 균일도를 계측하고 관리 하는 것은 공정 결과물 관리에 필수적이며 전체 반도체 공정 수율에도 큰 영향을 미친다. 흔히, 포토마스크 임계치수는 플라즈마 공정에서의 라디칼 농도 및 식각 선택비에 의해 크게 영향을 받는 것으로 알려져 왔다. 본 연구에서는 Cr 포토마스크 에칭 공정에서의 Cl2/O2 공정 플라즈마에 대해 O2 가스 주입량에 따른 식각 선택비(etch selectivity) 변화를 계측하여 선택비 제어를 통한 Cr 포토마스크 임계치수 균일도 향상을 실험적으로 입증하였다. 연구에서 사용한 플라즈마 계측 방법인 발광분광법(OES)과 optical actinometry의 적합성을 확인하기 위해서 Cl2 가스 주입량에 따른 actinometer 기체(Ar)에 대한 atomic Cl 농도비를 계측하였고, actinometry 이론에 근거하여 linear regression error 1.9%을 보였다. 다음으로, O2 가스 주입비에 따른 Cr 및 PR의 식각률(etch rate)을 계측함으로써 식각 선택비(etch selectivity)의 변화율이 적은 O2 가스 농도 범위(8-14%)를 확인하였고, 이 구간에서 임계치수 균일도가 가장 좋을 것으로 예상할 수 있었다. (그림 1) 또한, spatially resolvable optical emission spectrometer(SROES)를 사용하여 플라즈마 챔버 내부의 O atom 및 Cl radical의 공간 농도 분포를 확인하였다. 포토마스크의 임계치수 균일도(CDU)는 챔버 내부의 식각 선택비의 변화율에 강하게 영향을 받을 것으로 예상하였고, 이를 입증하기 위해 각각 다른 O2 농도 환경에서 포토마스크 임계치수 값을 확인하였다. (표1) O2 11%에서 측정된 임계치수 균일도는 1.3nm, 그 외의 O2 가스 주입량에 대해서는 임계치수 균일도 ~1.7nm의 범위를 보이며, 이는 25% 임계치수 균일도 향상을 의미함을 보인다.

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중학교 1학년 학생들의 변인통제 능력 향상을 위한 메타전략 활동의 효과 (The Effect of Metastrategic Activities on 7th Grade Students' Variable Controlling Abilities)

  • 정진우;장명덕;정철;허병철
    • 한국지구과학회지
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    • 제24권7호
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    • pp.604-613
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    • 2003
  • 이 연구의 목적은 메타전략 활동이 중학교 1학년 학생들의 변인통제 능력 향상에 효과가 있는지를 조사하는 것이었다. 이를 위해 대구광역시내 1개 중학교 1학년 3학급을 각각 메타전략 활동집단, 문제풀이 활동집단 및 통제집단으로 선정하였다. 처치활동으로 메타전략 활동집단에게는 매회 15분씩 총 4회에 걸쳐 어느 한 특정 상황에서 변인통제전략에 대한 컨트롤, 모니터 및 평가 등의 활동이 요구되는 자료를 투입하였다. 문제풀이 활동집단에게는 메타전략 활동집단과 같은 방법으로 활동자료를 투입하였으나 그 내용은 다양한 상황하에서 여러 가지 변인통제 문제들을 해결하는 활동으로 구성되었다. 이 연구의 결과는 다음과 같다. 첫째, 메타전략 활동집단은 문제풀이 활동집단 및 통제집단보다 변인통제 능력 향상에 효과적이며(p<.05) , 그 효과는 지속적이었다(p<.01). 문제풀이 활동집단의 경우, 통제집단보다 효과는 있었으나(p<.05) 지속 효과는 없었다. 둘째, 변인통제 능력의 요소별 발달 정도를 집단간 비교 분석 결과, 메타전략 활동집단이 문제풀이 활동집단보다 고정변인 찾기 능력에서 통계적으로 유의미한 차이를 보인 반면(p<.01), 독립변인 찾기 능력에서는 통계적으로 유의미한 차이가 없었으며, 종속변인 찾기 능력 발달로의 전이의 효과는 없었다. 따라서 이상의 연구 결과를 종합해 볼 때, 과학탐구능력 중의 변인통제 능력을 향상시키기 위해서는 다양한 문제를 해결하도록 하는 활동 못지 않게 한 문제에 대해 깊이 생각해보는 메타전략 활동이 효과가 있음을 알 수 있었다.

문제해결 상황이론의 적용을 통한 온라인 공중의 사회적 쟁점인식과 커뮤니케이션 행위 분석: 한·일 관계악화에 따른 일본 불매운동 이슈를 중심으로 (Issue Recognition and Communicative Behavior of Online Public on a Social Issue: An Application of the Situational Theory of Problem Solving on Nationwide Civil Boycott of Japanese Goods)

  • 이상연;이유나
    • 한국콘텐츠학회논문지
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    • 제20권6호
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    • pp.326-341
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    • 2020
  • 본 연구는 국내 온라인 커뮤니티 이용 공중(public)이 한국과 일본의 관계 악화에 따른 민간주도의 불매운동 이슈에 대하여 그 중요성을 인식하고 관련된 커뮤니케이션 행위에 관여하는 과정을 문제해결 상황이론(Situational Theory of Problem Solving, STOPS)의 적용을 통해 분석하였다. 이를 위해 지난 2019년 7월 일본의 경제보복 성격의 수출규제 조치로 인해 촉발된 일본산 제품 불매운동을 사회적 쟁점으로 선정하여, 온라인 커뮤니티에서 활동하는 공중 524명을 대상으로 설문조사를 실시했다. 연구결과, 불매운동 이슈에 대한 공중의 높은 문제인식과 준거지침은 문제해결을 위한 상황적 동기에 정(+)적 영향을 주는 것으로 나타났다. 제약인식과 관여도는 정(+)적 영향을 주었으나 통계적으로 유의하지 않았다. 매개변인인 상황적 동기는 정보선별, 정보수용, 정보전달, 정보공유, 정보추구, 정보주목으로 구성된 문제해결 커뮤니케이션 행위에 모두 정(+)적 영향을 주고 있는 것으로 나타났다. 즉, 사회적 쟁점인 불매운동에 대해 중요성을 느끼고 있으며, 이에 대한 배경지식과 의지를 지닌 온라인 공중은 보다 적극적으로 문제해결을 위한 다양한 커뮤니케이션 행위에 참여함을 확인하였다. 또한 연구결과의 이론적 함의와 더불어 향후 연구의 방향성에 대해 기술하였으며, 특히 실무적으로는 정부의 공공PR 전략이 이러한 온라인 공중의 능동성과 파급력을 감안하여, 정교하게 구분된 공중의 특성에 맞는 섬세하고 효과적인 커뮤니케이션 전략을 수립-실행해야 함을 논하였다.

정부의 위기 상황에서 의제설정과정 참여자들의 메시지 분석: 파라벤 치약 논란과 정부의 대응을 중심으로 (An Analysis of Messages Produced by Participants in the Agenda Setting Process during a Government's Crisis Situation: Focusing on the Ministry of Drug and Food Safety's Response to Paraben Toothpaste Issue)

  • 이미나;홍주현
    • 한국콘텐츠학회논문지
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    • 제15권7호
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    • pp.460-476
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    • 2015
  • 위기 커뮤니케이션에 있어 SNS를 비롯한 뉴미디어 활용의 중요성이 강조되고 있지만 구체적인 활용 방안에 대한 고찰과 논의는 부족한 실정이다. 이 연구는 지난 해 논란이 되었던 식약처의 '파라벤 치약' 사례를 중심으로 정부의 위기관리 체계를 커뮤니케이션 관점에서 살펴봄으로써, 위기 시 대언론관계 관리와 뉴미디어의 역할에 대해 실무적 함의를 제공하는 것을 목적으로 한다. 이 연구는 정책 이슈의 확산 과정을 SNS 중심의 의제설정 관점에서 살펴보고, 정책결정과정의 주요 참여자인 정부, 언론, 국민들이 정부의 위기 상황에서 어떤 메시지를 생산하였는지 비교하였다. 이를 위해 파라벤 치약 이슈가 논란이 되었던 한 달여 동안의 사건 전개 과정을 4단계로 구분하고, 단계별로 식약처의 해명 자료와 주요 언론의 보도 기사(총 45건), 관련 트윗(총 645건)을 텍스트 분석, 어절 분석, 네트워크 분석을 통해 살펴보았다. 정부, 언론, 국민이 생산한 메시지를 분석한 결과를 토대로 식약처의 위기 커뮤니케이션에 있어서의 문제점에 대해 논의하고, 위기 발생 시 정부의 대언론 관계 관리 및 뉴미디어 활용 방안을 제시하였다.

방송광고에서 장르의 역할에 대한 기대관점과 활용에 대한 태도가 방송광고 장르에 대한 호감도에 미치는 영향 (The Effect of Expected Perspective on the Role of Genre and Attitude toward Utilizing Genre in Broadcast Ad on the Liking of Broadcast Ad Genre)

  • 김철호
    • 디지털융복합연구
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    • 제12권12호
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    • pp.491-506
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    • 2014
  • 본 연구의 목적은 방송광고에 장르 개념을 학제적으로 적용하여 방송광고에서의 장르 역할에 대한 기대관점과 장르 활용에 대한 태도가 소구유형으로서의 방송광고 장르 호감도에 미치는 영향을 탐색적으로 살펴보는데 있다. 연구 결과, 거시환경적 기대관점과 부정적 태도 간에, 미시실용적 기대관점과 긍정적 태도 간에 높은 상관관계가 있는 것으로 나타났다. 통합상황적 기대관점의 소비자는 방송광고에서의 장르 역할에 이중적 태도를 갖고 있는 것으로 조사되었다. 방송광고에서 장르의 역할에 미시실용적 기대관점을 지닌 소비자는 비교광고와 성표현광고 호감도가 상대적으로 더 높게 나타났고, 통합상황적 기대관점을 가진 소비자는 거시환경적 기대관점과 미시실용적 기대관점의 중간적인 호감도를 보였다. 방송광고에서의 장르 활용에 긍정적 태도를 갖고 있는 경우 비교광고와 성표현광고 호감도가 상대적으로 더 높은 것으로 나타났고, 이중적 태도를 가진 소비자의 방송광고 장르 유형에 대한 호감도는 부정적 태도와 긍정적 태도의 중간적인 것으로 나타났다.

VANET에서 QoS Provisioning모델의 구현 (Implementation of QoS Provisioning Model in VANET)

  • 허지완;송왕철
    • 한국콘텐츠학회:학술대회논문집
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    • 한국콘텐츠학회 2009년도 춘계 종합학술대회 논문집
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    • pp.884-888
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    • 2009
  • Vehicular Adhoc Networks(VANET)은 차량과 노변장치 또는 차량간 통신 기술로 MANET의 보다 구체적인 활용 분야이면서 MANET의 Quality of Service(QoS) 기술이 Video on Demand(VoD), Video streaming, Voice over IP(VoIP) 등 멀티미디어 데이터의 품질을 위하여 연구되고 있다면, VANET에서는 사고나 기타 예상될 수 있는 응급한 상황에 대하여, 즉시 주변 차량에 전달하여 사고를 미연에 방지하는 등의 부분에 초점이 맞추어져있다. 본 논문에서는 Link State Routing(LSR)을 이용하여 실제 네트워크를 구성하고, Common Open Policy Service(COPS)를 이용한 QoS Provisioning 모델을 구현하였다. 그리고 VANET의 특성에 맞는 보다 효율적인 k-hop Cluster, inter-domain policy negotiation에 대하여 제안한다.

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생육환경에 따른 Poa pratensis L., Lolium perenne L. 및 Festuca arundinacea Schreb.의 초종 및 품종별 발아세, 발아속도 및 발아율 비교 (Comparison of Early Germinating Vigor, Germination Speed and Germination Rate of Varieties in Poa pratensis L., Lolium perenne L. and Festuca arundinacea Schreb. Grown Under Different Growing Conditions)

  • 김경남;남상용
    • 아시안잔디학회지
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    • 제17권1호
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    • pp.1-12
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    • 2003
  • 국내에서 사용하고 있는 대표적 한지형 잔디인 켄터키블루그라스, 퍼레니얼라이그라스 및 톨훼스큐의 발아실험 결과 초종, 품종 및 생육환경에 따라 발아특성 차이가 나타났는데 그 결과를 요약하면 다음과 같다. 1. 생육환경 차이에 따라 발아세, 발아속도 및 발아율 차이가 크게 나타나기 때문에 초종간 발아 특성을 파악해서 활용하는 것이 바람직하다. 또한 품종별 발아 경향 차이도 크기 때문에 동일 초종 안에서도 조성목적에 따라 품종별 발아특성을 고려한 선택이 절대적으로 필요하다. 2. 한지형 잔디의 초기 발아세 및 최종 발아율경향이 초종 및 품종에 따라 다르고, 또한 실무적으로 대면적을 적기에 파종하는 것은 쉽지가 않다. 하지만, 품종별 발아세 및 발아속도 특성은 중요하기 때문에 종자 파종량 결정시 초기 발아세 및 최종 발아율 결과를 동시에 검토해서 결정하는 것이 바람직하다. 3. 초종별 발아속도는 퍼레니얼라이그라스가 7∼10일로 가장 빨랐고, 켄터키블루그라스가 14 ∼21일로 가장 느렸다. 톨훼스큐는 켄터키블루그라스와 퍼레니얼라이그라스의 중간인 10∼14일 정도로 나타났다. 따라서, 조성 후 잔디품질 및 환경적응력보다도 파종후 급속 피복이 우선적으로 요구되는 곳에는 퍼레니얼라이그라스가 가장 적합하였다. 4. 실온, 변온 및 항온에 따라 퍼레니얼라이그라스 및 톨훼스큐 잔디는 초기 발아 경향 차이는 있었지만, 최종 발아율은 거의 비슷하였다. 이에 비해 켄터키블루그라스는 초기 발아 경향뿐만 아니라 최종 발아율도 차이가 크게 나타났다. 또한 켄터키블루그라스 품종간 차이도 커서 변온조건에서 최종 발아율이 91.7%였던 Midnight 품종은 실온 조건에서는 71.0%로 20% 정도, 그리고 항온 조건에서는 15.3%로 75% 정도 발아율이 감소하였다. 5. 따라서, 켄터키블루그라스로 잔디밭 조성시 조성 지역 및 파종 시점의 생육환경 분석 및 품종별 발아특성을 고려해서 전문가에 의한 초종선정과 파종량 결정을 하는 것이 양질의 잔디품질을 위해 절대적으로 필요하다. 6. 한지형 잔디 모두 발아환경에 따라 초기 발아속도, 발아경향 및 발아율 차이가 상당히 다르기 때문에 파종량 결정 시 ISTA규정의 표준 발아 실험에서 수행한 발아율 결과를 이용하는 것이 적절하다. 7. ISTA규정의 표준발아실험을 하기 어려운 경우에 저관리용으로 많이 쓰이는 퍼레니얼라이그라스 또는 톨훼스큐는 봄과 가을에 실온의 환경이 10∼$25^{\circ}C$ 사이의 자연적인 변온이 가능하다면 실온에서의 발아검정 결과를 간접적으로 활용할 수 있다. 8. 하지만, 고품질의 골프장 또는 경기장에 많이 쓰이고 있는 켄터키블루그라스는 생육환경에 따라 발아세 및 발아율 차이가 크기 때문에 변온조건의 생육상에서 4주간 발아검정이 반드시 필요하다. 9. 한지형 잔디의 발아율 검정 기간은 ISTA 규정에서 퍼레니얼라이그라스 및 톨훼스큐는 2주, 그리고 켄터키블루그라스는 4주이지만, 시공상 충분한 시험기간이 어려운 경우 퍼레니얼라이그라스는 10일, 톨훼스큐는 2주, 그리고 켄터키블루그라스는 3주 정도면 해당 종자의 90%전후 수준의 발아력 검정이 가능하다고 판단되었다. 10. 골프장이나 경기장 등 대면적의 잔디밭 조성시 선행 공정, 시공 상황 및 기후 등의 변수로 인해 대부분의 경우 적기 파종이 어려운 상황이다. 따라서, 장기적으로 켄터키블루그라스, 퍼레니얼라이그라스 및 톨훼스큐 초종별 여러가지 품종을 1일 간격으로 ISTA 규정의 변온조건 및 계절별 실온조건에서 발아세, 발아속도, 발아경향 및 발아율 등 발아검정 특성 시험을 하는 것이 필요하다. 그리고 이러한 검정시험을 통해 파악된 초종 및 품종별 발아특성과 함께 조성지의 발아온도를 올릴 수 있는 비닐피복 등의 방법을 실무현장에 활용 시 양질의 잔디 조성이 가능할 것으로 판단되었다.

전문대학 신입생들의 대학선택 영향 요인 분석을 위한 측정도구 개발 (Development a Measurement Scale for Analysis on Factors Influencing College Choice of College Freshman's)

  • 김명은;장원석
    • 한국콘텐츠학회논문지
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    • 제16권7호
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    • pp.50-62
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    • 2016
  • 본 연구는 전문대학을 선택하는 과정에 영향을 미치는 요인을 파악하기 위한 측정도구를 개발하고자 시행되었다. 이를 위해 연구모형과 초기문항을 설정하였고 내용타당도와 1차 예비조사과정을 거쳤다. 문항의 타당도와 신뢰도 분석을 위해 충북 제천 소재의 일개 전문대학 신입생 230명을 대상으로 2차 예비조사를 실시하였으며 문항분석과 문항 신뢰도 분석, 주성분 분석을 이용한 요인분석, Cronbach's ${\alpha}$ 계수를 통한 도구의 신뢰도를 검증하였다. 분석결과 전체 변량의 68.37%를 설명하는 15요인(61문항)이 추출되었으며 속성에 따라 매체경로정보수집(4문항), 대학활동경로정보수집(3문항), 대학지원 및 환경(4문항), 교육관련(5문항), 의사결정영향인사(3문항), 교육품질(4문항), 교육서비스(5문항), 대학명성(3문항), 접근성(2문항), 개인상황(2문항), 매체광고(5문항), 대학프로모션(4문항), 온라인홍보(4문항), 인적홍보(3문항), 대학 이미지(10문항)로 분류되었다. 본 설문도구의 Cronbach's ${\alpha}$는 전체 0.916이었고 각 요인별로 0.694~0.878로 나타났다. 개발된 측정도구는 급격한 환경변화로 신입생 충원에 어려움이 많은 지방 전문대학의 정책적 전략 수립 시 필요한 기초자료 수집에 활용될 수 있을 것이라 생각된다.

werden-구성의 의미분석과 상황유형 (Semantische Analyse von werden-Konstruktionen und die Situationstypen)

  • 이점출
    • 한국독어학회지:독어학
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    • 제2집
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    • pp.75-100
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    • 2000
  • Das Ziel dieses Aufsatzes ist es, dass wir aile seit Lakoff(1965) als inchoative Verben angenommenen Konstruktionen aus Adjektiv + werden bzw. die dazu synonymen Verben nicht mehr unter eine Kategorie 'Inchoativ' subsumieren, und diese Konstruktionen mutatives(werden + dick), ingressives(werden + krank) und duratives Verb(werden + dicker) untergliedern, und $schlie{\ss}lich$ auf Grund dieser Analyse Vendlers 4 Situationstypen Zustand, Prozess, Accomplishmen und Achievement noch deutlicher spezifizieren. Mutative Verben sind rechtsbegrenzte Prozessverben, ingressive Verben linksbegrenzte Zustandsverben, und durative Verben nichtbegrenzte Prozessverben. In mutativen und durativen Verben wird der Vorgang als Kontinuum aufgefasst, und in ingressiven Verben wird der Vorgang als diskontinuierliche Aufeinanderfolge zweler $Zust\"{a}nde.\;\"{U}brigens$ haben mutative Verben obligatolisch Prozesscharakter und der Prozess bewirkt $Zustandsver\"{a}nderung$. Ingressive Verben haben nicht $prim\"{a}r$ Prozesscharakter, und $m\"{o}glicher$ Prozess $verl\"{a}uft$ innerhalb emes Zustandes. Es gibt also $gen\"{u}gend$ Motivation $daf\"{u}r$, werden bei allen drei Klassen in einheitlicher Weise zu beschreiben. Nach $g\"{a}ngiger$ Auffassung ist die Semantische Form(SF) von werden vom semantisch unmarkierten sein durch das telische $Pt\"{a}dikat\;_{BECOME}$ unterschieden. In diesem Aufsatz $ersetzt_{CHANGE}\;das\;Pradikat\;_{BECOME;}$ die Bedeutung von $von\;_{BECOME}$ ist eine der $m\"{o}glichen kontextabh\"{a}ngigen$ semantischen Anreicherungen $von\;_{CHANGE.\;CHANGE}$ ist unterbestimmt $bez\"{u}glich\;Telizit\"{a}t$ und Prozesshaftigkeit. $_{CHANGE}[P(X)]$ ist die Basis­bedeutungskomponente von werden in allen adjektivischen werden­Konstruktionen. Mit Hilfe von $Pr\"{a}dikaten\;_{CHANGE,\;TARG},\;und\;_{ATOM}$ bekommen wir die Beschreibung von $Markiertheitsverh\"{a}Itnissen$ zwischen den Situations­typen, die mit nur zwei semantischen Klassifizierungskomponenten(${\pm}Prozess,\;{\pm}Become$) nicht darzustellen sind. Veranderungssituationen sind $Nicht-Zust\"{a}nde$, markiert durch das $Pt\"{a}dikat\;_{CHANGE}.\;Ver\"{a}nderungs­situationen$ mit einem Ziel(TARG) sind Ereignisse. Eine Veranderung ohne Begrenzung ist ein Prozess. Achievements sind $atomare(_{ATOM})\;Ereignisse(_{TARG})$. Accomplishments sind durch TARG hinreichend charakterisiert, d.h. eine $zielbezogene(_{TARG})$ Veranderung, die nicht als $atomar(_{-ATOM})$ gekennzeichnet ist, ist ein Accomplishment.

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문화유적 관리계획 수립에 관한 연구 - 유적관리의 개념과 계획수립과정을 중심으로 - (A Study on the Planning of Cultural Heritage Sites Management)

  • 한상우
    • 고문화
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    • 65호
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    • pp.5-29
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    • 2005
  • 이 논문은 문화유적 관리를 위한 기본개념의 이해, 그리고 계획 수립의 여러 개별과정과 그 과정에서 요구되는 기본적인 이론과 고려사항에 대한 제안과 검토를 통해 체계적이고 효과적인 문화유적 관리계획의 수립방안을 제시하는 것에 그 연구목적이 있다. 효과적인 문화유적 관리계획 수립을 위하여서는 서구의 문화유적 관리의 개념과 이론의 적용과 더불어 우리의 문화유적이 가지는 고유한 특성과 그 속에 내재된 비물질적인 의미와 중요성을 잘 보존할 수 있는 방안들이 충분히 고려되어야 하며, 유적의 원형보존이라는 개념과 더불어 유적 기능의 보존이라는 개념이 적용되어야 한다. 또한 이를 바탕으로 문화유적이 가지는 여러 가지 교육적 그리고 문화관광의 자원으로서의 가치도 적극적으로 활용함도 큰 중요성을 지닌다. 이는 문화유적의 보존은 그것이 가지는 가치를 보호하여 유지하는 것이며 원형보존은 이를 위한 하나의 수단일 뿐 그것이 궁극적인 목표는 아니기 때문이다. 문화유적 관리계획은 대상 유적의 확인(identification), 유적의 평가(assesment), 유적관리를 위한 정책 수립(design of management policy), 유적관리를 위한 실천방안 수립(design of management Practice), 그리고 마지막으로 계획의 평가와 보완을 위한 모니터링 단계(management monitoring system for evaluation and revision of the plan) 등의 일련의 중요한 과정들을 거쳐 수립된다. 이러한 관리계획 수립의 각 과정은 신중하게 계획되어지고 철저하게 실천되어야 완성도가 높은 종합 관리계획을 수립할 수 있다. 유적의 확인과정에서부터 유적의 평가, 정책 수립, 실천방안 수립, 그리고 모니터링에 이르는 유적 관리계획 수립의 전 과정에 주민들의 직접적인 참여 기회가 보장되어야 하며 이를 위한 다양한 방안들이 강구되어야 한다. 또한, 우리의 소중한 문화유적의 체계적이고 효과적인 관리계획의 수립을 위한 국가차원의 소위, '한국문화유적관리준칙'을 시급히 마련하여, 우리 문화유적의 고유한 특징과 우리나라의 여러 상황에 맞는 기준과 개념, 그리고 실천 체계를 완비하여야 할 것이다

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