• 제목/요약/키워드: P-delta 영향

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복합화력 제어가능 운전 파라미터의 실시간 영향산출 기법 (A Real-time Calculation Method on Performance Impact of Controllable Operation Parameters for Combined Cycle rower Plant)

  • 주용진;박종호
    • 에너지공학
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    • 제15권1호
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    • pp.67-73
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    • 2006
  • 본 논문에서는 복합화력 발전시스템을 대상으로 온라인 성능감시시스템을 적용함에 있어 제어가능 운전 파라미터의 실시간 영향산출 기법을 고안하였다. 이 기법은 가스터빈 인입필터 차압, 압축기 효율 등과 같은 운전 파라미터에 대해 기대치와 현재치의 편차로 인해 얼마만큼 성능에 영향을 미치는가를 정량적으로 산출하여 사용자가 즉각적으로 성능향상을 위한 운전조작이 가능하도록 조치할 수 있는 성능관리지표로서 활용된다.

조기 사춘기 여아에서 단기간 성선자극호르몬 방출호르몬 효능약제와 성장호르몬 병합투여의 성장촉진 효과 (Growth promoting effect of short-term gonadotropin releasing hormone agonist with or without growth hormone in girls with early puberty)

  • 이은주;한헌석
    • Clinical and Experimental Pediatrics
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    • 제50권2호
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    • pp.198-204
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    • 2007
  • 목 적: 성조숙증에서 관찰된 최근의 연구 결과를 보면 사춘기 발육이 빠른 당시에는 신장이 커보일 수 있으나 결국 최종성인신장은 감소하게 된다. 이에 사춘기를 중단시킴으로써 최종 성인신장을 증가시킬 수 있을 것이라는 기대로 성선자극호르몬 방출호르몬 효능약제를 사용하여 골성숙의 기간을 연장하고자 하였다. 또한 조기 사춘기로 인하여 최종성인신장의 예후가 불량한 소아에서 성선자극호르몬 방출호르몬 효능약제 및 성장호르몬의 병합요법 효과를 성선자극호르몬 방출호르몬 효능약제 단독 사용 시의 효과와 비교하여 각각의 성장 촉진 효과를 알아보고자 하였다. 방 법: 역연령에 비하여 골연령이 증가되어 있으며 조기 사춘기를 보이는 여아를 대상으로 GnRHa 및 성장호르몬을 단기간 투여하였다. 제 1군은 triptorelin을 단독으로 4주에 한 번씩 근육주사하였고, 제 2군은 성장호르몬을 병합하여 치료하였다. 치료 기간은 약 1년이었으며 치료 시작시와 치료 후의 두 군간의 역연령, 골연령, 역연령과 골연령의 차이, 예측성인신장, 표적키, 표적키와 예측성인신장과의 차이, 혈청 IGF-1 및 IGFBP-3치를 비교하였다. 결 과: 치료 시작시 두 군 간의 골연령, 표적키, 예측성인신장, 예측성인신장과 표적키의 차이는 없었으나 골연령과 역연령의 차이 및 역연령은 유의한 차이를 보였다. 혈청 IGF-1 및 IGFBP-3값의 차이는 없었고 평균 치료기간은 $1.06{\pm}0.93$년이었다. 치료 후의 골연령과 역연령의 차이는 전체적으로 감소하였으며 두 군간에도 유의한 차이를 보였다. 치료 후의 예측성인신장은 치료전과 비교했을 때 모두 증가하여 단기간의 치료에도 효과가 있었으며 두 군 모두 의미 있는 값을 가지나 특히 성장호르몬을 같이 사용한 2군에서 더욱 큰 차이를 보여 병합요법의 성장촉진효과를 알 수 있었다. 표적키와 예측성인신장의 차이는 전체적으로 치료전보다 의미 있는 감소를 보였으며 두 군을 비교했을때 역시 2군에서 더욱 의미 있게 감소하였다. 혈청 IGF-1과 IGFBP-3는 GnRHa 사용 후에 성장호르몬-IGF 축이 억제되어 1군에서 모두 감소하였으나 성장호르몬을 병합한 2군에서는 모두 증가하였고 이때 통계적인 의미는 없었다. 결 론: 조기 사춘기로 인하여 역연령에 비해 골연령이 증가함으로써 성인신장에 나쁜 영향을 끼치는 경우에는 단기간의 GnRHa의 사용으로 사춘기의 빠른 진행을 억제하고 골성숙의 기간을 연장시킴으로써 예측성인신장을 증가시킬 수 있다. 또한 성장호르몬 병합요법으로 예측성인신장이 표적키에 도달하는데 있어 GnRHa 만으로 성장호르몬-IGF 축이 억제된 경우보다 성장촉진 효과를 나타낸다. 그러나 이는 단기간 사용 시의 치료효과이므로 최종성인신장의 비교를 위해서는 향후 장기적인 추적관찰이 필요하다.

복사에 관여하는 유한 원통형 매질에서의 복사열 전달 (Radiative Heat Transfer in Radiatively Particpating Finite Cylindrical Media - Exact and P-N Solutions -)

  • 서인수;손종관;임승욱;이준식
    • 대한기계학회논문집
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    • 제12권6호
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    • pp.1428-1437
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    • 1988
  • 본 연구에서는 흡수, 방사 및 비등방성 산란을 하는 축대칭 유한원통형매질에 서의 형식해로부터 Gaussian Quadrature를 이용하여 수치적으로 엄밀해를 구하고 P-1 과 P-3근사해법을 통하여 얻어진 해와 비교하여 P-1과 P-3근사해법의 타당성을 검토하 였다.또한 매질의 광학두께, 산란알베도, 벽면방사율, 형상계수 등을 주요 파라미 터로 하여 이들의 영향에 대하여 고찰하였다.

심포경(心包經)과 삼초경(三焦經)의 목혈(木穴)과 금혈(金穴)자침이 뇌파에 미치는 영향 비교연구 (A Comparative Study of the Differences among PC9, TE3, PC5 and TE1 and Their Effects on the EEG)

  • 최우진;이승기;박경모
    • Korean Journal of Acupuncture
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    • 제26권2호
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    • pp.15-25
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    • 2009
  • Objective: This paper aimed to understand influences on EEG conducting acupuncture stimulation, by comparing the changes in the acupoints on the body before and after normal people are treated with acupuncture at PC9 and TE3, which are referred to as Wood points(木穴), and PC5 and TE1, which are referred to as the Metal points(金穴) among the five shu points of Yin pericardium Meridian and Yang Triple Energizer Meridian. Methods: The study was performed on 30 healthy female volunteers in their 20's. EEG was measured for 5 minutes before acupuncture stimulation was conducted on PC9, TE3, PC5 and TE1. During 20 minutes of acupuncture treatment, the same items were continuously measured to find out whether there were any changes in them, and they were measured for 5 minutes after removing the acupuncture needles in order to implement a comparative analysis. Results: Comparision of EEG data before and after the treatment at PC9 shows no significant differences in all wave. Compared with the pre-acupuncture period at TE3, $\delta-\theta$ wave decreased significantly (P<0.05) during the acupuncture stimulation periods. Compared with the pre-acupuncture period at PC5, $\delta-\theta$ wave and high $\alpha$ wave increased significantly (P<0.05) during the acupuncture stimulation periods. And Mid $\beta$ wave and high $\beta$ wave decreased significantly (P<0.05) during the acupuncture periods and the post acupuncture periods. Compared with the Pre-acupuncture period at TE1, $\delta-\theta$ wave, $\theta$ wave and high $\alpha$ wave increased significantly (P<0.05) during the acupuncture stimulation periods. And Low $\beta$ wave decreased significantly (P<0.05) during the acupuncture periods. Conclusion: When acupuncture stimulation was performed on PC9 and TE3, referred to as the "Wood points", brain waves were stabled, while when acupuncture was performed on PC5 and TE1, called the "Metal points", a brain was waked. From the findings of this study, we hypothesize that the wood properties, from which growing starts in all things, are related with fast waves of EEG, and the metal properties, which stabilize and converge in all things, are related with slow waves of EEG.

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동위원소 분석에 의한 동해와 남해 연안의 상이한 해조류 군락에 서식하는 저서무척추동물 먹이원 평가 (Isotopic Determination of Food Sources of Benthic Invertebrates in Two Different Macroalgal Habitats in the Korean Coasts)

  • 강창근;최은정;송행섭;박현제;서인수;조규태;이근섭
    • 한국해양학회지:바다
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    • 제12권4호
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    • pp.380-389
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    • 2007
  • 암반 해안의 해조 군락에 서식하는 저서무척추동물들에 의해서 이용되는 유기물의 기원을 밝히기 위하여 저서동물과 그들의 잠재 먹이원에 대한 탄소와 질소 안정동위원소 비($\delta^{13}C$$\delta^{15}N$)값 조성을 분석하였다. 조사는 부영양화된 반폐쇄성 내만인 남해안의 광양만 연안 암반 조간대와 상대적으로 빈영양의 외양에 노출된 환경 특성을 가지는 동해안의 대진(삼척)연안의 암반 조하대를 대상으로 2005년 5월부터 6월 사이에 실시되었다. 암반에서 노출되어 서식하는 부유물 섭식자들은 다른 섭식 양식을 가지는 동물군에 비해 상대적으로 낮은 $\delta^{13}C$ 값을 가져 이들이 식물플랑크톤에서 유래하는 유기물을 주로 이용하여 표영먹이망과 강한 영양연결을 가지는 것으로 나타났다. 반면, 암반틈 속에서 서식하는 일부 부유물 섭식자를 포함한 초식동물과 퇴적물 섭식자 및 육식성 포식자들은 상대적으로 높은 $\delta^{13}C$ 값을 가져 해조류에서 유래한 유기물을 주로 이용하여 저서먹이망을 형성하였다. 따라서 부유물 섭식자를 제외하고 해조 군락을 서식처로 하는 대부분의 동물들이 해조류에서 유래한 유기물을 이용하는 저서먹이망으로 강한 영양연결을 가져 연안 암반 생태계에서 생물생산과 생물 다양성의 유지에 대한 해조류의 중요성을 잘 나타내었다. 또한 광양만과 같은 부영양화된 연안에서 상대적으로 빈영양인 동해 연안 조하대의 저서동물과 해조류에 비하여 높은 $\delta^{15}N$ 값 분포는 육상으로부터 유입되는 영양염이 암반 조간대의 해조류 생산에 이용되고 이어서 이 특정 연안 생태계의 먹이망으로 편입되는 경로를 가지는 것을 시사하였다.축과 높은 정밀도 및 정확도로 반복적인 유기탄소분석에 유용할 것으로 사료된다./TEX>개월의 편차를 보였다. 이처럼 연령을 모르는 우리나라의 혼합치 열기 아동에서 파노라마 방사선 사진을 이용하여 연령 추정시 위의 방정식을 사용한다면 비교적 정확하게 연령을 추정할 수 있으리라고 사료된다. 상아질 접착제의 종류는 별다른 영향을 주지 않은 것으로 분석되었다. 결합강도의 비교에서 컴포머가 글라스 아이어노머에 비해 우수한 것으로 평가되어 소아 환자의 유구치 심미 수복재료로서의 가능성이 입증되었다.후 중합한 군이 산소억제층의 두께가 평균 49%의 감소되었으며(p<0.05), 이들 산소를 차단한 군 간의 유의차는 없었다.며 CYP1A2유전자형에 따른 영향은 관찰할 수 없었다. CYP1A2유전자형에 따른 생체내 대사능을 관찰하는 실험이 향후 이루어 져야 할 것으로 사료된다.san film보다 큰 수증기 투과도를 보였다.적으로 유의한 차이를 보이지 않았다.y tissue layer thinning은 3 군모두에서 관찰되었고 항암 3 일군이 가장 심하게 나타났다. 이상의 실험결과를 보면 술전 항암제투여가 초기에 시행한 경우에는 조직의 치유에 초기 5 일정도까지는 영향을 미치나 7 일이 지나면 정상범주로 회복함을 알수 있었고 실험결과 항암제 투여후 3 일째 피판 형성한 군에서 피판치유가 늦어진 것으로 관찰되어 인체에서 항암 투여후 수술시기는 인체면역계가 회복하는 시기를 3주이상 경과후 적어도 4주째 수술시기를 정하는 것이 유리하리라 생각되었다.한 복합레진은 개발의 초기단계이며, 물성의 증가를 위한 연구가 필요할 것으로 사료된다.또 다른 약물인 glycyrrhetinic acid($100{\mu}M$)도 CCh 자극으로 인한 타액분비를 억제하였다. 이상의 결과로

탄-점성 이론에 의한 점성토 지반의 1차원 압밀특성 (Characteristics of 1D-Consolidation for Soft Clay Ground Based on a Elasto-Viscous Model)

  • 백원진;하성호;이강일;김진영;김주현
    • 한국지반공학회논문집
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    • 제26권8호
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    • pp.49-58
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    • 2010
  • 본 연구에서는 점성토지반에서의 이차압밀특성을 규명하기 위해 정규압밀 영역에 대해 표준압밀시험을 수행하고, Yoshikuni가 제안한 탄-점성 압밀이론의 유한차분해석결과를 이용하여 점성토지반의 압밀특성을 조사하였다. 압밀시험은 초기압밀하중 0.8, 1.6, 3.2, 6.4kgf/$cm^2$의 4케이스에 대해 압밀하중 증분비(${\Delta}p/p_0$)를 1.0으로 하여 수행하였다. 또한 압밀하중증분비의 영향을 명확히 하기 위해 압밀하중 증분비를 변화시킨 장기압밀시험을 수행하였다. 얻어진 실내실험결과에 대해 탄-점성 압밀이론을 이용한 수치해석을 실시한 결과, 수치해석결과가 1차압밀과정에서 약간지연(또는 조기진행)되는 결과가 얻어졌지만, 이차압밀과정에 대해서는 잘 일치한 것으로부터 그 적용성을 검증하였다. 또한 일반적인 점성토지반의 모델지반을 작성하고 압밀특성에 영향을 미치는 압밀정수에 대해 수치모델링을 수행하고 그 영향에 대해서 분석하였다.

강원지역에서 산출되는 탄산천의 수리화학 및 생성환경 (Hydrochemistry and Formation Environment of $CO_2$-rich Springs from the Kangwon Province)

  • 정찬호
    • 한국광물학회지
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    • 제17권1호
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    • pp.61-73
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    • 2004
  • 강원지역에서 산출되는 탄산천의 수리 화학적 특성과 모암과의 관계, 그리고 생성기원에 대해서 해석하고자 하였다. 이 연구에서는 기존의 연구결과에 대한 재해석도 포함되어 있다. 강원지역의 13개 지역에서 탄산수 시료를 채취하였다. 탄산수의 수리 화학적 특성을 보면 $P_{CO2}$ /는 0.787∼4.78 atm 범위의 높은 값을 보이고, 약산성 pH, 높은 전기전도도값(422∼2,280 $\mu$S/cm)의 특성을 보인다. 탄산수의 화학적 유형은 $Ca-HCO_3$형, $Na-HCO_3$형, Ca(Na)-HC $O_3$형으로 구분된다. 아울러 강원지역 탄산수는 다량의 철과 불소를 함유하는 것이 특징이다. 탄산수의 화학적 성분과 모암의 화학분석 자료를 종합하면 $Na-HCO_3$형의 탄산수는 설악산일대 흑운모-칼리장석 화강암의 영향을$ Ca-HCO_3$형의 탄산수는 편마암과 화강암내 방해석등에 영향을 받는 것으로 보인다. 암석내 Na, K, Ca, Mg 함량과 탄산수내 그들의 함량과의 관계가 비례함이 이를 뒷받침한다. 불소는 $Na-HCO_3$형의 탄산수에서 높은 값을 보이고 철 성분은 $Ca-HCO_3$형의 탄산수에서 더 높은 함량을 보인다. 불소는 흑운모(혹은 복운모)화강암내 운모의 OH를 치환한 F성분의 용해에 의한 것으로 해석된다. 동위원소와 암석성분 자료를 근거로 볼 때 모암의 광물화학성분이 탄산수의 화학적 유형을 결정한 것으로 보인다. 이를 확실히 뒷받침하기 위해서는 암종별 현미경적 관찰과 광물에 대한 화학성분 분석이 추가적으로 이루어져야 할 것이다. 탄산수의 $\delta$D과 $\delta^{18}$O 값은 순환수선에 도시되며, $\delta^{13}$C 값이 -0.3∼-6.2$\textperthousand$PDB 범위를 보여 국내 다른 지역 탄산수와 거의 유사한 범위를 보인다. 탄산수는 지하 심부의 $CO_2$ 가스가 지표부로 상승하면서 순환하는 지하수와 혼합된 후 반응하는 모암에 따라서 다양한 화학적 유형의 탄산수가 생성된 것으로 해석된다.

섬유코팅업종사 근로자에서 디메틸포름아미드의 폭로에 의한 생물학적 모니터링에 영향을 미치는 인자 (Influencing Factors that Affect the Biological Monitoring of Workers Exposed to N,N-Dimethylformamide in Textile Coating Factories)

  • 정인성;김종환;최상국;배종연;이미영
    • Journal of Preventive Medicine and Public Health
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    • 제39권2호
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    • pp.171-176
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    • 2006
  • Objectives : The objective of this study is to assess the factors influencing biological monitoring of textile coating factory workers exposed to N,N-dimethylformamide(DMF). Methods : We studied 35 workers who were occupationally exposed to DMF from 9 textile coating factories. The study was carried out in two phases; summer and winter. While air concentration of DMF, temperature and humidity were assessed in order to monitor the atmospheric conditions, biological monitoring was done to determine the internal dose by analyzing the N-methylformamide(NMF) collected from urine at the beginning and end of the shift. Questionnaires and medical surveillance were also obtained during the two phases. Results : Median air concentrations of DMF in winter and summer were 1.85 ppm and 2.78 ppm respectively. Also the difference between the urinary NMF concentration at the beginning and end of the shift $({\Delta}NMF)$ was always significant in each season (P < 0.001). The correlations between log DMF in air, log end-of-shift urinary NMF (r=0.555, P < 0.001) and log ${\Delta}NMF$ (r = 0.444, P < 0.001) was statistically significant in summer. The temperature, humidity, a shift system and different styles of clothing worn were significantly different during the two phases. In a multivariate analysis, temperature and the concentration of DMF in the air were the main factors influencing biological monitoring of textile coating factory workers. Conclusions : Concerning more comprehensive prevention measures to reduce exposure for those workers occupationally exposed to DMF, dermal exposure conditions such as temperature and humidity together with the air concentration of DMF should be assessed and biological monitoring is necessary to reduce adverse health effects, especially during the summer.

폐쇄성 수면 무호흡이 전신성 혈압, 심조율 및 요 Catecholamines 농도 변화에 미치는 영향 (The Influence of Obstructive Sleep Apnea on Systemic Blood Pressure, Cardiac Rhythm and the Changes of Urinary)

  • 노대근;최영미;송정섭;박성학;문화식
    • Tuberculosis and Respiratory Diseases
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    • 제45권1호
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    • pp.153-168
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    • 1998
  • 연구배경: 폐쇄성 수면 무호흡 증후군 환자들에서 동반될 수 있는 전신성 고혈압과 심부정백을 포함한 심혈관계 기능 부전은 장기사망률을 증가시키는 중요한 요인으로 생각되고 있다. 그러나 이들 환자에서 심혈관계 기능부전이 발생하는 병태생리학적 기전에 관한 정설은 확립 되지 못한 실정이다. 방 법: 저자들은 폐쇄성 수면 무호흡 증후군 환자 29명과 대조군 25명을 대상으로 수면다원검사, 각성시와 수면 중 요 catecholamines 농도 측정, 24 시간 활동중 심전도 및 혈압 감시를 실시하여 자료를 비교 분석함으로써 폐쇄성 수면 무호흡이 전신성 혈압, 심조율 및 요 catecholamines 농도 변화에 미치는 영향을 이해하고자 하였다. 결 과: 1) 요 norepinephrine (UNE) 및 epinephrine(UEP) 농도는 페쇄성 수면 무호흡증후군환자와 대조군 모두에서 각성시에 비하여 수면중에 유의하게 감소하였다(P<0.01). 폐쇄성 수면 무호흡 증후군 환자들의 수면중 UNE 농도는 대조군에 비하여 유의하게 높았으나(P<0.05), 각성시 UNE 농도는 대조군과 유의한 차이가 없었다. 두군 모두에서 전신성 고혈압의 동반 여부와 각성시 및 수면중 UNE 및 UEP 농도 상호간의 관련성은 없었다. 2) 폐쇄성 수면 무호흡 증후군 환자들에서는 수면 중 혈압 하강이 없는 경우 (non-dipper) 가 통계적으로 유의하지는 않았으나 대조군에 비하여 많은 경향을 보였으며(P=0.089), 수면중 혈압 하강의 유무와 전신성 고혈압의 동반 여부와는 상호 관련성이 없었다. 3) 전체 연구 대상에서 각성시 및 수면중 평균 수축기 혈압은 무호흡지수, 무호흡-저호흡지수, 수면중 최저 산소포화도, 수면중 산소 탈포화정도와 상호 관련성이 있었으며, 수면중 UNE 농도는 무호흡지수, 무호흡-저호흡지수, 수면중 최저 산소포화도 및 산소 탈포화정도, 수면중 평균 수축기 혈압과 관련성이 있었다. 4) 무호흡지수가 20 이상인 14명의 폐쇄성 수면 무호흡 증후군 환자들에서 무호흡 시기 동안의 섬박동수는 무호흡이 시작되기 전에 비하여 감소하였고, 무호흡이 끝나고 호흡이 재개되는 시기에는 우호흡이 시작되기 전에 비하여 유의한 증가를 보였으며 (P<0.01), 이러한 변화는 무호흡의 기간이 길수록 더욱 현저하였다 (P<0.01). 무호흡 시기와 무호흡이 끝나고 호흡이 재개되는 시기의 심박동수 차이 (${\Delta}HR$) 는 무호흡 발생 전후의 동맥혈 산소포화도의 차이 (${\Delta}SaO_2$)와 매우 유의한 상관관계를 보였다 (r=0.223, P<0.001). 5) 심부정맥의 발생 빈도는 두군 사이에 유의한 차이가 없었으며, 대조군에서는 심실성 기외수축이 각성시에 비하여 수면중에 현저히 감소하였으나(P<0.05), 폐쇄성 수면 무호흡 증후군 환자들에서는 수면중에도 각성시와 차이가 없었다. 결 론: 폐쇄성 수면 무호흡 증후군 환자들은 수면중에 무호홉, 저산소증 및 각성의 주기가 반복됨으로써 교감신경계 활성도의 변화가 초래될 수 있으며, 반복되는 저산소증과 교감신경계 활성도 증가는 전신성 혈압 및 심기능의 변화를 포함한 여러 가지 심혈관계 기능부전의 발생에 영향을 미칠 것으로 생각된다.

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Effect of microwave power on aging dynamics of solution-processed InGaZnO thin-film transistors

  • 김경준;조원주
    • 한국진공학회:학술대회논문집
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    • 한국진공학회 2016년도 제50회 동계 정기학술대회 초록집
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    • pp.256-256
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    • 2016
  • 기존의 디스플레이 기슬은 마스크를 통해 특정 부분에만 유기재료를 증착시키는 방법을 사용하였으나, 기판의 크기가 커짐에 따라 공정조건에 제약이 발생하였다. 이를 해결하기 위해 최근 용액 공정에 대한 연구가 활발히 진행되고 있다. 용액 공정은 기존 진공 증착 방식과 비교하였을 때 상온, 대기압에서 증착이 가능하며 경제적이고, 대면적 균일 증착에 유리하다는 장점이 있다. 반면, 용액 공정으로 제작한 소자는 시간이 지남에 따라 점차 전기적 특성이 변하는 aging effect를 보인다. Aging effect는 용액에 포함된 C기와 OH기 기반의 불순물의 영향으로 시간의 경과에 따라서 문턱전압, subthreshold swing 및 mobility 등의 전기적 특성이 변하는 현상으로 고품질의 박막을 형성하기 위해서는 고온의 열처리가 필요하다. 지금까지 고품질 박막 형성을 위한 열처리는 퍼니스 (furnace) 장비에서 주로 이루어졌는데, 시간이 오래 걸리고, 상대적으로 고온 공정이기 때문에 유리, 종이, 플라스틱과 같은 다양한 기판에 적용하기 어렵다는 단점이 있다. 따라서, 본 연구에서는 $100^{\circ}C$ 이하의 저온에서도 열처리가 가능한 microwave irradiation (MWI) 방법을 이용하여 solution-processed InGaZnO TFT를 제작하였고, 기존의 열처리 방식인 furnace로 열처리한 TFT 소자와 aging effect를 비교하였다. 먼저, solution-processed IGZO TFT를 제작하기 위해 p type Si 기판을 열산화시켜서 100 nm의 SiO2 게이트 산화막을 성장시켰고, 스핀코팅 방법으로 a-IGZO 채널층을 형성하였다. 증착후 열처리를 위하여 1000 W의 마이크로웨이브 출력으로 15분간 MWI를 실시하여 a-IGZO TFT를 제작하였고, 비교를 위하여 furnace N2 gas 분위기에서 $600^{\circ}C$로 30분간 열처리한 TFT를 준비하였다. 제작된 직후의 TFT 특성을 평가한 결과, MWI 열처리한 소자가 퍼니스 열처리한 소자보다 높은 이동도, 낮은 subthreshold swing (SS)과 히스테리시스 전압을 가지는 것을 확인하였다. 한편, aging effect를 평가하기 위하여 제작 후에 30일 동안의 특성변화를 측정한 결과, MWI 열처리 소자는 30일 동안 문턱치 전압(VTH)의 변화량 ${\Delta}VTH=3.18[V]$ 변화되었지만, furnace 열처리 소자는 ${\Delta}VTH=8.56[V]$로 큰 변화가 있었다. 다음으로 SS의 변화량은 MWI 열처리 소자가 ${\Delta}SS=106.85[mV/dec]$인 반면에 퍼니스 열처리 소자는 ${\Delta}SS=299.2[mV/dec]$이었다. 그리고 전하 트래핑에 의해서 발생하는 게이트 히스테리시스 전압의 변화량은 MWI 열처리 소자에서 ${\Delta}V=0.5[V]$이었지만, 퍼니스 열처리 소자에서 ${\Delta}V=5.8[V]$의 큰 수치를 보였다. 결과적으로 MWI 열처리 방식이 퍼니스 열처리 방식보다 소자의 성능이 우수할 뿐만 아니라 aging effect가 개선된 것을 확인할 수 있었고 차세대 디스플레이 공정에 있어서 전기적, 화학적 특성을 개선하는데 기여할 것으로 기대된다.

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