증착조건 및 열처리조건에 따른 $ZrO_2$ 박막의 미세구조와 전기적 특성에 관한 연구
(A study of the microstructures and electrical properties of $ZrO_2$ thin film on Si(100))
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- 한국진공학회지
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- 제9권4호
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- pp.341-345
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- 2000