산화 박막 성장을 위한 $O_3$ 농축 시스템의 구축 및 평가
(Construction and Evaluation of $O_3$ Condensation System for Oxide Thin Film)
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- 한국전기전자재료학회:학술대회논문집
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- 한국전기전자재료학회 2003년도 하계학술대회 논문집 Vol.4 No.2
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- pp.1192-1195
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- 2003