• 제목/요약/키워드: Opto-electronics

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Maskless lithography 응용을 위한 마이크로렌즈 어레이 개발 (Development of Microlens Array for Maskless Lithography Application)

  • 남민우;오해관;김근영;서현우;위창현;송요탁;양상식;이기근
    • 마이크로전자및패키징학회지
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    • 제16권4호
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    • pp.33-39
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    • 2009
  • 마스크리스 리소그래피(maskless lithography)에 응용하기 위한 마이크로렌즈 어레이(microlens array, MLA)가 석영의 습식 식각과 UV 접착제(UV adhesive)의 코팅을 바탕으로 개발되었다. 제작된 MLA의 초점거리는 ${\sim}45\;{\mu}m$ 정도였으며, 집광되는 광선의 초점은 ${\sim}1\;{\mu}m$로 측정되었다. MLA를 통과하며 초점을 맺은 빔(beam)의 크기 및 세기가 charge coupled device (CCD) 카메라와 빔 프로파일러(beam profiler)를 이용하여 각각 측정되었으며, 일정한 세기의 점들이 초점면에서 고르게 관찰되었다. 초점거리는 코팅된 UV 접착제의 두께에 따라 변화하였으며, UV 접착제의 두께가 두꺼울수록 짧아지는 경향을 보였다. 일반적인 마스크 얼라이너(mask aligner)를 이용한 MLA의 UV 포커싱(UV focusing)이 감광막(photoresist, PR) 상에서 실시되었으며, MLA를 통과한 빛이 감광막 위에 일정하게 집광되었다. 마스크 얼라이너와 MLA 사이의 거리 변화에 따라 감광막에 구현된 패턴 사이즈가 조절 되었다. 고온에서 오랜 시간이 지난 후에도 소자의 특성은 전혀 변함이 없었다.

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Legibility of Electronic Paper

  • Jeng, Shie-Chang;Lin, Yen-Rong;Liu, Kang-Hung;Liao, Chi-Chang;Wen, Chao-Hua;Chao, Chih-Yu;Shieh, Kong-King
    • 한국정보디스플레이학회:학술대회논문집
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    • 한국정보디스플레이학회 2005년도 International Meeting on Information Displayvol.I
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    • pp.817-820
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    • 2005
  • Legibility of electronic paper was evaluated by using the method of letter-search task and subjective visual comfort scaling. The results show that legibility depends on the illumination level, and conventional paper has a higher visual comfort rating than electronic paper although they have the similar performance in the letter-search task.

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각속도 및 광센서를 이용한 헤드 마우스 (Head Mouse System Based on A Gyro and Opto Sensors)

  • 박민제;유재하;김수찬
    • 전자공학회논문지SC
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    • 제46권4호
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    • pp.70-76
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    • 2009
  • 본 연구에서는 자동차 사고나 뇌졸중 둥에 의해 경추 이하의 마비나 손, 발 등의 움직임이 자유롭지 못한 사람들의 컴퓨터 사용을 돕고자 손이나 발을 이용하지 않고 머리의 움직임과 눈의 깜박임만으로 컴퓨터 마우스 제어가 가능한 장치를 제안하였다. 마우스의 위치는 각속도 센서를 이용하여 머리의 움직임으로 추정하고, 눈 깜빡임에 의한 클릭과 더블 클릭은 광센서의 시야를 방해하지 않는 위치에 장착하여 커 클위치와 이벤트를 검출하였다. 제안한 마우스의 공간 이동 능력과 이벤트 검출을 비교한 실험에서는 좌우, 상하 이동은 기존 마우스와 비교하여 속도 면에서는 큰 차이는 없었으나, 정확도가 조금 떨어지는 이유로 인하여 정확한 위치로 이동시키는데 소요시간이 3$\sim$4배 정도 더 필요하였다. 데드 존을 갖는 비선형 상대 좌표계 방식을 이용하여 주기적으로 적분 에러를 제거해야 하는 문제를 해결하였고, 이동 거리와 속도를 함께 고려하여 직관적인 마우스 포인터 제어가 가능하도록 하였다. 주변광의 영향을 최소화하도록 광원 제어 회로를 설계하여 외부 광원의 변화에도 마우스 이벤트 검출이 영향을 받지 않았다.

Transient Response of Optically-Controlled Microwave Pulse through Open-Ended Microstrip Lines

  • Kim, Yong K.;Kim, Jin-Su;Park, Kyoung-Su
    • KIEE International Transactions on Electrophysics and Applications
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    • 제4C권5호
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    • pp.236-240
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    • 2004
  • In this paper we examine the reflection characteristics of dielectric microstrip lines with open-ended termination containing an optically induced plasma region, which are analyzed by the assumption that the plasma is distributed homogeneously in laser illumination. The characteristics impedances resulting from the presence of plasma are evaluated by the transmission line model. To estimate theoretically the characteristic response of identical systems in the time domain, the Fourier transformation method is evaluated. The reflection characteristics of time and frequency response in microwave systems have been calculated using an equivalent circuit model.

Defocus Study of a Novel Optical Antenna Illuminated by a Radial Radiation Fiber Laser

  • Jiang, Ping;Yang, Huajun;Xie, Kang;Yu, Mingyin;Mao, Shengqian
    • Journal of the Optical Society of Korea
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    • 제18권5호
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    • pp.485-494
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    • 2014
  • A novel antenna with ellipsoid-paraboloid surfaces configuration is designed for matching the incident radial radiation fiber laser distribution for maximum transmission efficiency. The on-axial and off-axial defocus effects on the optical antenna system, resulting in energy loss, are analyzed in detail. Knowledge of the effects of those defocuses on beam divergence, aberration and antenna transmission efficiency is of great importance to the long range communication systems.

광산란을 이용한 미소표면결함의 비접촉측정법에 관한 연구

  • 강영준
    • 한국정밀공학회:학술대회논문집
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    • 한국정밀공학회 1991년도 춘계학술대회 논문집
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    • pp.113-120
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    • 1991
  • 근년, 정밀가공기술의 진보에 따라 AI 합금이나 동등의 연질금속을 이용한 고출력 Laser용 Mirror, 전자계산용 자기Disc기반, Laser Printer용 PloygonMirror등의 Opto-electronics 부품이 경면(Mirror Surface)절삭가공에 의해서, 또 LSI용 Silicon Wafer의 가공은 연마가공에 의해서 nmRmax의 표면조도로 마무리 가공되고 있다. 본 연구에서는 고출력 Laser용 Mirror, 자기Disc기반, Silicon Wafer와 같은 경면(표면 조도 submicron이하)에 존재하는 미소표면결함을 정량적이며, 고속측정이 가능한 방법인 새로운 측정법을 제안하고, 이 시스템을 생산라인에서 가공과 동시에 검사하는 In-process측정이 가능한 특정 시스템의 개발을 최종목표로 하고 있다.

Study of transient response in dielectric microstrip line with opto-microwave pulses

  • Wang, Xue;Kim, Ji-Hyoung;Yun, Ji-Hun
    • 한국정보전자통신기술학회논문지
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    • 제2권2호
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    • pp.63-68
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    • 2009
  • We study on the transient response in non-uniform microstrip lines with optically controlled microwave pulses. The transient response of the microwave pulses in plasma layer has been evaluated by reflection function of dielectric microstrip lines. The variation of characteristic response in plasma layer with localized pulses has been evaluated analytically. Reflection the change of the reflection amplitude has been observed.

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Application of Phase-shifting Method using fourier Transform to Measurement of In-plane Displacement by Speckle Interferometry

  • Kim, Myung-Soo;Baek, Tae-Hyun;Morimoto, Yoshiharu;Fujigaki, Motoharu
    • 비파괴검사학회지
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    • 제25권3호
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    • pp.171-177
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    • 2005
  • Phase-shifting method using Fourier transform (PSM/FT) has been applied to measurement of in-plane displacement of a specimen. Thirty-two interference fringe patterns each of which has different phase of ${\pi}/16$ radian have been gathered from a specimen with in-plane displacement. Low-pass filtering by 2-D Fourier transform is used to suppress spatial noise of the fringe patterns. ${\alpha}-directional$ Fourier transform for PSM/FT is performed by use of the low-pass filtered 32 fringe patterns. Two kinds of specimens are used for experiment. One is a rectangular steel plate and the other one is a rectangular steel plate containing a circular hole at the center. In-plane displacement of each specimen is measured by PSM/FT, and calculated by finite element method (ANSYS) for comparison. The results are quite comparable, so that PSM/FT can be applied to measurement of in-plane displacement.

고속 세틀링과 고정밀 위치 제어를 위한 모드 변경 제어 기법 (A New Mode Switching Control for Fast Settling and High Precision Positioning)

  • 김정재;최영만;김기현;권대갑;홍동표
    • 반도체디스플레이기술학회지
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    • 제5권4호
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    • pp.1-4
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    • 2006
  • Recently, with rapid development of digital media like semiconductor and large flat panel display, the manufacturing equipment is required to have high precision over large travel range. Moreover it should have high product throughput. To achieve high product throughput, a controller should perform fast point-to-point motion and high precision positioning after settling in spite of external disturbances or residual vibrations. We proposed a new mode switching control algorithm with an application to dual stage for long range and high precision positioning. The proposed algorithm uses a proximate time-optimal servomechanism for the fast settling and a time-delay controller for the high precision positioning. Experimental results show that the proposed method enables smooth mode switching and improves the settling time and the precision accuracy after settling by over than 33% and 45%, respectively.

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Fabrication of Visible-Light Sensitized ZnTe/ZnSe (Core/Shell) Type-II Quantum Dots

  • Kim, Misung;Bang, Jiwon
    • 한국세라믹학회지
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    • 제55권5호
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    • pp.510-514
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    • 2018
  • Colloidal semiconductor quantum dots (QDs), because of the novel optical and electrical properties that stem from their three-dimensional confinement, have attracted great interest for their potential applications in such fields as bio-imaging, display, and opto-electronics. However, many semiconductors that can be exploited for QD applications contain toxic elements. Herein, we synthesized non-toxic ZnTe/ZnSe (core/shell) type-II QDs by pyrolysis method. Because of the unique type-II character of these QDs, their emission can range over an extended wavelength regime, showing photoluminescence (PL) from 450 nm to 580 nm. By optimizing the ZnSe shell growth condition, resulting ZnTe/ZnSe type-II QDs shows PL quantum yield up to ~ 25% with 35 nm PL bandwidth. Using a simple two step cation exchange reaction, we also fabricated ZnTe/ZnSe type-II QDs with absorption extended over the whole visible region. The visible-light sensitized heavy metal free ZnTe/ZnSe type-II QDs can be relevant for opto-electronic applications such as displays, light emitting diodes, and bio-imaging probes.