A Study on The Motion Charateristic of Ultra Precision Multi-Axis Stage for Optical Element Alignment (광소자 정렬용 극초정밀 다축 위치 조정장치의 운동특성에 관한 연구)
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- Proceedings of the Korean Society of Precision Engineering Conference
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- 2005.06a
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- pp.1219-1222
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- 2005