Kim, H.H.;Shin, J.H.;Baek, J.Y.;Shin, S.H.;Park, K.J.
Transactions on Electrical and Electronic Materials
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제2권1호
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pp.22-26
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2001
ITO (Indium-tin-oxide) thin films were deposited on glass substrates by a dc magnetron sputtering system using ITO powder target. The methods of heat treatment are important factor to obtain high quality ITO films with low electrical resistivity and good optical transmittance. Therefore, both methods of the substrate temperature and post-deposition annealing temperature have been compared on the film structural, electrical and optical properties. A preferred orientations shifts from (411) to (222) peak at annealing temperature of 200$\^{C}$. Minimum resistivity of ITO film is approximately 8.7$\times$10$\^$-4/ Ωcm at substrate temperature of 450$\^{C}$. Optical transmittances at post annealing temperature above 200$\^{C}$ are 90%. As a result, the minimum value of annealing temperature that is required for the recrystallization of as-deposited ITo thin films is 200$\^{C}$.
Transparent conductive indium zinc oxide thin films were prepared by spin-coating a sol-gel solution. Zinc acetate dihydrate [$Zn(CH_3COO)_2{\cdot}2H_2O$] and indium acetate [In$(CH_3COO)_3$] were used as starting precursors, and 2-methoxyethanol with 1-propanol as solvents. Upon annealing in a temperature range from 500 to $1000^{\circ}C$, the thin film crystallizes into polycrystalline $In_2O_3$(ZnO). The lowest electrical resistivity was obtained at an annealing temperature of $700^{\circ}C$ as $2{\Omega}{\cdot}cm$. Average optical transmittances were higher than 80% at all annealing temperatures. These experimental results confirm that the sol-gel spin-coating can be a good simplified practical method for forming transparent electrodes.
We have investigated the generation of pretilt angle for a nematic liquid crystal (NLC) alignment with rubbing alignment method on polyimide surfaces using plastic substrates. It was found that monodomain alignment of NLC is obtained with rubbing alignment method on polyimide surfaces using thin plastic substrates. The NLC pretilt angles on thin plastic substrates generated higher than that on glass substrate. Also, EO characteristics of the TN-LCD with a rubbed PI surface based on polymer substrate are almost the same as that of the TN-LCD with a rubbed PI surface based on glass. However, the transmittances of the TN-LCD with a rubbed PI surface based on polymer is less than that with a rubbed PI surface based on g1ass.
Using materials with high thermal conductivity is a matter of great concern in the field of thermal management. In this study, we present our experimental results on an important physical property of carbon nanotube (CNT) films, two-dimensional thermal conductivity obtained by using an optical method based on Raman spectroscopy. We prepared four kinds of CNT films to investigate the effect of CNT type on heat spreading performance of films. This first comparative study using the optical method shows that the arc-discharge single-walled carbon nanotubes yield the best heat spreading film. And we observed thermal conductivity values of CNT films with various transmittances and found that the Raman method works as long as the sample is a transparent film. This study provides useful information on characterization of thermal conduction in transparent CNT films and could be an important step toward high-performance carbon-based heat spreading films.
We have investigated electro-optical characteristics in three kinds of twisted nematic (TN) cells on the polyimide surface. The threshold voltage and the response time of thermal stressed TN cells were same that of no thermal stressed TN cells. There were little change of value in these TN cells. On the other hand, transmittance of no thermal stressed TN cells were better than that of thermal stressed TN cells. Transmittances of TN cells on the polyimide surface decreased by increasing thermal stress time. Moreover, the residual DC of the thermal stressed TN cells increased as increasing thermal stress temperature and time. Therefore, thermal stability of TN cells were decreased gradually by giving high thermal stress for a long time.
Indium tin oxide(ITO) thin film was deposited at room temperature on polycarbonate(PC) substrate by in-line sputter system. ITO sputtering process was carried out at a various pressure for the reduction of ion damage on PC substrate and the electrical and the optical properties of deposited ITO films were obtained and analyzed. From the experimental results, the sheet resistances of as-deposited ITO films varied with a different pressure and the optical transmittances at visible wavelength were maintained above 85%. The results are considered to be related to the pressure of oxygen atoms as a reaction gas.
Nitrogen and aluminum codoped ZnO(NAZO) thin films were grown on glass substrates with changing the nitrogen flow ratio by radio-frequency magnetron sputtering. The structural, optical, and electrical properties of the NAZO films were investigated. The surface morphologies and the structural properties of the thin films were analyzed by using the X-ray diffraction and scanning electron microscopy. The NAZO thin film, deposited at nitrogen flow ratio of 0%, showed a strongly c-axis preferred orientation and the lowest resistivity of $3.2{\times}10^{-3}{\Omega}cm$. The intensity of ZnO(002) diffraction peak was decreased gradually with increasing the nitrogen flow ratio. The optical properties of the films were measured by UV-VIS spectrophotometer and the optical transmittances for all the samples were found to be an average 90% in the visible range. Based on the transmittance value, the optical bandgap energy for the NAZO thin film deposited at nitrogen flow ratio of 0% was determined to be 3.46 eV. As for the electrical properties, the carrier concentration and the hall mobility were decreased, but the electrical resistivity was increased as the nitrogen flow ratio was increased.
Hot embossing 공정을 이용하여 광도파로 소자를 제조하기 위하여 polymethylmeth-acrylate (PMMA)와 polyvinylidenefluoride (PVDF)를 용융 혼합하여 물리적 성질과 광학적 특성을 조사하였다. PMMA/PVDF 혼합물의 유리전이온도 ($T_g$)는 PVDF의 함량이 증가할수록 감소하였다. 하지만 PVDF의 결정은 관찰되지 않았다. PMMA와 비교적 적은 양인 PVDF간의 분자수준의 상호작용에 기인하는 혼화성에 의하여 $T_g$는 감소하고 PVDF의 결정화를 방해하여 무정형성을 유지하는 것으로 판단되었다. PMMA/PVDF 혼합물의 전단점도는 PMMA와 PVDF 사이에서 나타나며 PMMA와 PVDF 사이의 상용성에 의해 PVDF의 함량이 증가할수록 감소하였다. PVDF의 함량이 증가할수록 불소분자의 첨가에 의한 분자의 분극률이 저하되어 혼합물의 굴절률과 흡수손실은 감소하고 투과율은 증가하였다.
The chalcogenide glass has superior optical properties in IR region transmittances. We have determined the composition of GeSbSe chalcogenide glass for the application of good IR lenses, resulting in the composite rate of $Ge_{19}Sb_{23}Se_{58}$. The optical, structural, thermal and physical properties were measured by Fourier transform infrared spectroscopy (FT-IR), X-ray diffraction (XRD), Differential scanning calorimeter (DSC), X-ray computed tomography (X-ray CT) respectively. The fabrication of the chalcogenide glass lens for infrared optics applications was proposed using a diamond turning machining technology which is known as the suitable ways for the production cost reduction and the accurate fabrication process control.
This paper presents fabrication method of nano-structured PMMA substrates as well as evaluations of their optical transmittance. For anti-reflective surface, surface coating method had been conventionally used. However, it requires high cost, complicated process and post-processing times. In this study, we suggested the fabrication method of anti-reflective surface by the hot embossing process. Using the nano patterned master fabricated by anodic aluminum oxidation process. Anodic aluminum oxide(AAO) is widely used as templates or a molds for various applications such as carbon nano tube (CNT), nano rod and nano dots. Anodic aluminum oxidation process provides highly ordered regular nano-structures on the large area, while conventional pattering methods such as E-beam and FIB can fabricate arbitrary nano-structures on small area. We fabricated a porous alumina hole array with various inter-pore distance and pore diameter. In order to replicate nano-structures using alumina nano hole array patterns, we have carried out hot-embossing process with PMMA substrates. Finally the nano-structured PMMA substrates were fabricated and their optical transmittances were measured in order to evaluate the charateristivs of anti-reflection. Anti-reflective structure can be applied to various displays and automobile components.
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[게시일 2004년 10월 1일]
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