Fabrication of Large Area Nano-dot Pattern for Nano-Plasmonic Sensors using Laser Interference Lithography (간섭 리소그라피를 이용한 대면적 나노플라즈모닉 분자 감지 센서용 dot 패턴 제작)
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- Proceedings of the Korean Society of Precision Engineering Conference
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- 2010.11a
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- pp.421-422
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- 2010