• 한국초전도ㆍ저온공학회논문지
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• 제9권4호
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• pp.16-18
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• 2007

We report the results of MOD-processed YBCO coated conductors on the IBAD-MgO template. The precursor solution was coated on the $CeO_2-buffered$ IBAD-MgO template using a slot-die coating method, calcined at a temperature of $550^{\circ}C$, and fired at high temperatures for 2.5 h in a reduced oxygen atmosphere. The $J_C$ value of YBCO coated conductors was found to be very sensitive to the microstructure, and thus higher $J_C$ value could be achieved when the in-plane texture was higher and the difference in $T_{C,zero}$. was negligible. Optimally processed YBCO coated conductor exhibited $J_C$ value of $0.75MA/cm^2$ at 77 K in self-field, which might be due to somewhat depressed $T_{C,zero}$ of 87.3 K caused by possible $Sm^{3+}$ substitution on the $Ba^{2+}$ site.

• 센서학회지
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• 제18권3호
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• pp.239-244
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• 2009

We fabricated nano-templates by low temperature BCP(block copolymer) process at 180 $^{\circ}C$, then we deposited 10 nm-thick $TiO_2$ layers with ALD(atomic layer deposition) at low temperature of 150 $^{\circ}C$. Through FE-SEM analysis, we confirmed the successful formation of the groove-type(width of crest : 30 nm, width of trough : 18 nm) and the cylinder-type(diameter : 10 nm, distance between hole : 25 nm) templates. Moreover, after $TiO_2$-ALD processing, we confirmed the deposition of the uniform nano layers of $TiO_2$ on the nano-templates. Through AFM analysis, the pitches of the crest-through(in groove-type) and hole-hole(in cylinder-type) were the same before and after $TiO_2$-ALD processing. In addition, we indirectly determined the existence of the uniform $TiO_2$ layers on nano-templates as the surface roughness decreased drastically. We successfully fabricated nano-template at low temperature and confirmed that the three-dimensional nano-structure for sensor application could be achieved by $TiO_2$-ALD processing at extremely low temperature of 150 $^{\circ}C$.

• 한국정보통신학회:학술대회논문집
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• 한국해양정보통신학회 2010년도 춘계학술대회
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• pp.814-817
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• 2010

다공성 알루미나 나노틀은 2단계의 양극산화 과정에 의해 세공의 직경이 균일하며, 배열이 규칙적이며 나노틀에 완벽하게 수직으로 배향되어 있다. 게다가 세공의 직경과 세공간의 간격은 양극산화시 전압과 전해질등을 바꾸어 주면 쉽게 조절할 수 있다. 금속을 세공내에 전기 화학적으로 탐지하면 각 세공 내에 규칙적인 직경의 금속 나노선이 생성된다.

• 산업식품공학
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• 제14권1호
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• pp.49-53
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• 2010

표면 플라즈몬 공명을 이용한 센서는 굴절계 기기의 일종으로서 높은 감도를 가질 뿐만 아니라 비표지 방식이라는 장점을 가지고 있다. 본 연구에서는 재래식 SPR 칩을 이용하여 시판 술 4종의 알코올 함량을 측정하였다. 또한, 재래식 SPR 칩의 감도를 개선하기 위하여 금 박막 위에 금으로 나노형상을 구축하여 나노형상 SPR 칩을 제조하여 모형 술에 대한 감도 개선 효과를 분석하였다. 재래식 SPR 칩을 이용하여 시판 술의 알코올 함량을 측정하기 위한 검량선을 개발하였을 때 시료를 전처리 하지 않고 그대로 측정하였을 때 가장 좋은 검량선을 얻을 수 있었다. 소주, 청주, 이과두주, 탁주 등 시판 술 4종에 대한 1차 회귀식의 검량식에서 결정계수는 각각 0.992, 0.933, 0.918, 그리고 0.984로 나타났다. 한편, 재래식 SPR 칩의 감도를 개선하기 위해 나노형상 SPR 칩을 제조하기 위하여 Langmuir-Blodgett(LB) 방법을 활용하였다. 본 연구에서는 수십 nm 두께의 금 박막을 바닥층으로 하여 그 위에 나노 크기의 실리카 입자를 단분자 층으로 덮어 형틀을 제조하고 다시 그 위에 금을 증착한 후 실리카 입자를 제거하는 방법으로 나노형상을 갖는 SPR 칩을 제조하였다. 나노형상 SPR 칩의 성능을 평가하였을 때 20% 알코올 함량을 가지는 모형 술에 대해서 바닥층의 두께가 50 nm, 나노형상에서 골의 깊이가 20 nm, 나노형상의 배열주기가 300 nm일 때 SPR의 감도가 가장 좋아서 95%의 감도 향상을 얻을 수 있었다. SPR의 감도는 칩과 관련된 인자, 시료의 종류 및 상태에 따라 다르게 나타날 수 있으므로 측정 목적에 알맞은 칩의 설계와 선택이 요구된다.

• 대한화장품학회지
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• 제30권3호
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• pp.321-328
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• 2004

주형합성법을 이용하여 메조기공(mesoporous pore)을 지닌 나노실리카 물질들과 나노카본볼의 대량생산법이 개발되었다. 암모니아, 트리메틸아민, 아세트알데히드 그리고 메틸메르캅탄과 같은 악취 물질들이 마크로기공 코어-메조기공 쉘(macro-porous core/mesoporous shell) 구조체인 나노카본볼에 흡착되는 현상이 상업용 탈취제인 활성탄과 비교 조사되었다. 나노카본볼에서의 악취의 흡착 및 분해는 활성탄에 비해 우수하게 관측되었고 촉매가 나노카본볼 내부에 첨착되면 더욱 악취 분해 특성이 증가되었다. 나노카본볼의 우수한 흡착 및 분해 특성을 이해하기 위해 물리화학적 특성인 균일한 기공, 넓은 표면적, 큰 기공 부피에 관한 기공 특성과 악취의 분해 현상이 연구되었다. 이러한 나노카본볼은 탈취제 분야에서 많은 응용성이 있을 것으로 전망된다.

• 한국정밀공학회:학술대회논문집
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• 한국정밀공학회 2005년도 춘계학술대회 논문집
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• pp.633-636
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• 2005

Imprint lithography is a promising method for high-resolution and high-throughput lithography using low-cost equipment. As with other nanoimprint methods, ultraviolet-nanoimprint lithography (UV-NIL) resolution appears to be limited only by template resolution, and offers a significant cost of ownership reduction when compared to other next generation lithography (NGL) methods such as EUVL and 157 nm lithography. The purpose of this paper is to suggest optimum values of control parameters of Imprio 100 manufactured by Molecular Imprint, Inc., which is the first commercially available UV-NIL tool, for sound nanoimprint. UV-NIL experiments were performed on Imprio 100 to find dispensing recipe for avoiding air entrapment. Dispensing recipe related to residual layer thickness and uniformity was optimized and 40 nm thick residual layer was achieved.

• 한국기계가공학회지
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• 제14권4호
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• pp.8-13
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• 2015

In this study, we fabricated and characterized a nanostructured surface based on a plastic injection molding with a local mold heating (LMH) system. A metal mold core with a closed packed nano convex array (CVA) was achieved by integrated engineering procedures: (1) master template fabrication by anodic aluminum oxidation (AAO), (2) nickel electroforming (NE) process, and (3) post-processing by precision machining. The nickel mold core was utilized to replicate a surface with a closed packed nano concave-array (CCA) based on injection molding using cyclic olefin copolymer (COC) as a plastic material. In particular, an LMH system was introduced to enhance transcription quality of the nano structures by delaying solidification of molten polymer near the surface of the mold core.

• 대한전기학회:학술대회논문집
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• 대한전기학회 2005년도 제36회 하계학술대회 논문집 C
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• pp.1971-1973
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• 2005

We fabricated an alumina membrane with nano-sized pore array by anodic oxidation using the thin film aluminum deposited on silicon wafer. It is important that the sample prepared by metal deposition method has a flat aluminum surface and a good adhesion between the silicon wafer and the thin film aluminum. The oxidation time was controlled by observation of current variation. The nano-sized pores with diameter of $60{\sim}120nm$ was obtained by $40{\sim}80$ voltage. The pore widening process was employed for obtaining the flat surface because the pores of the alumina membrane prepared by the fixed voltage method shows the structure of rough surface. Finally, the sample was immersed to the phosphoric acid with 0.1M concentration to etching the barrier layer. The sample will be applied to electronic sensors, field emission display, and template for nano- structure.

• 대한전기학회:학술대회논문집
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• 대한전기학회 2007년도 제38회 하계학술대회
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• pp.220-221
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• 2007

금속 촉매 성장 (Metal-induced growth) 를 이용하여, 마이크로 사이즈의 결정질 (Microcrystalline) 박막 실리콘 (Silicon, Si)을 성장하였다. 금속 촉매로서는 코발트, 니켈, 코발트/니켈 복합물질(Co, Ni, or Co/Ni) 이 사용되었으며, 실리콘과 반응하여 실리사이드 (Silicide) 층을 형성한다. 이러한 실리사이드 층은 실리콘과 격자 거리가 유사하여 (Little lattice mismatch), 그 위에 실리콘 박막을 성장하기 위한 모체 (Template) 가 된다. XRD (X-ray diffraction) 분석을 통하여, 실리사이드 ($CoSi_2$ or $NiSi_2$) 의 형성과 성장된 박막 실리콘의 결정성을 연구하였다. 이러한 박막을 이용하여, 쇼트키 태양전지 (Schottky Solar cell) 에 응용하였다. 코발트/니켈 복합물질을 이용하였을 경우에 10.6mA/$cm^2$ 단락전류를 얻었으며, 이는 코발트만을 이용한 경우보다 10 배만큼 증가하였다. 이러한 실리사이드를 매개로한 박막 실리콘의 성장은 공정상에서의 열부담 (Thermal budget) 을 줄일 수 있으며, 대면적 응용에 큰 가능성을 가지고 있다.

• Journal of Ceramic Processing Research
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• 제13권spc2호
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• pp.295-299
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• 2012

We investigated the crystal and the optical properties of GaN-based blue light emitting diodes (LEDs) which were simultaneously grown on c-plane (0001) and semipolar (11-22) GaN templates by using metal-organic chemical vapor deposition (MOCVD). The X-ray rocking curves (XRCs) full width at half maximums (FWHMs) of c-plane (0001) and semipolar (11-22) GaN templates were 275 and 889 arcsec, respectively. In addition, high-resolution X-ray ω-2θ scan showed that satellite peaks of semipolar (11-22) InGaN quantum-wells (QWs) was weaker and broader than that of c-plane (0001) InGaN QWs, indicating that the interface quality of c-plane (0001) QWs was superior to that of semipolar (11-22) QWs. Photoluminescence (PL) and electroluminescence (EL) results showed that the emission intensity and the FWHMs of polar c-plane (0001) LED were much higher and narrower than those of semipolar (11-22) LED, respectively. From these results, we believed that relative poor crystal quality of semipolar (11-22) GaN template might give rise to the poor interfacial quality of QWs, resulting in lower output power than conventional c-plane (0001) GaN-based LEDs.