Technology Trend on Innovation of Control System by IT-fusion and Implementation of Nano-level Accuracy for Nano Control Systems (제어 시스템의 IT 융합을 통한 성능 향상과 나노 정밀도 구현 기술 동향)
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- Proceedings of the Korean Society of Precision Engineering Conference
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- 2005.06a
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- pp.240-245
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- 2005