In this article, plasma monitoring tools and mulivariate analysis techniques were reviewed. Optical emission spectroscopy was reviewed for a chemical composition analysis tool and RF V-I probe for a physical analysis tool for plasma monitoring. Multivariate analysis techniques are discussed to the sensitivity improvement. Principal component analysis (PCA) is one of the widely adopted multivariate analysis techniques and its application to end-point detection of plasma etching process is discussed.
To monitor all elements simultaneously of variance-covariance matrix Σ of several correlated quality characteristics under multivariate normal process Np($\underline{\mu}$, Σ), multivariate exponentially weighted moving average (EWMA) chart and cumulative sum (CUSUM) chart are considered and compared. Numerical performances of the considered variable sampling interval (VSI) charts are evaluated using average run length (ARL), average time to signal (ATS), average number of switches (ANSW) to signal, and the probability of switch Pr(switch) between two sampling interval d1 and d2 where d1 < d2. For small or moderate changes of Σ, the performances of multivariate EWMA chart is approximately equivalent to that of multivariate CUSUM chart.
화학공정 설계에서 공정의 위험성 판단은 중요한 부분이다. 실제 화학공정에 사용되는 가연성 물질의 화재 및 폭발 위험성을 판단하는 인화점에 대한 예측은 그 방법 중의 하나이다. 본 연구에서는 2성분계 가연성 물질의 인화점에 대한 실험 자료를 이용하여 다변량 통계 분석법(partial least squares(PLS), quadratic partial least squares(QPLS))을 이용하여 2성분계 혼합물의 인화점을 예측하였고, 기존의 Raoult의 법칙과 Van Laar 식에 의한 예측값과 비교해 보았다.
Vibration-based fault detection and condition monitoring of rotating machinery, using statistical process control (SPC) combined with statistical pattern recognition methodology, has been widely investigated by many researchers. In particular, the discrete wavelet transform (DWT) is considered as a powerful tool for feature extraction in detecting fault on rotating machinery. Although DWT significantly reduces the dimensionality of the data, the number of retained wavelet features can still be significantly large. Then, the use of standard multivariate SPC techniques is not advised, because the sample covariance matrix is likely to be singular, so that the common multivariate statistics cannot be calculated. Even though many feature-based SPC methods have been introduced to tackle this deficiency, most methods require a parametric distributional assumption that restricts their feasibility to specific problems of process control, and thus limit their application. This study proposes a nonparametric multivariate control chart method, based on multiscale wavelet scalogram (MWS) features, that overcomes the limitation posed by the parametric assumption in existing SPC methods. The presented approach takes advantage of multi-resolution analysis using DWT, and obtains MWS features with significantly low dimensionality. We calculate Hotelling's $T^2$-type monitoring statistic using MWS, which has enough damage-discrimination ability. A bootstrap approach is used to determine the upper control limit of the monitoring statistic, without any distributional assumption. Numerical simulations demonstrate the performance of the proposed control charting method, under various damage-level scenarios for a bearing system.
고품질의 제품과 조업 안전을 확보하기 위해서는 적절한 실시간 공정 감시 및 진단 시스템이 설치되어있는 것이 무엇보다 중요하다. 공정 감시 시스템과 결합된 신뢰도 높은 진단 시스템은 공정에서 발생한 특별한 사건이나 사고의 근본적인 원인과 공정 변수를 알려준다. 본 연구에서는 다변량 통계 분석과 분류기법에 기반한 공정진단 체계를 제시한다. 이 진단시스템은 비선형 데이터 표현과 필터링을 통한 지능적 데이터 표현으로 구성되어 있다. 진단 성능을 평가하기 위해 사례연구를 수행하였으며 다른 방법론과의 결과를 비교하기 위하여 진단 결과와 미래값 추정 방법을 평가하였다. 그 결과 본 연구에서 비교된 진단 방법론들에 비해 신뢰도 높은 진단 결과를 얻을 수 있었다.
호텔링 $T^2$ 통계량에 근거한 다변량 관리도는 공정의 이상상태를 식별하는 통계적 공정관리의 강력한 도구 중 하나이다. 다수의 품질 특성치를 동시에 모니터링하는데 사용된다. $T^2$ 관리도를 통해 이상신호가 탐지된다는 것은 평균 벡터의 변화가 있다는 것을 의미하게 된다. 그러나, 이러한 다변량 통계량의 신호는 이상신호에 대한 원인을 식별하기 어렵게 한다. 이 논문에서는 $T^2$ 통계량을 서로 독립인 항으로 분해한 Mason, Young, Tracy (MYT) 분해에 기반한 원인 식별 방법들을 살펴본다. 또한, R 소프트웨어를 사용하여 사례분석을 하고, 모의실험을 통해 각 절차의 성능을 비교 평가해보고자 한다.
Communications for Statistical Applications and Methods
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제27권1호
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pp.15-35
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2020
In research on behavioral studies, significant attention has been paid to the stage-sequential process for multiple latent class variables. We now explore the stage-sequential process of multiple latent class variables using the multivariate latent class profile analysis (MLCPA). A latent profile variable, representing the stage-sequential process in MLCPA, is formed by a set of repeatedly measured categorical response variables. This paper proposes the extended MLCPA in order to explain an association between the latent profile variable and the latent group variable as a form of a two-dimensional contingency table. We applied the extended MLCPA to the National Longitudinal Survey on Youth 1997 (NLSY97) data to investigate the association between of developmental progression of depression and substance use behaviors among adolescents who experienced Authoritarian parental styles in their youth.
Sensor networks are the results of convergence of very important technologies such as wireless communication and micro electromechanical systems. In recent years, sensor networks found a wide applicability in various fields such as health, environment and habitat monitoring, military, etc. A very important step for these many applications is pattern classification and recognition of data collected by sensors installed or deployed in different ways. But, pattern classification and recognition are sometimes difficult to perform. Systematic approach to pattern classification based on modern teaming techniques like Multivariate Gaussian mixture models, can greatly simplify the process of developing and implementing real-time classification models. This paper proposes a new recognition system which is hierarchically composed of many sensor nodes haying the capability of simple processing and wireless communication. The proposed system is able to perform classification of sensed data using the Multivariate Gaussian function. In order to verify the usefulness of the proposed system, it was applied to hand gesture recognition system.
Principal Component Analysis (PCA) reduces the dimensionality of the process by creating a new set of variables, Principal components (PCs), which attempt to reflect the true underlying process dimension. However, for highly nonlinear processes, this form of monitoring may not be efficient since the process dimensionality can't be represented by a small number of PCs. Examples include the process of semiconductors, pharmaceuticals and chemicals. Nonlinear correlated process variables can be reduced to a set of nonlinear principal components, through the application of Kernel Principal Component Analysis (KPCA). Support Vector Data Description (SVDD) which has roots in a supervised learning theory is a training algorithm based on structural risk minimization. Its control limit does not depend on the distribution, but adapts to the real data. So, in this paper proposes a non-linear process monitoring technique based on supervised learning methods and KPCA. Through simulated examples, it has been shown that the proposed monitoring chart is more effective than $T^2$ chart for nonlinear processes.
한국품질경영학회 1998년도 The 12th Asia Quality Management Symposium* Total Quality Management for Restoring Competitiveness
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pp.295-300
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1998
Recently graphical modelling is being studied as a useful process analysis tool for exploratory causal analysis. Graphical modelling is a presentation method that uses graphs to describe statistical models of the structures of multivariate data. This paper describes an application of this graphical modeling with two cases from the automotive parts industry. One case is the unbalance problem of the pulley, an automotive generator part. There is multivariate data of the product from each of the processes which are connected in the series. By means of exploratory causal analysis between the variables using graphical modeling, the key processes which causes the variation of the final characteristics and their mechanism of the causal relationship have become clear. Another case is, also, the unbalanced problem of automotive starter parts which consists of many parts and is manufactured by complex machinery and assembling process. By means of the similar technique, the key processes are obtained easily and the results are reasonable from technical knowledge.
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[게시일 2004년 10월 1일]
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