Dispersive White-light Interferometry for in-situ Volumetric Thickness Profile of Thin-film Layers and a refractive index (분산형 백색광 간섭계를 이용한 미세 박막 구조물의 삼차원 두께 형상 및 굴절률의 실시간 측정)
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- Proceedings of the Korean Society of Precision Engineering Conference
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- 2006.05a
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- pp.23-24
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- 2006