• 한국전기전자재료학회:학술대회논문집
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• 한국전기전자재료학회 2001년도 춘계학술대회 논문집 반도체재료
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• pp.34-37
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• 2001

As the integrated circuit device shrinks to smaller dimensions, chemical mechanical polishing (CMP) process was required for the global planarization of inter-metal dielectric (IMD) layer with free-defect. However, as the inter-metal dielectrics (IMD) layer gets thinner, micro-scratches are becoming as major defects. Micro-scratches are generated by agglomerated slurry, solidified and attached slurry in pipe line of slurry supply system. To prevent agglomerated slurry particle from inflow, we installed 0.5${\mu}m$ POU (point of use) filter, which is depth-type filter and has 80% filtering efficiency for the $1.0{\mu}m$ size particle. In this paper, we studied the relationship between defect generation and pad count to understand the exact efficiency of the slurry filtration, and to find out the appropriate pad usage. Our preliminary results showed that it is impossible to prevent defect-causing particles perfectly through the depth-type filter. Thus, we suggest that it is necessary to optimize the flow rate of slurry to overcome depth type filters weak-point, and to install the high spray of de-ionized Water (DIW) with high pressure.

• 한국결정성장학회지
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• 제17권1호
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• pp.11-17
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• 2007

The spherical NiZn ferrite particles were prepared by ultrasonic spray pyrolysis with mixed solution of aqueous metal nitrates. The NiZn ferrite particle was observed with nano-sized primary particles of about 10 nm or less before annealing which represented as paramagnetic behavior measured at 77 K and room temperature. The typical abnormal growth of primary particles like polyhedral primary particles was observed by annealing at 1273 K with Zn-concentration dependency. The XRD patterns showed good crystallinity of NiZn ferrite powder after annealing. In annealing process, the intra-particle sintering phenomenon was observed and the spherical particle morphology was collapsed at 1673 K. The saturation magnetization of NiZn ferrite powder for each annealing temperature was decreased with measuring temperature of $77{\sim}$300K.

• Journal of Welding and Joining
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• 제20권3호
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• pp.54-59
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• 2002

Overlays is a treatment of the surface and near-surface regions of a material to allow the surface to perform functions that are distinct from those frictions demanded far the bulk of the material. Welding, thermal spray, quenching, carburizing and nitration have been used as the surface treatment. Especially, weld overlay is a relatively thick layer of filler metal applied to a carbon or low-alloy steel base metal for the purpose of providing a wear resistant surface. In this study, weld overlay was performed by MAG welding on the base metal(SS400) with filler metal which contain composite powders($Cr_3C_2+Mn+Mo+NbC$) and solid wire(JIS-YGW11). Characteristics of hardness and wear resistance on overlays were analyzed by EDS, EPMA, XRD and microstructures. Carbide formations were $M(Cr, Fe)_7C_3$ and NbC phases. And carbide volume fraction, hardness and specific wear resistance of overlays were increased with increasing powder feed rate and decreasing wire fred rate. Hardness and wear resistance were almost proportioned to carbide volume fraction of overlay.

• 한국산학기술학회논문지
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• 제6권2호
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• pp.110-115
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• 2005

표면 경화가 요구되는 소재에 코발트계 합금 분말을 용사 소모재로 하고 플라즈마 트랜스퍼드 아크(PTA) 용사 공정을 이용하여 표면 개질부를 제조하였다. 표면 개질부는 다른 용사 변수는 일정하게 유지한 상태에서 용사 전류만을 변화하여 제조하였다. 용사 전류를 80에서 140 amp까지 20 amp씩 증가하면서 개질층을 제조하였다. 두께가 일정한 모재에 전류를 변화하여 표면 개질층을 제조하는 경우 용사후 모재에서 발생하는 냉각 효과가 다르게 되고 이는 개질층의 폭과 두께 등의 기하학적 형상과 미세 조직, 그리고 미세경도 등의 특성에 영향을 미치는 것으로 나타났다. 용사 전류를 120amp로 사용한 경우 미세조직이 조밀하고 미세경도 값이 가장 높은 값을 나타내는 개질층을 얻을 수 있었다. 전류를 증가함에 따라 개질층의 폭은 증가하지만 높이는 큰 변화가 없는 것으로 나타났다.

• 한국산학기술학회논문지
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• 제17권4호
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• pp.100-105
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• 2016

3D 프린터의 증가에 따라 대량 생산이 아닌 소량 제품의 빠른 개발 시간을 고려하여 3D 스캐너의 활용도 점차 증가하고 있다. 소량 생산 개발 트렌드뿐만 아니라 최근 자동차 및 전자부품의 제조업에 있어서도 정밀 부품의 개발 및 검사, 측정 등의 품질 문제가 중요한 이슈로 떠오르고 있다. 최근 3D 스캐너 장비 효율성 및 인식기술은 지속적으로 향상되었지만, 이에 반해, 이를 준비하는 스프레이 작업은 시간이 많이 걸리고 환경문제가 유발되기 때문에 제조업 제품 개발자들은 자동스프레이 도포 시스템 개발에 대해 지속적으로 요구해 왔다. 본 연구를 통해서 3D 스캔 준비 작업으로 필요한 스프레이 자동 도포 장비를 개발하였으며, 스프레이 도포 시 균일하게 미세 분말이 도포 될 수 있도록 파라미터 세팅에 대해 실험적으로 연구하였다. 결과적으로 빠르고 쉬운 자동 스프레이 도포 장비가 개발 되었고, 이를 활용해서 3D 측정을 위한 준비 시간이 기존 대비 1/10수준으로 단축되었다. 또한 다양한 조건에 대한 비교를 통해 최적의 도포 조건을 실험적으로 제시하였다.

• 한국전기전자재료학회논문지
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• 제14권9호
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• pp.707-713
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• 2001

As the integrated circuit device shrinks to smaller dimensions, chemical mechanical polishing (CMP) process was requirdfo the global planarization of inter-metal dielectric (IMD) layer with free-defect. However, as the IMD layer gest thinner, micro-scratches are becoming as major defects. However, as the IMD layer gets thinner, micro-scratches are becoming as major defects. Micro-scratches are generated by agglomerated slurry, solidified and attached slurry in pipe line of slurry supply system. To prevent agglomerated slurry particle from inflow, we installed 0.5${\mu}{\textrm}{m}$ point of use (POU) filter, which is depth-type filter and has 80% filtering efficiency for the 1.0${\mu}{\textrm}{m}$ size particle. In this paper, we studied the relationship between defect generation and polished wafer counts to understand the exact efficiency fo the slurry filteration, and to find out the appropriate pad usage. Our experimental results showed that it sis impossible to prevent defect-causing particles perfectly through the depth-type filter. Thus, we suggest that it is necessary to optimize the slurry flow rate, and to install the high spray bar of de-ionized water (DIW) with high pressure, to overcome the weak-point of depth type filter.

• 동력기계공학회지
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• 제8권4호
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• pp.38-43
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• 2004

Thermal spraying onto the metal substrate has been widely used as a technique of the surface treatment in the various industrial field. A wide range of thermal spray technologies exist and all rely on the fundamental process of fusing a metal feedstock, atomizing it and transporting it to the surface of a substrate. Specially, these methods have been taken into account as the protection method against the corrosion. In this study, the polarization characteristics were carried out on the thermal sprayed coating layer immersed in various pH of diluted aqueous solutions at $25^{\circ}C$. Aluminum, Zinc, Ni-base alloy, alumina and polyethylene powder were used with sprayed coating materials. From the polarization curves, the electrochemical corrosion potential($E_{corr}$) and the corrosion current density($I_{corr}$) were investigated.

• Journal of Welding and Joining
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• 제11권1호
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• pp.73-79
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• 1993

The phenomenon of metal transfer has been investigated for different transfer modes using a digital high speed motion analyzer and an arc shadow-graphing system based on a laser source and related optical system. It was observed that the pinch instability phenomenon did not occur for the globular transfer mode, since the liquid globule was then spherical rateher than a cylindrical liquid bar. On increasing the ratio of carbon dioxide to argon, the transition current from globular to spray transfer generally increased, but it is interesting that the transition was observed to occur at the lowest current in a 5% CO$_{2}$-95% argon gas mixture. For pure carbon dioxide and helium shielding gases, the drop frequency increased slowly with increasing current. At high currents or an argon based shielding gas, the length of liquid bar decreased as the carbon dioxide content increased. The acceleration of a droplet within the arc was determined using the gas drag force theory and was found to be greater than the experimental results.

• 한국구조물진단유지관리공학회 논문집
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• 제23권4호
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• pp.61-68
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• 2019

산업화, 도시화로 인해 수자원의 오염이 악화 되면서 기존에 염소를 이용한 정수처리 방법으로는 깨끗한 물을 공급하는데 어려운 실정이다. 이에 오존을 이용한 고도정수 처리 시설의 도입이 증가하고 있다. 그러나 기존의 방수 방식 공법으로 사용되는 에폭시계 방수 방식제 및 스테인리스는 오존의 강력한 산화력으로 인해 열화되어 박리 등 문제 발생하였으며, 콘크리트까지 영향을 미쳐 내구성 저하의 원인이 된다. 이에 따라 본 연구에서는 내오존성 및 내화학성이 뛰어난 금속 패널을 기존의 시공법 보다 손쉬운 방법으로 시공하기 위한 방법으로 금속 용사 공법을 이용하여 수처리 시설 콘크리트 구조물의 열화를 원천적으로 방지하기 위한 마감공법 개발 연구의 일원으로 용사금속 종류 에 따른 내오존성 평가를 실시하였으며, 실제 하수처리장 환경에서의 전기화학적 안정성능 평가를 실시하였다. 실험결과 용사금속 Ti이 용사 후에도 내오존성이 뛰어난 것으로 나타났으며, 하수처리장 환경에서의 전기화학적 안정성능 평가 결과 용사금속 Ti가 $403.83k{\cdot}{\Omega}{\cdot}cm^2$의 가장 높은 분극저항을 나타남으로써 높은 수준의 내구성을 확보하는 것을 확인할 수 있었다.

• 자원리싸이클링
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• 제9권4호
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• pp.16-27
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• 2000

본 연구에서는 기능성 자성재료의 원료분말을 분무배소법에 의해 제조하기 위하여 원료 용액을 효율적으로 미립화시킨 후 반응로 내로 분무시킬 수 있으며, 반응로 내부는 균일한 열분포를 이루어 열분해반응이 완전하게 진행 될 뿐만 아니라, 생성된 분말을 cyclone 및 bag filter 등의 포짐장치에서 효율적으로 포집할 수 있으며, 유해 생성가스를 청정시킬 수 있는 장치까지 포함하는 개선된 분무배소로 system을 제작하였다. 또한 본 연구에서는 불순물들을 다량 함유하고 있는 mill scale 및 ferro-Mirr을 산용액에 용해 시킨 복합 산용액의 pH를 4정도로 조절하여 용액 내에 존재하는 $SiO_2$, P 및 Al 등의 불순물들을 약 20ppm 이하로 감소시킴으로써 mill scale 및 ferro-Mn의 분무열분해를 위한 원료로의 재활용 가능성을 확인하였다. 원료용액인 정제된 복합 산용액을 nozzle을 통하여 분무배소로 내부로분무시킴으로써 Fe-Mn 계의 복합 산화물 분말을 제조하였으며, 반응온도, 원료용액 및 공기의 유입속도, nozzle tip 크기 및 원료용액의 농도 등의 주요 반응조건의 변화에 따른 생성분말의 특성 변화를 파악하였다. 생성된 분말들의 형상은 대부분의 반응조건에서 구형을 나타내고 있었으며, 조성 및 입도분포가 매우 균일하게 혼합된 형태로 나타남으로써 본 연구에 의해 제작된 분무배소로 system의 우수성을 확인할 수 있었다. 한편 본 반응조건 하에서 생성된 분말들의 결정입도가 대부분 약 100nm 이하으 초미립상태이면서 형상 및 입도분포가 매우 균일하다는 사실은 본 연구에서 제작한 분무배소, system을 이용함에 의해 Fe, Mn, Ni, Cu 및 회토류계 염화물로부터 초미립의 산화를 분말을 제조할 수 있을 뿐만 아니라, 반응분위기의 변화에 따라 초미립 순금속분말의 제조도 충분히 가능할 것으로 사료된다.