핵생성 계면 제어된 LPCVD 비정질 실리콘 박막의 고상결정화를 이용한 다결정 실리콘 박막 트랜지스터 제조 (Fabrication and Characterization of Poly-Si TFT′s using Solid Phase Crystallization of LPCVD Amorphous Si Fims byNucleation-Interface-Control)

• 황의훈;정세진;노재상
• • 한국재료학회:학술대회논문집
  • /
  • 한국재료학회 1996년도 재료학회 추계학술발표회
  • /
  • pp.113-113
  • /
  • 1996
• PDF

PECVD 기법을 이용한 나노 결정 Si 박막의 제조 및 특성 평가 (Characterization of Nanocrystalline Si Thin Film Prepared by PECVD Methods)

• 심재현;박명범;한규호;조남희
• • 한국재료학회:학술대회논문집
  • /
  • 한국재료학회 2001년도 추계 학술발표강연 및 논문개요집
  • /
  • pp.184-184
  • /
  • 2001
• PDF

MOD법과 공침법에 의한 ITO 분말의 제조 및 특성 (Preparation and Characterization of ITO powder by Metal Organic Deposition and Coprecipitation Method)

• 양범석;최용각;원창환;이조현
• • 한국재료학회:학술대회논문집
  • /
  • 한국재료학회 2001년도 추계 학술발표강연 및 논문개요집
  • /
  • pp.135-135
  • /
  • 2001
• PDF

MOD법에 의해 제조된 투명전도성 ITO 박막의 특성 (Characterization of Transparent and Conducting ITO Films Prepared by Metal Organic Decomposition)

• 양범석;윤기석;원창환;이종현
• • 한국재료학회:학술대회논문집
  • /
  • 한국재료학회 2001년도 추계 학술발표강연 및 논문개요집
  • /
  • pp.136-136
  • /
  • 2001
• PDF

Helicon Wave 플라즈마 보조 증발법을 이용한 ZnO 박막의 성장과 특성 평가 (Growth and Characterization of ZnO Film by the Helicon Wave Plasma Assisted Evaporation Process)

• 박태희;김경보;김기성;김선효
• • 한국재료학회:학술대회논문집
  • /
  • 한국재료학회 2001년도 추계 학술발표강연 및 논문개요집
  • /
  • pp.154-154
  • /
  • 2001
• PDF

광리소그래피 위상변위 마스크를 위한 Si-O-N-F 박막의 모사연구 및 특성분석 (Simulation and characterization of Si-O-n-F films for optical lithography)

• 최은철;김성관;노광수;김형도;손정민
• • 한국재료학회:학술대회논문집
  • /
  • 한국재료학회 2001년도 추계 학술발표강연 및 논문개요집
  • /
  • pp.162-162
  • /
  • 2001
• PDF

$CoSi_2$를 확산원으로 형성한 매우 얇은 접합의 전기적 특성 (Electrical Characterization of Ultra-Shallow Junctions Formed by Using $CoSi_2$ as Diffusion Source)

• 구본철;정연실;심현상;배규식
• • 한국재료학회:학술대회논문집
  • /
  • 한국재료학회 1997년도 한국재료학회 추계학술발표회
  • /
  • pp.154-154
  • /
  • 1997
• PDF

촉매기능 세라믹섬유필터의 제조와 물성에 관한 연구 (Preparation and Characterization of Catalytic Ceramic Fiber Filters)

• 신현익;박민진;최영진;정찬일;홍민선;이재춘
• • 한국재료학회:학술대회논문집
  • /
  • 한국재료학회 1999년도 춘계학술발표강연 및 눈문개요집
  • /
  • pp.78-78
  • /
  • 1999
• PDF

재생된 산화막 CMP용 슬러리의 특성에 대한 연구 (The Characterization of Re-used Oxide CMP Slurry)

• 김명식;김형준;엄대홍;박진구;마석중;류홍기
• • 한국재료학회:학술대회논문집
  • /
  • 한국재료학회 2000년도 추계학술발표강연 및 논문개요집
  • /
  • pp.52-52
  • /
  • 2000
• PDF

Nano scale fabrication and characterization of graphite planar-type structures

• Venugopal, Gunasekaran;Kim, Sang-Jae
• • 한국진공학회:학술대회논문집
  • /
  • 한국진공학회 2008년도 제35회 하계학술대회 초록집
  • /
  • pp.53-53
  • /
  • 2008
• PDF

---