Proceedings of the Materials Research Society of Korea Conference (한국재료학회:학술대회논문집)

Materials Research Society of Korea (한국재료학회)
권호 표지

Electrical Characterization of Ultra-Shallow Junctions Formed by Using $CoSi_2$ as Diffusion Source

$CoSi_2$를 확산원으로 형성한 매우 얇은 접합의 전기적 특성

  • 구본철 (수원대학교 전자재료공학과) ;
  • 정연실 (수원대학교 전자재료공학과) ;
  • 심현상 (수원대학교 전자재료공학과) ;
  • 배규식 (수원대학교 전자재료공학과)
  • Published : 1997.10.01
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Abstract

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