Proceedings of the Materials Research Society of Korea Conference (한국재료학회:학술대회논문집)

Materials Research Society of Korea (한국재료학회)
권호 표지

Fabrication and Characterization of Poly-Si TFT′s using Solid Phase Crystallization of LPCVD Amorphous Si Fims byNucleation-Interface-Control

핵생성 계면 제어된 LPCVD 비정질 실리콘 박막의 고상결정화를 이용한 다결정 실리콘 박막 트랜지스터 제조

  • 황의훈 (홍익대학교 금속·재료공학과) ;
  • 정세진 (홍익대학교 금속·재료공학과) ;
  • 노재상 (홍익대학교 금속·재료공학과)
  • Published : 1996.11.01
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