CMP process requirements become tighter especially in sub-100nm technology. Especially, high planarity and low defectivity appear as leading issues in CMP technology. Also, the introduction of new materials and advanced lithography technique increases CMP applications. Here are listed some major issues and challenges in CMP technology, which can be categorized following four items. These have practical significance and should be considered more concretely for future generation.
Contamination of environment induces the shortage of drinkables. In this trend, the leakage of water that occurs by breakage or erosion of rubber valve seats is serious problem. Rubber is apt to cause breakage between two materials when they contact with each other. The possible way to avoid leakage of water by damage and breakdown of rubber is to replace that with metal. Because of this reason, nowadays, rubber is being substituted with metal as valve seat materials for water works. In tribology, a severe from of wear is characterized by local, macroscopic material transfer, removal, or formation of surface protrusions when two solid surfaces experience relative sliding under load. One of the major problems in sliding of metals is galling due to bad surface quality. Experimentally, there are various elements which influence on incipient galling, such as hardness, surface roughness, temperature, load, velocity and external environments. This paper is aimed at verifying the galling tendencies according to hardness, surface roughness, load and velocity and showing how much effect the factors have on the galling tendencies.
A concrete cask is an option for spent nuclear fuel interim storage. A concrete cask usually consists of a metallic canister which confines the spent nuclear fuel assemblies and a concrete overpack. When the overpack undergoes a missile impact, which might be caused by a tornado or an aircraft crash, it should sustain an acceptable level of structural integrity so that its radiation shielding capability and the retrievability of the canister are maintained. A missile impact against a concrete overpack produces two damage modes, local damage and global damage. In conventional approaches [1], those two damage modes are decoupled and evaluated separately. The local damage of concrete is usually evaluated by empirical formulas, while the global damage is evaluated by finite element analysis. However, this decoupled approach may lead to a very conservative estimation of both damages. In this research, finite element analysis with material failure models and element erosion is applied to the evaluation of local and global damage of concrete overpacks under high speed missile impacts. Two types of concrete overpacks with different configurations are considered. The numerical simulation results are compared with test results, and it is shown that the finite element analysis predicts both local and global damage qualitatively well, but the quantitative accuracy of the results are highly dependent on the fine-tuning of material and failure parameters.
Journal of Advanced Marine Engineering and Technology
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제38권7호
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pp.883-889
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2014
고속유체 환경에서 압력차에 의한 국부적 비등으로 캐비테이션 침식 손상이 발생한다. 캐비테이션은 유체의 압력, 속도, 온도, pH, 그리고 매질 등의 다양한 환경에 영향을 받는다. 특히 해수 용액에서 캐비테이션 환경에 노출될 경우 염소이온에 의한 부식이 캐비티에 의한 침식 손상을 가속화 시킨다. 따라서 본 연구는 마르텐사이트계 스테인리스강에 대해 천연 해수 용액에서 적용 전류밀도와 캐비테이션 시간에 따른 시편 손상 경향을 규명하였다. 정전류 실험 결과 캐비테이션 조건에서 정적인 조건에 비해 비교적 적은 손상 경향이 나타났다. 또한 캐비테이션 실험 결과 3시간부터 급격하게 무게 감소량, 캐비테이션 손상률, 손상깊이가 증가하였다.
본 논문은 국지성 호우에 따른 성토사변의 내부 침식의 특성에 대한 것이다. 기존 성토재료의 필터조건 분석방법에 대하여 검토하였다. 근접 성토재료로부터 재료업자의 이동을 억제하기 위한 필터층의 조건을 이론적 배경을 기초로 새로운 분석법을 제안하였다. 이러한 필터거동에 대한 새로운 분석기법에 따라 성토재료 내 침식에 의한 입자간의 거동 특성을 규명하기 위하여 사면의 내부 침식에 영향을 주는 주요원인인자(강우강도, 사면구배, 성토재료 특성 등)를 변화하여 총 3가지 Case의 축소모형실험을 실시하였다. 본 연구로부터 새로운 필터조건 분석법이 실질적인 성토구배 내의 성토재료에 대한 필터 설계시보다 더 적용성이 높은 방법이라는 결론을 얻었다. 이에 따라 새로운 필터조건검토 기준 또는 방법을 제안하였다.
HVOF thermal spray coating of Co-alloy T800 is progressively replacing the classical hard coatings such as chrome plating because of the very toxic $Cr^{6+}$ ion known as carcinogen causing lung cancer. For the study of the possibility of replacing of chrome plating, the wear properties of HVOF Co-alloy T800 coatings are investigated using the reciprocating sliding tester both at room and at an elevated temperature of $1000^{\circ}F\;(538^{\circ}C)$. The possibility as durability improvement coating is studied for the application to the high speed spindles vulnerable to frictional heat and wear. Wear mechanisms at the reciprocating sliding wear test are studied for the application to the systems similar to the sliding test such as high speed spindles. Wear debris and frictional coefficients of T800 coatings both at room and at an elevated temperature of $1000^{\circ}F\;(538^{\circ}C)$ are drastically reduced compared to those of non-coated surface of parent substrate Inconel 718. This study shows that the coating is recommendable for the durability improvement coatings on the surfaces vulnerable to frictional heat. The sliding surfaces are weared by the mixed mechanisms such as oxidative wear, abrasion by the sliding ball slurry erosion by the mixture of solid particles and small drops of the melts and semi-melts of the attrited particles cavitation by the relative motions among the coating, sliding ball, the melts and semi-melts. and corrosive wear. The oxide particles and the melts and semi-melts play roles as solid and liquid lubricant reducing the wear and friction coefficient.
This paper reports the numerical investigation conducted to study the influence of Local-Distortional (L-D) interaction mode buckling on post buckling strength erosion in fixed ended lipped channel cold formed steel columns. This investigation comprises of 81 column sections with various geometries and yield stresses that are carefully chosen to cover wide range of strength related parametric ratios like (i) distortional to local critical buckling stress ratio ($0.91{\leq}F_{CRD}/F_{CRL}{\leq}4.05$) (ii) non dimensional local slenderness ratio ($0.88{\leq}{\lambda}_L{\leq}3.54$) (iii) non-dimensional distortional slenderness ratio ($0.68{\leq}{\lambda}_D{\leq}3.23$) and (iv) yield to non-critical buckling stress ratio (0.45 to 10.4). The numerical investigation is carried out by conducting linear and non-linear shell finite element analysis (SFEA) using ABAQUS software. The non-linear SFEA includes both geometry and material non-linearity. The numerical results obtained are deeply analysed to understand the post buckling mechanics, failure modes and ultimate strength that are influenced by L-D interaction with respect to strength related parametric ratios. The ultimate strength data obtained from numerical analysis are compared with (i) the experimental tests data concerning L-D interaction mode buckling reported by other researchers (ii) column strength predicted by Direct Strength Method (DSM) column strength curves for local and distortional buckling specified in AISI S-100 (iii) strength predicted by available DSM based approaches that includes L-D interaction mode failure. The role of flange width to web depth ratio on post buckling strength erosion is reported. Then the paper concludes with merits and limitations of codified DSM and available DSM based approaches on accurate failure strength prediction.
피복공법은 해저 퇴적오염물질을 차단하고 안정화시켜 처리하는 방안이다. 국내에서는 피복공법에 대한 연구가 부족하나, 오염물질이 방출되지 않기 위한 공학적 접근법이 반드시 필요하다. 본 연구에서는 피복설계 시 중요 인자인 피복재 침식을 확인하기 위해 조파장치를 이용한 수리모형실험을 실시하였다. 1:10의 실험축척을 적용하여 0.07~2 mm 크기의 모래를 피복 재료로 사용하였고, 모형 수조 내 강사한 후 파랑을 발생시켜 피복재의 형상변화를 관측하였다. 실험결과, 피복재의 표면은 파랑의 파형과 유사하게 변형이 발생하였으며, 파랑의 파고가 증가할수록 대체적으로 침식되는 피복재의 깊이가 증가하였다.
Tribaloy 800 (T800) powder is coated on the Inconel 718 substrate by the optimal High Velocity Oxy-Fuel (HVOF) thermal spray coating process developed by this laboratory. For the study of the possibility of replacing of the widely used classical chrome plating, friction, wear properties and sliding wear mechanism of coatings are investigated using reciprocating sliding tester both at room and at an elevated temperature of $1000^{\circ}F\;(538^{\circ}C). Both at room temperature and at $538^{\circ}C$, friction coefficients and wear debris of coatings are drastically reduced compared to those of non-coated surface of Inconel 718 substrate. Friction coefficients and wear traces of both coated and non-coated surfaces are drastically reduced at higher temperature of $538^{\circ}C$ compared with those at room temperature. At high temperature, the brittle oxides such as $CoO,\;Co_3O_4,\;MoO_2,\;MoO_3$ are formed rapidly on the sliding surfaces, and the brittle oxide phases are easily attrited by reciprocating slides at high temperature through complicated mixed wear mechanisms. The sliding surfaces are worn by the mixed mechanisms such as oxidative wear, abrasion, slurry erosion. The brittle oxide particles and melts and partial-melts play roles as solid and liquid lubricant reducing friction coefficient and wear. These show that the coating is highly recommendable for the durability improvement coating on the surfaces vulnerable to frictional heat and wear.
우리나라에서는 최근에 고도의 경제성장(經濟成長)으로 인(因)한 국토개발사업(國土開發事業)이 전국토(全國士)에서 시행(施行)되고 있다. 특(特)히 경부고속도로(京釜高速道路)를 비롯한 각종(各種) 고속도로(高速道路)의 건설(建設)과 산업기지(産業基地) 및 택지(宅地) 공장부지(工場敷地)의 조성공사(造成工事) 등으로 자연(自然)비탈면이 많이 파괴(破壞) 훼손(毁損)되었으므로 이를 복구(復舊) 녹화(綠化)하기 위한 녹화공법(綠化工法)으로서 주로 식생공법(植生工法)이 채용되고 있으나 절토(切土)나 성토공사(盛土工事)로 인하여 인위적(人爲的)으로 만들어진 인공(人工) 비탈면의 안정에 미치는 식생(植生)의 영향에 관한 문제가 아직 종합적으로 보고(報告)된 바 있다. 그러므로 본(本) 연구(硏究)에서는 우선 비탈면의 피해형태(被害形態)를 분석(分析)하고, 식생(植生)이 비탈면의 물 수지(收支)에 미치는 영향을 분석(分析)하였으며, 또 식생(植生)이 표면침식방지(表面浸蝕防止) 및 표층붕괴(表層崩壞)에 미치는 영향을 분석(分析)하였다.
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[게시일 2004년 10월 1일]
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