Despite the increasing need of nanometer-scale accuracy in abrasive machining using ultrasmall particles such as abrasive jet and chemical mechanical polishing(CMP), the process mechanism is still unknown. Based on the background, research on the effects of various process parameters on the machined surface at abrasive machining was motivated and performed by using finite element analysis where the effect of slurry fluid flow involved. The effect of particle shape on the machined surface during particle-surface collision was discussed in this paper. The results from FEA simulation revealed that any damage or defect generation on machined surface by the impact may occur only if the particle has enough impact energy. Therefore, it could be concluded that generation of the defects and damage on the wafer surface after CMP process was mainly due to direct contact of the 3 bodies, i.e., pad-particle-wafer.
This paper presents a high sensitive force sensing module to measure machining forces for a tip-based nanopatterning instrument. The force sensing module utilizing a leaf spring mechanism and a capacitive displacement sensor has been designed to provide a measuring range from 80$\mu$N to 8N. This force sensing module is mounted on a PZT driven in-feed motion stage with 1 nm resolution. The sample can be moved by a X-Y scanning motion stage with 5 nm resolution. In the patterning experiments, the machining forces were controlled and monitored by the force sensing module. Then, the patterned sample was measured by AFM. Experimental results demonstrated that the developed force sensing module can be used as an effective sensing device in the nanopatterning operation.
In this study, the static and dynamic characteristics of endmilling process was modelled and the analytic realization of chatter mechanism was discussed. In this regard, We have discussed on the comparative assessment of recursive time series modeling algorithms that can represent the machining process and detect the abnormal machining behaviors in precision endmilling operation. In this study, simulation and experimental work were performed to show the malfunctional behaviors. For this purpose, new recursive(RLSM) were adopted for the on-line system identification and monitoring of a machining process, we can apply these new algorithms in real process for detection of abnormal chatter. Also, the stability lobe of chatter was analysed by varying parameter of cutting dynamices in regenerative chatter mechanics.
In this paper, we develop a six-axes machining center tool(MCT) and CAD/CAM system. The MCT consists of two mechanical parts, i.e., a X-Y-Z Cartesian coordinate typed MCT and a parallel-typed tilting table. Kinematics and singularity are accomplished to design the parallel-typed tilting table, and CAD/CAM system is developed for the six-axes MCT, which requires the commands of position as well as orientation for machining of complex shape. The CAD/CAM system has a tool path generator, a NC code generator and a graphic simulator. This paper designs the parallel-typed tilting table to meet the desired specification and presents the results of tool path, NC code and graphic simulation.
In this study, the static and dynamic characteristics of turning process was modelled and the analytic realization of regen-erative chatter mechanism was discussed. In this regard, we have discussed on the comparative assessment of recursive times series modeling algorithms that can represent the machining process and detect the abnormal machining behaviors in precision turning operation. In this study, simulation and experimental work were performed to show the malfunction behaviors. For this purpose, new Recursive Extended Instrument Variable Method(REIVM) was adopted for the on-line system identification and monitoring of a machining process. Also, we can apply REIVE algorithms in real process for the detection of chatter frequency and dynamic property and analyze the stability lobe of the system by changing a parameter of cutting dynamics in regenerative chatter mechanics, if it is stable or unstable, Also, The stability lobe of chatter was analysed.
This paper presents experimental results to know the charcteristics of machined surface due to cutter runout. Cutter runout is a common but undesirable phenomenon in multi-tooth machining such as end-milling process because it introduces variable chip loading to insert which results in a accelerated tool wear, amplification of force variation and hence enargement vibration amplitude. To develop in-proess cutter runout compensation system, set-up the micro-positoning mechanism which is based on piezoelectric translator embeded in the work holder to manipulate the depth of cut in real-time. And feasibility test of system was done under the various experimental cutting conditions. This results provide lots of information to build-up the precision machining technology.
In terms of productivity, the speed of machining process has been increasing in most of engineering part. But the tapping process does not reach at enough level compared with other machining processes because of its complicate cutting mechanism. In the high speed tapping process, the one of important elements is tool monitoring system to prevent tool breakage. This paper describes tool monitoring system by acoustic emission(AE) in the tapping process. We used 2 types of AE sensors in this test. The one is commercial sensor which is used in other machining monitoring system like polishing and the other is a self-fabricated sensor for this test. In this test we purpose to find out the frequency of AE signal in tapping process and verify the possibility of applying AE sensor in in-process tapping monitoring system. Also grasp of characteristic of tapping process by AE signal is handled.
Electrical discharge machining (EDM) was attempted on a ceramic matrix composite containing non-conductive alumina as a matrix and conductive titania as a second phase, and was found successful. As the current or duty factor increased, the material removal rate (MRR) increased and the surface roughness also increased. The EDMed surface was covered with a number of craters of a circular shape having 100-200 microns of diameter. The melting and evaporation was suggested for the EDM mechanism. The bending strength decreased 44% after EDM, but the Weibull modulus increased more than twice. Combination of EDM and barre이 polishing resulted in the maintenance of the bending strength level. Temperature distribution near a spark in the sample was computer-simulated by use of finite element method, and was found to have similar shape to the one which the observed craters have.
Journal of Advanced Marine Engineering and Technology
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제33권2호
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pp.322-329
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2009
Machinability of LAM(Laser Assisted Machining) has been studied for ceramics such as $Al_2O_3$, $Si_3_N4$ and $ZrO_2$ by $CO_2$ laser. It was possible to remove ceramics by PCBN tool because material became softening and deterioration by local laser beam irradiation. The advantage of LAM is the ability to produce larger material removal rates and tool life. But, for cutting of $Al_2O_3$ and $ZrO_2$, stage of laser power control was needed owing to thermal shock with high temperature of workpiece by laser power. And when $Si_3N_4$ was machined by LAM, $N_2$ gas spouted from surface of one cause of high temperature. Characteristics of LAM were analyzed using pyrometer, dynamometer, SEM and EDS to measure temperature of workpiece surface, cutting force, variation of machining surface and structure of lattice respectively. As the result of this study, it was found that machinability of LAM for ceramics in $CO_2$ laser and mechanism of LAM was different according to the kind of ceramics because of properties of materials.
CFRP (Carbon Fiber Reinforced Plastic) and CFRP-metal stacks have recently been widely used in the aerospace and automobile industries. When CFRP is machined by a brittle fracture mechanism, defect generation behaviors are different from those associated with metal cutting. The machining quality is strongly dependent on the properties of CFRP materials. Therefore, process control for CFRP machining is necessary to minimize the defects of differently manufactured CFRPs. In this study, defects in drilling of CFRP substrates with a variety of fiber directions and resin types are compared with respect to thrust force. An experimental study on material interface detection is carried out to investigate its benefits in process control.
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[게시일 2004년 10월 1일]
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