MEICP에 의한 (Ba,Sr)$TiO_3$ 박막의 식각 메커니즘에 관한 연구
(A Study on the Etching Mechanism of (Ba,Sr)$TiO_3$ Thin Films using MEICP)
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- 한국전기전자재료학회:학술대회논문집
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- 한국전기전자재료학회 2000년도 춘계학술대회 논문집 전자세라믹스 센서 및 박막재료 반도체재료 일렉트렛트 및 응용기술
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- pp.52-55
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- 2000