Proceedings of the KIEE Conference (대한전기학회:학술대회논문집)
- 1999.07d
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- Pages.1553-1555
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- 1999
Study of characteristics of SBT etching using $CF_4$ /Ar Plasma
$CF_4$ /Ar 플라즈마를 이용한 SBT 박막 식각에 관한 연구
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Kim, Dong-Pyo
(Dept of Electrical Engineering Chung-Ang Univ.) ;
- Seo, Jung-Woo (Dept of Electrical Engineering Chung-Ang Univ.) ;
- Kim, Seung-Bum (Dept of Electrical Engineering Chung-Ang Univ.) ;
- Kim, Tae-Hyung (Dept. of Electrical, Yeojoo institute of Technology) ;
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Chang, Eui-Goo
(Dept of Electrical Engineering Chung-Ang Univ.) ;
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Kim, Chang-Il
(Dept of Electrical Engineering Chung-Ang Univ.)
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김동표
(중앙대학교 전기공학과) ;
- 서정우 (중앙대학교 전기공학과) ;
- 김승범 (중앙대학교 전기공학과) ;
- 김태형 (여주대학 전기과) ;
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장의구
(중앙대학교 전기공학과) ;
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김창일
(중앙대학교 전기공학과)
- Published : 1999.07.19
Abstract
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