초미세 공정에 적합한 ICP(Inductive Coupled Plasma) 식각 알고리즘 개발 및 3차원 식각 모의실험기 개발 (Development of New Etching Algorithm for Ultra Large Scale Integrated Circuit and Application of ICP(Inductive Coupled Plasma) Etcher)
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- 대한전자공학회:학술대회논문집
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- 대한전자공학회 1999년도 하계종합학술대회 논문집
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- pp.942-945
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- 1999