Polycrystalline Si films have been used in many applications such as thin film transistors(TFT), image sensors and LSI applications. In this research deposition of Si films at low temperatures with remote plasma enhanced CVD from Si2H6-SiF4-H2 on SiO2 was studied and their crystallinity was investigated. It was condluded that growth of crystalline Si films was favorable with (1) low Si2H6 flow rates, (2) moderate plasma power, (3) moderate SiF4 flow rates, (4) moderate substrate temperature, and (5) suitable method of surface cleaning.
In a modern semiconductor device manufacturing industry, statistical bin limits on wafer level test bin data are used for minimizing value added to defective product as well as protecting end customers from potential quality and reliability excursion. Most wafer level test bin data show skewed distributions. By Monte Carlo simulation, this paper evaluates methods and sample size effect regarding determination of statistical bin limits. In the simulation, it is assumed that wafer level test bin data follow the Poisson distribution. Hence, typical shapes of the data distribution can be specified in terms of the distribution's parameter. This study examines three different methods; 1) percentile based methodology; 2) data transformation; and 3) Poisson model fitting. The mean square error is adopted as a performance measure for each simulation scenario. Then, a case study is presented. Results show that the percentile and transformation based methods give more stable statistical bin limits associated with the real dataset. However, with highly skewed distributions, the transformation based method should be used with caution in determining statistical bin limits. When the data are well fitted to a certain probability distribution, the model fitting approach can be used in the determination. As for the sample size effect, the mean square error seems to reduce exponentially according to the sample size.
Annual Conference on Human and Language Technology
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2009.10a
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pp.165-169
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2009
오늘날 인터넷 검색은 하루가 다르게 발전되고 있다. 주로 키워드 매칭에 의존을 둔 지금의 검색 서비스들은 사용자 중심의 아이템들을 개발해 정보검색의 경과시간 및 결과의 분류면에서 우수함을 보여주고 있다. 질의어의 의미에 유사한 검색은 아직은 발전하는 단계로, 내용에 기반을 둔 검색 환경에 초점이 맞춰지고 있다. 이와 관련하여 행렬의 특이치 분해(SVD)를 이용한 잠재적 의미 색인 기법(LSI)을 본 연구에서 다루고자 한다. 구축한 시스템의 성능 평가는 재현도 계산으로 비교되었는데 작은 크기의 특이값(singular value)들 생략에 의한 SVD의 성능과 그것을 재이용, 질의어에 대한 의미 구조상 근접한 용어들을 찾아 질의어를 확장한 후 적합한 문서들의 검색을 사용한 특이값 개수, 유사단어 확장 개수를 달리하여 실험하였다. 실험 결과, 특이값 2개를 사용한 잠재적 의미 색인이 특이값 3개를 사용한 잠재적 의미 색인보다 보다 나은 성능을 보였다. 그리고 조건을 달리한 모든 잠재적 의미 색인의 경우 단어 매칭에 의한 적합문서 검색보다 별 뚜렷한 나은 결과는 보이지 않았다. 하지만 의미적으로 관계가 깊은 유사어들을 찾아냈고, 의미적으로 가장 관계 깊은 문서를 대부분의 경우에서 순위 1위로 찾아내는 부분적 우수함을 보였다.
ASIC (Application Specific Integrated Circuit)은 직역하면 응용특정 IC, 혹은 특정용도 IC로서 LSI시장의 조사회사인 Dataquest사가 '84년경부터 사용하기 시작한 말이다. ASIC이 최근 크게 주목을 끌고있는 것은, 반도체 사용자가 자신의 제품에 개성을 불어넣기 위해서는 범용IC를 사용해온 것으로는 기술적 우위성이 확보되지 않는다고 판단했기 때문에 주문형 LSI를 강하게 추진해 왔다는 것과 반도체 메이커도 메모리IC를 중심으로 한 범용IC시장의 부진, 더우기 날로 더해가는 반도체 시장의 시장쟁탈 및 무역마찰로 인해 ASIC 시장에로의 참여가 강화되어 왔다는 점 등을 들수있다. 집적화 기술은 매년 진보하여 지금은 100만개 이상의 트랜지스터를 집적할 수 있게 되었다. 따라서 지금까지 SSI/MSI를 사용해서 회로설계한 기능단위의 칩을 프린터 기판위에 조합시켜 시스팀을 구축해 왔으나, 앞으로는 하나의 칩위에 시스팀을 구성하는 시대로 변하고 있다. ASIC은 그 요청에 따라서 one-chip화의 개념에 따라서 만들어진 것으로서, 시장환경에 대단히 유익한 디바이스로 생각할 수 있다. 시스팀의 one-chip화의 실현결과 압도적으로 소형화, 경량화, 성자원화가 달성됨과 동시에 신뢰성 및 동작성능도 우수하게 되었다. ASIC기술은 현재 주류로 되어있는 게이트 어레이를 볼때, 개발비용은 크게 감소하여 개발기간도 논리회로가 완성된다면 3~4주 정도로 단축시킬수 있다. ASIC 설계에는 각 공정에 있어서 고도의 컴퓨터 지원설계가 채용되고 제조공정에서는 첨단의 프로세서 기술 등이 이용되므로 ASIC기술은 종합적인 첨단기술의 집약이라고 불러도 좋을것이다. 이러한 기술추세에 맞추어 전자통신 동향분석지 제3권 제1호(1988.3.)에 발표된 최신 ASIC기술동향의 후속편으로 ASIC에 관련된 중요용어 50개를 선정, 알파벳 순으로 나열하여 설명하였다.
Communications of the Korean Institute of Information Scientists and Engineers
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v.5
no.2
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pp.90-93
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1987
Relatively few papers are known to study the clustering the same kind of data records in a cylinder. In this article, I reviewed the clustering algorithms especially for the cellular list file which have been studied.
Journal of the Korea Academia-Industrial cooperation Society
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v.12
no.1
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pp.545-551
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2011
Recently, demands for generating high quality tap waters are increasing with high concern of water pollution and corrosion of water pipelines. For the reasons, developing water quality stabilization technique in water purification system is sought rather than replacing to a new pipelines. In this study, high-purity liquid lime($Ca(OH)_2$) was introduced for a water quality stabilization technique in water purification process and simulated water distribution system of pilot-scale size was applied to evaluate anti-corrosion control effect. The effect of anti-corrosion control was calculated in terms of LSI(Langelier Saturation Index) In conclusion, the result of pilot plant showed improvement of corrosiveness by liquid lime($Ca(OH)_2$) with reduction of released iron(Fe). Application of anti-corrosion control technique to the mild steel coupon and the copper coupon were effective by indicating 35.4, 44.5% of improvements. Besides, sample pipes which were treated with liquid lime had formated more thicker layer of corrosion product inside of pipes. As a result, the process of injecting water stabilizer can greatly contribute to the high quality of tap water.
The Journal of the Korea institute of electronic communication sciences
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v.3
no.2
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pp.79-85
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2008
It is important to consider the life of battery and low power operation for various wireless communications. Thus, Analog current-mode signal processing with SI circuit has been taken notice of in designing the LSI for wireless communications. However, in current mode signal processsing, current memory circuit has a problem called clock-feedthrough. In this paper, we examine the connection of CMOS switch that is the common solution of clock-feedthrough and calculate the relation of width between CMOS switch for design methodology for improvement of current memory. As a result of simulation, when the width of memory MOS is 20um, ratio of input current and bias current is 0.3, the width relation in CMOS switch is obtained with $W_{Mp}=5.62W_{Mn}+1.6$, for the nMOS width of 2~6um in CMOS switch. And from the same simulation condition, it is obtained with $W_{Mp}=2.05W_{Mn}+23$ for the nMOS width of 6~10um in CMOS switch. Then the defined width relation of MOS transistor will be useful guidance in design for improvement of current memory.
전기에너지를 기기동력으로 변환하여 자유자재로 제어함으로써 정밀한 기기량(위치, 속도, 력) 으로 변환시키는 역할이 모우터이다. 최근 HA, OA, FA 분야는 여러 가지의 제어용모우너(이하 서어보모우터라고함)의 용도가 확대되면서 다양화된 제품개발, 기술개발이 활발하게 이루어지고 있다. 소형서어보모우터의 정의는 명확하지 않으나 통계에 따르면 최근 수년 생산량은 매년 $30{\%}$이상으로 증가했다. 소형서어보의 특징으로서는 (1)마이크로프로세서, 전용LSI를 사용하여 디지털콘트로울러에 의한 고정도화, 고기능화 (2)제어용 모우터의 AC화에 의한 멘터넌스플리이와 고속화 (3)들라이브용 센서이 고성능화 등이 있다. 여기서는 산업용을 대상으로한 서어보모우터의 제어에 초점을 두어 최근의 동향에 대해 개설하기로 한다.
This paper reviews NTT Laboratories' research and development of x-ray lithography during the last ten years since the application of synchrotron orbital radiation(SOR). First, the historical background of x-ray lithograhpy research, NTT's research programs on synchrotron x-ray lithography(SOR lithography), and the current status of NTT's SOR lithography system are overviewed. Then, the key elements of SOR lithography system are reviewed, including the electron storage ring, the x-ray stepper, and the x-ray mask. Finally the appilcation of SOR lithography technology to device fabrication is reported.
Proceedings of the International Microelectronics And Packaging Society Conference
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2001.09a
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pp.147-164
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2001
1. "MLS", state of the art MCM-D wiring substrate. 2. High pin-count LSl assembly. 3. Higher speed needs higher packaging density. 4. Wiring substrate, the key of LSl packaging device. 5. "Inter-Layer Transferability", a new index for the performance of wiring substrates. 6. "MLTF package", a core-less flexible package for high pin-count LSl.
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[게시일 2004년 10월 1일]
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