후막 리소그라피 공정을 이용한 FBAR Duplexer용 phase shifter 개발에 관한 연구 (The study on the development of phase shifter of FBAR(Film Bulk Acoustic Reonator) Duplexer using photo lithograry)
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- 한국전기전자재료학회:학술대회논문집
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- 한국전기전자재료학회 2003년도 하계학술대회 논문집 Vol.4 No.2
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- pp.768-771
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- 2003