ICP 광원 시스템의 Ne:Xe, Ne:Ar 혼합가스의 단일탐침법을 이용한 플라즈마 진단 (Plasma Diagnosis of Ne:Xe, Ne:Ar Mixed Gases by Single Langmuir Probe in Inductively Coupled Plasma Light Source System)
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- 한국전기전자재료학회:학술대회논문집
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- 한국전기전자재료학회 2006년도 영호남 합동 학술대회 및 춘계학술대회 논문집 센서 박막 기술교육
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- pp.91-95
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- 2006