Large Area Wafer-Level High-Power Electronic Package Using Temporary Bonding and Debonding with Double-Sided Thermal Release Tape (양면 열박리 테이프 기반 임시 접합 공정을 이용한 대면적 웨이퍼 레벨 고출력 전자패키지)
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- Journal of Sensor Science and Technology
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- v.31 no.1
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- pp.36-40
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- 2022