레이져 CVD에 의한 $SiO_2$ 막의 형성기구 모델링에 관한 연구
(A Study on the mechanism of $SiO_2$ film deposition by Laser CVD)
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- 대한전기학회:학술대회논문집
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- 대한전기학회 1995년도 하계학술대회 논문집 C
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- pp.1149-1151
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- 1995