Etching characteristics and modeling of BST thin films using inductively coupled plasma (유도결합 플라즈마를 이용한 BST 박막의 식각 특성 및 모델링)
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- Proceedings of the Korean Institute of Electrical and Electronic Material Engineers Conference
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- 한국전기전자재료학회 2004년도 추계학술대회 논문집 Vol.17
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- pp.29-32
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- 2004