Modeling and Simulation on Ion Implanted and Annealed Indium Distribution in Silicon Using Low Energy Bombardment (낮은 에너지로 실리콘에 이온 주입된 분포와 열처리된 인듐의 거동에 관한 시뮬레이션과 모델링)
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- Journal of the Korean Institute of Electrical and Electronic Material Engineers
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- v.29 no.12
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- pp.750-758
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- 2016