이온빔보조증착으로 제작한 저굴절률 $SiO_xF_y$ 광학박막의 특성 연구
(Preparation of low refractive index $SiO_xF_y$ optical thin films by ion beam assisted deposition)
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- 한국광학회지
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- 제9권3호
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- pp.162-167
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- 1998