• 마이크로전자및패키징학회지
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• 제16권1호
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• pp.45-50
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• 2009

레이저를 이용 실리콘 관통형 접속기술인 TSV(Through-Silicon-Via)를 형성할 경우 Debris(파편물) 및 Particle이 발생되므로 이를 제거하기 위한 세정공정을 연구하였다. 계면활성제를 이용한 화학적 세정과 Brush를 이용한 물리적 세정을 검토하기 위하여 세정기를 제작하고 8인치 CMOS Image Sensor wafer에 직경 $30{\mu}m$, 깊이 $100{\mu}m$를 갖는 Via를 제작하여 두 가지의 세정방법을 연구하였다. 세정액은 DI Water와 계면활성제의 혼합비 2:1에서 Debris 범위가 $73{\mu}m^2$로 희석비가 낮을수록 세정력이 우수하였다. 레이저의 주파수와 속도변위에 따른 가공 조건 변화에는 Debris 분포차가 5% 미만으로 세정력에는 영향이 없었다. Brush를 이용하여 Debris를 제거하는 실험에서 Strip $1000{\sim}3000rpm$, Rinse $50{\sim}3000rpm$, Brush $200{\sim}300rpm$ 으로 증가시켜 세정하였을 때 Crack이나 손상 없이 Debris의 분포가 감소하였다. 따라서 화학적 세정과 물리적 세정으로 Debris를 제거할 수 있다.

• 한국물환경학회지
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• 제20권5호
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• pp.391-396
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• 2004

• 대한전기학회논문지
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• 제40권6호
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• pp.626-629
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• 1991

The negative wire of an electrolytic ozone generator, proposed by authors, has been contaminated by attaching the impurity particulate in tap water, which is called BUILD-UP phenomenon. The higher applied voltage and the larger wire diameter have shown the higher build-up rate, which makes the current reducing largely and concurrently the ozone production smaller. It is found that the positive electrode of the ozone generator has a strong SELF-CLEANING effect by detaching the impurity particulate from its surface, which, however, is used us a novel means of solving the build-up problem. As a result, the build-up problem can be solved effectively by applying an alternate square wave pulse voltage to the electrodes so as to get the self-cleaning ability on the both electrodes during each of the half pulse duration time.

• 멤브레인
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• 제27권3호
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• pp.232-239
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• 2017

본 연구에서는 사용 후 폐기되는 정수기용 역삼투(Reverse Osmosis; RO)막 필터를 세정하여 새 필터의 수준으로 복원시키는 연구를 수행하였다. 화학적 세정액으로는 수산화나트륨, 중아황산나트륨, EDTA용액을 사용하였으며 마이크로버블 발생 장치와 함께 in-situ의 방법으로 세정하였다. EDTA를 0.1%의 농도로 제조한 뒤 마이크로버블과 함께 사용하여 30분 세정하였을 때 가장 좋은 결과를 나타내었다. 이때 폐 필터와 세정 후 폐필터의 성능을 비교해 보았을 때 투과도는 19.9%, 회수율은 49.5%증가하였으며 NaCl 100 mg/L 용액에 대한 염제거율은 2.3% 감소되었는데, 이는 새 필터와 동등한 수준으로 회복이 되었다. 또한 전자현미경 분석을 이용하여 막 표면의 오염물의 제거를 육안으로 확인하였다. 이로써 전량 매립 또는 소각 되어지는 정수기용 폐 RO막 필터의 세정을 통하여 재사용이 가능할 것으로 판단된다.

• Korean Chemical Engineering Research
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• 제45권2호
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• pp.203-207
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• 2007

불산과 오존 세정 시 실리콘 웨이퍼 표면의 미세입자를 효과적으로 제거할 수 있는 세정 방법에 대하여 연구하였다. 불산의 농도가 0.3 vol% 이상이 되어야 미세입자가 제거 되었으며, 초음파가 인가된 오존수를 사용 시 제거 효율은 증가되었다. 오존과 불산 세정 단계 이후에 추가로 극미량의(0.01 vol%) 희석 암모니아수 세정을 하면 미세입자가 99%이상 제거됨을 확인하였다. 이는 암모니아수에 의한 웨이퍼 표면의 미세 에칭 효과와 알칼리 영역에서의 재흡착 방지 효과가 동시에 작용함에 기인된다고 보인다. 한편, 불산-오존-희석 암모니아수 세정은 통상의 SC-1 세정과 비교할 때 표면 미세 거칠기가 개선되는 경향을 보였다. 불산-오존-희석 암모니아수 세정은 상온에서도 미세입자를 효과적으로 제거할 수 있는 세정 방법으로, 고온 공정 및 과다한 화학액을 사용하는 기존 습식세정의 대안으로서 기대된다.

• 반도체디스플레이기술학회지
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• 제4권4호
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• pp.13-17
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• 2005

The behavior of ozone in $NH_4OH$ was investigated to evaluate the solution as a cleaning chemical of the silicon wafer. The solubility of ozone in DI(Deionized) water increased as the oxygen flow-rate decreased and ozone generator power increased. Ozone in DI water showed solubility of 100 ppm or higher at room temperature. Ozone concentration was stabilized at the range of ${\pm}2ppm$ by controlling oxygen flow rate and ozone generator power. On the contrary, the solubility of ozone in $NH_4OH$ was very low and strongly depended on the concentration of $NH_4OH$ and pH. The redox potential of ozone was saturated within 10 minutes in DI water and decreased rapidly with the addition of $NH_4OH$. The behavior of ozone in $NH_4OH$ is well explained by redox potential calculation.

• 공업화학
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• 제16권4호
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• pp.533-541
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• 2005

2,2,2-trifluoroethanol (TFEA)과 hydrofluoroether (HFE)를 혼합하여 비수계 세정제를 제조하고 이들의 혼합비에 따른 물성과 세정성의 영향을 연구하였다. 또한 TFEA를 기초로 하고 비이온 계면활성제, 가용화제와 빌더를 첨가한 수계 세정제를 제조하고 이들의 세정능력을 비교하여 CFC-113, 1,1,1-TCE에 대한 대체 가능성을 평가하였다. 오염 물질로 수용성이거나 친수성, 지용성이거나 친유성인 각기 다른 플럭스, 절삭유, 그리스, 불소계 오일 등을 선정하고, 세정시간에 따른 오염물질의 중량변화를 비교하여 각 세정제의 세정능력을 비교함으로써 대체세정제로서의 TFEA를 기초로 한 세정제의 적용 가능성을 평가하였다. 그 결과 TFEA와 HFE를 주성분으로 하여 제조한 비수계 세정제는 플럭스와 불소계 오염물에 우수한 세정성을 보여주었지만 그리스 세정에서는 세정성이 떨어졌다. 이에 비하여 TFEA를 기초로 하고 비이온 계면활성제, 가용화제, 빌더 등을 첨가하여 제조한 수계세정제는 일정한 배합 조건에서 플럭스와 그리스 제거에 매우 효과적이었다. 따라서 TFEA를 기초로 한 수계 및 비수계 세정제는 특정 오염물질에 대하여 좋은 세정력을 보여 주어 CFC-113, 1,1,1,-TCE 등의 대체세정제로의 가능성을 보여주었다.

• 대한조선학회 특별논문집
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• 대한조선학회 2009년도 특별논문집
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• pp.35-39
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• 2009

The fouling around the surface of hull and propeller caused by marine organism and sea water occur in the vessel which is taken up mooring in a quay for a quite long time. Moreover, those are able to give rise to the loss of speed performance. The purpose of underwater cleaning is to improve the performance of vessel and customer satisfaction through management for fouling condition of propeller and hull. Therefore, systematic approach in connection with underwater cleaning is required so as to obtain the stable speed performance. As a result, we evaluate the effect of propeller polishing to speed performance from the case of 115K COT and 4,250 TEU Container Ship. In addition, we issue the importance of underwater cleaning through comparison of speed results depending on conditions of hull surface painted by silicon.

• 한국인쇄학회지
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• 제28권2호
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• pp.87-99
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• 2010

The ink which is left by sealed more than 6 months, it clogs head nozzle of machine due to precipitation and coagulation. In addition, if you stop printing about 3~4 hours in the middle of printing work, the head nozzles of printer could be naturally clogged. To prevent of this situation, worker should implement cleaning and checking head nozzle before hands. When the nozzle is clogged in the middle of work, running a head cleaning mode can clear the clogged nozzle. Yet, large amount of waste inks which are passed clogged nozzle will be remained after cleaning. It would be very nice that ink companies take the waste ink back by green marketing, but none of them are doing it currently. The purpose of this research is that making a black water-based recycle ink by waste inks which are left of nozzle clogging or passed expiration date. This recycle ink will improved working environment and reduce cost of disposing waste inks. Furthermore, it is very environment friendly and economical. It is called a recycle ink which is water-based black ink made by waste inks.

• 한국의류학회지
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• 제36권2호
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• pp.127-137
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• 2012

This study focuses on the optimal washing conditions for dry cleaning recommended fabrics to minimize dimensional changes using wet cleaning. We suggest water-based alternatives to a perchloroethylene based cleaning process. Wool and rayon fabrics were laundered under various washing conditions and then air-dried for 24hrs. All specimens were extended after spinning and shrunk after drying. This is probably because the fibers were swollen and extended by wetting. The wool fabrics were shown to be acutely influenced by washing temperature and mechanical force. The optimal washing conditions for wool fabric to minimize the dimensional change implied a normal washing temperature and minimized mechanical force. For rayon specimens, dimensional change by a hand wash showed a remarkable decrease compared with a machine wash. Rayon fabric seemed to be influenced by the quantity of water contained in the fabric after spinning and washing time. Therefore, the desirable washing conditions for rayon fabric are to reduce the time required for washing and to increase the spin speed.