The effect of impurities implanted single-Si substrates on the formation of $TaSi_2$
(단결정 실리콘 기판에 이온주입된 불순물이 $TaSi_2$ 형성에 미치는 영향)
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- Korean Journal of Materials Research
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- v.1 no.1
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- pp.17-22
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- 1991