• 한국전기전자재료학회:학술대회논문집
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• 한국전기전자재료학회 2003년도 춘계학술대회 논문집 센서 박막재료 반도체 세라믹
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• pp.45-48
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• 2003

The polishing mechanism of W-CMP process has been reported as the repeated process of passive layer formation by oxidizer and abrasion action by slurry abrasives. Thus, it is important to understand the effect of oxidizer on tungsten passivation layer in order to obtain higher removal rate (RR) and very low non-uniformity (NU%) during W-CMP process. In this paper, we investigated the effects of oxidizer on W-CMP process with three different kinds of oxidizers, such as $H_2O_2$, $Fe(NO_3)_3$, and $KIO_3$. In order to compare the removal rate and non-uniformity of three oxidizers, we used alumina-based slurry of pH 4. According to the CMP tests, three oxidizers showed different removal mechanism on tungsten surface. Also, the microstructures of surface layer by AFM image were greatly influenced by the slurry chemical, composition of oxidizers. The difference in removal rate and roughness of tungsten surface are believed to caused by modification in the mechanical behavior of $Al_2O_3$ abrasive particles in CMP slurry. Our stabilized slurries can be used a guideline and promising method for improved W-CMP process.

• Investigative Magnetic Resonance Imaging
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• 제10권2호
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• pp.89-97
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• 2006

목적 : 자기공명영상 화질을 평가하는 팬텀으로서 코일 장착도구가 내장된 새로운 형태의 팬텀을 개발하였다. 대상 및 방법 : 자기공명영상 화질평가항목인 절편 두께 정확도, 공간 분해능, 대조도 분해능, 기하학적 정확도, 절편 위치 정확도, 영상강도 균일성, 고스트 신호 백분율, 신호대잡음비 등 총 8개의 사양을 가진 팬텀을 고안하였다. 팬텀의 코일 장착을 위한 장치가 팬텀 표면에 설치 되었다. 개발된 팬텀의 임상적용가능성을 알아보기 위하여 6개의 다른 종류의 자기공명영상기기를 사용하여 영상을 습득하였고 이들 화질이 평가되었다. 결과 : 사용된 모든 자기공명영상기기에서 영상평가에 문제가 없는 영상을 보여주었고 그들의 평가결과는 일부 평가항목에서 실측치와 비교하여 적절한 값 범위에 있음을 확인하였다. 코일장착도구를 사용하여 팬텀을 두부용 코일 안에 설치하는 데 문제가 없음을 확인하였다. 결론 : 본 논문에서 개발된 팬텀은 자기공명영상 화질을 평가하는 데 있어 그 임상적용 가능성이 있음을 보여주었다.

• 핵의학기술
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• 제16권1호
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• pp.70-75
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• 2012

SPECT 검사는 여러 가지 물리적인 요소들에 의해서 영향을 받기 때문에 정확한 데이터를 획득하는 것이 중요하다. 본 실험은 여러 가지 요인 중 COR에서 심장의 위치를 달리하여 두 중심이 일치할 때와 일치하지 않았을 때 영상의 균일도에 대해서 알아보고자 하였다. Philips사의 Cardio MD장비를 이용하여 cylindrical uniform phantom (직경 6.7 cm, 높이 9 cm), heart insert phantom을 COR과 각각 상 하 좌 우 100 mm 위치에서 실험하였다. Cylindrical uniform phantom과 heart insert phantom에서 획득한 영상은 line profile을 이용하여 phantom과 심장 양쪽 벽에 대한 계수 차이를 비교하였다. 육안평가는 heart insert phantom과 volunteer test를 하였다. Heart insert phantom 실험은 COR과 상 하 좌 우 100 mm 위치에서 수평으로 T-A curve를 나타내면 계수 차가 2.6%, 12.1%, 6.7%, 13.8%, 1.4%로 나타났고, 수직에서는 3.9%, 21.9%, 3.5%, 23.9%, 14.0%로 나타났다. Cylindrical phantom 실험은 수평에서 계수 차가 4.3%, 0.3%, 3.3%, 2.6%, 0.7%로 나타났고, 수직에서는 2.7%, 3.0%, 1.0%, 0.3%, 3.4%로 나타났다. Heart insert phantom과 volunteer test에서 획득한 영상의 육안평가는 COR 위치에서 가장 균등하였고, COR 제외한 위치에서는 약간의 왜곡현상이 나타났다. Phantom 종류에 따라 결과의 차이가 있었지만 육안평가와 종합해보면 심장과 COR 위치가 일치할 때 영상이 가장 균일하였다. 따라서 myocardiac SPECT 검사 시 심장과 COR의 두 중심을 일치시킴으로써 심근관류의 감쇠 또는 증가되는 왜곡현상을 예방하여 진단의 정확성을 높일 수 있을 것이다.

• 마이크로전자및패키징학회지
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• 제7권4호
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• pp.23-29
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• 2000

사용되는 metal구분 없이 반도체 공정장비들을 사용함으로써 cross-contamination을 유발시킬 수 있다. 특히, copper(Cu)는 확산이 쉽게 되어 cross-contamination에 의해 수 ppm정도가 wafer에 오염되더라도 트랜지스터의 leakage current발생 요인으로 작용할 수 있기 때문에 Si-IC성능에 치명적인 영향을 미칠 수 있는데, Si-LSI 실험실에서 할 수 있는 공정과 Si-LSI 실험실을 나와 할 수 있는 공정으로 구분하여 최대한 Si-LSI 장비를 공유함으로써 최소한의 장비로 Cu cross-contamination문제를 해결할 수 있다. 즉, 전기도금을 할 때 전극으로 사용되어지는 TiW/Al sputtering, photoresist (PR) coating, solder bump형성을 위한 via형성까지는 Si-LSI 실험실에서 하고, 독립적인 다른 실험실에서 Cu-seed sputtering, solder 전기도금, 전극 etching, reflow공정을 하면 된다. 두꺼운 PR을 얻기 위하여 PR을 수회 도포(multiple coaling) 하고, 유기산 주석과 유기산 연의 비를 정확히 액 조성함으로서 Sn:Pb의 조성비가 6 : 4인 solder bump를 얻을 수 있었다. solder를 도금하기 전에 저속 도금으로 Cu를 도금하여, PR 표면의 Cu/Ti seed층을 via와 PR표면과의 저항 차를 이용하여 PR표면의 Cu-seed를 Cu도금 중에 etching 시킬 수 있다. 이러한 현상을 이용하여 선택적으로 via만 Cu를 도금하고 Ti층을 etching한 후, solder를 도금함으로써 저 비용으로 folder bump 높이가 60 $\mu\textrm{m}$ 이상 높고, 고 균일/고 밀도의 solder bump를 형성시킬 수 있었다.

• Elastomers and Composites
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• 제48권4호
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• pp.282-287
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• 2013

슬롯코팅은 평판 디스플레이의 부품을 위해 유리에 감광제를 코팅방법으로 많이 쓰이고 있다. 갈수록 고화질의 디스플레이가 요구됨에 따라 코팅의 고품질도 요구되고 있다. 슬롯코팅에서 코팅의 품질은 노즐방향의 코팅 균일성과 운전방향의 코팅 균일성으로 평가된다. 노즐방향의 코팅 균일성은 코터다이 내부의 설계에 의존되며 운전방향의 코팅 균일성은 코터다이 외부의 모양과 운전조건에 의존된다. 본 연구에서는 스롯코팅에서 운전방향의 코팅 균일성에 대해서 컴퓨터해석을 통하여 조사하였다. 해석에서 다이 외부의 형상으로 다이 립 각도와 길이를 변수로 하였고, 운전조건으로는 코팅속도를 변수로 하여 코팅 현상을 분석하고 코팅의 품질을 평가하였다. 코팅속도가 커질수록 코팅두께가 얇아지며 코팅의 균일성이 증대되었으나 maniscus형성이 불안정하여 코팅의 안정성은 감소되었다. Down stream 다이 립 각도가 커질수록 코팅두께의 편차는 작아졌으며, Down stream 다이 립 길이가 길수록 코팅 두께는 얇아졌고 안정적인 코팅이 이루어지기까지의 시간이 길어졌다.

• 항공우주시스템공학회지
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• 제14권3호
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• pp.42-50
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• 2020

우주용 적외선 센서의 탑재 교정용 흑체 시스템은 궤도상에서 센서 출력특성 교정을 위해 다양한 기준온도에서 한정된 개수의 온도센서로부터 고정밀의 대표표면온도 추정이 가능해야 한다. 본 논문에서 제안된 흑체 시스템은 흑체 가열 후 잔열 수송을 위한 히트파이프를 흑체 후면 중앙의 일체형 플랜지에 결합하는 방식을 적용하였다. 따라서 흑체 표면온도구배 최소화와 함께 원형 대칭 형태의 온도구배를 얻을 수 있어 표면온도 추정이 용이하면서도 발사 및 궤도환경에서 하중이 가해지더라도 안정적인 히트파이프 접속부를 갖도록 하며, 복수의 히트파이프 적용에 따른 Fail Safe 설계가 가능하도록 한다. 또한 온도센서 부착작업이 용이하도록 센서를 흑체 외부 표면에 적용하더라도 높은 정확도로 표면온도 추정이 가능하다. 본 논문에서 제안된 흑체 시스템의 설계 유효성 입증을 위해 궤도 열해석을 수행하였으며, 해석결과를 기반으로 온도센서 개수 및 위치에 따른 대표표면온도 추정을 실시하였다.

• 정보보호학회논문지
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• 제25권5호
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• pp.1257-1268
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• 2015

다기능 주변기기는 원래 이미지 처리 작업을 중심으로 수행하는 장치였지만 팩스 기능이 결합하여 전자화된 이미지 데이터를 전송하는 기능과 네트워크 기능이 추가되어 비약적으로 발전하였다. 또한, 다기능 주변기기는 인터넷 응용, 애플리케이션 확장, 원격 공유, 이미지 처리의 기능이 추가되었다. 하지만 다기능 주변기기는 네트워크 연결로 인한 위협으로 발생하는 데이터 노출 및 도청 등의 보안 취약점이 발생할 수 있다. 따라서 다기능 주변기기에 대한 평가 기준이 필요하지만, 현재는 다기능 주변기기에 대한 공통된 보호프로파일이 존재하지 않아서 제품에 대한 안전성을 평가하는데 구체적인 평가 기준을 적용하지 않아 평가 품질의 균일성을 유지하는 것이 어려웠다. 따라서 본 논문에서는 다기능 주변기기에 대한 위협을 분석하여 안전한 다기능 주변기기를 사용하기 위해서 공통평가기준을 기반으로 다기능 주변기기에 대한 보호프로파일을 개발하였다.

• 한국지역사회생활과학회지
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• 제24권2호
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• pp.251-258
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• 2013

Korean oil and honey Yukwa has been paid attention as formal cake for traditional national seasons' holiday and religious service. Quality of Yukwa, however, has been maintained arbitrarily by each Yukwa manufacturer. Since even same Yukwa had severe differences in size, weight, and pattern, it has given the negative effect to the consumer. Yukwa industries need to setup the quantitative quality specifications instead of qualitative ones to maintain the uniformity of Yukwa quality. Efficient and economical inspection and process control system should be developed. In developing quality standards of Yukwa, features which can measure quality quantitatively in real time should be properly chosen. Existing quality features such as acidity, oxidization, hardness, viscosity, and texture were measured by the chemical or physical base destructive methods. Many research and developments have been performed in investigating and analyzing chemical transition states of those quality features as environment or storage condition changes. Most methods, however, require either off-line or complex treatment or time consuming process of analysis in evaluating quality features. Consumer, however, selects products mostly based on the external features such as shape, size, and color. Therefore, critical visual quality features should be chosen and the efficient real time measurement system must be developed. In this paper, computer image acquisition and processing system were developed and software modules were developed to extract the quantitative data of those features in real-time. Computer image processing system will promote in maintaining uniform quality of Yukwa and establishing quality standards of Yukwa.

• 대한의용생체공학회:학술대회논문집
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• 대한의용생체공학회 1997년도 추계학술대회
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• pp.365-368
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• 1997

We are developing a small gamma camera or imaging malignant breast tumors. The small scintillation camera system consists of NaI(Tl) crystal ($60\;{\times}\;60\;{\times}\;6\;mm^3$) coupled to position sensitive photomultiplier tube (PSPMT), nuclear instrument module (NIM), analog to digital converter (ADC), and personal computer. High quality flood source image and hole mask image were obtained using the gamma camera developed in this study. Breast phantom containing $2{\sim}7\;mm$ diameter spheres was successfully imaged with parallel hole collimator. The obtained image displayed accurate activity distribution over the imaging field of view. Linearity and uniformity correction algorithms are being developed. It is believed that the developed small gamma camera could be useful or detection of malignant breast cancer.

• 대한의용생체공학회:의공학회지
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• 제19권4호
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• pp.351-360
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• 1998

아날로그 감마카메라에 비해 디지털 카메라는 Q.C가 편리하고, Calibration과 조작이 매우 쉬운 장점들을 갖고 있어 영상 질을 향상시킬 뿐만 아니라 진단의 정확도를 높일 수 있다. 더욱이, 디지털 카메라로 획득한 디지털 영상은 PACS(Picture Archiving and Communication System) 뿐만 아니라 원격진료에도 활용될 수 있다. 그러나, 많은 병원들이 아직도 아날로그 카메라를 사용하고 있고 이들을 디지털 카메라로 대체하기는 어려운 상황에 있다. 본 연구는 아날로그 감마카메라를 디지털화 할 수 있는지의 가능성을 보는 것이었다. 카메라를 디지털화 한 후 균일도 계수능력 등의 물리적 특성을 측정하였다. 임상에서의 사용 가능성을 보기 위해 아날로그 시스템과 디지털 시스템을 동시에 연결하여 임상 데이터들을 획득하였다. 이들의 결과는 임상환경에서 아날로그 카메라를 디지털화 하 수 있다는 가능성을 보여주었다.