Development of rotational z-scanner for 3D-AFMto measure nano structure side wall property (나노 구조체 측면 측정을 위한 드리프트를 최소화한 3D AFM의 회전 Z스캐너 개발)
-
- Proceedings of the Korean Society of Precision Engineering Conference
- /
- 2011.06a
- /
- pp.849-850
- /
- 2011