Proceedings of the Korean Society of Precision Engineering Conference (한국정밀공학회:학술대회논문집)

2011.06a
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Pages.849-850
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2011
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2005-8446(pISSN)

Korean Society for Precision Engineering (한국정밀공학회)

권호 표지

Development of rotational z-scanner for 3D-AFMto measure nano structure side wall property

나노 구조체 측면 측정을 위한 드리프트를 최소화한 3D AFM의 회전 Z스캐너 개발

안병운 ((주)파크시스템스) ;
조상준 ((주)파크시스템스) ;
이주석 ((주)파크시스템스) ;
박상일 ((주)파크시스템스)

Published : 2011.06.01

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Abstract

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