• 대한전자공학회:학술대회논문집
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• 대한전자공학회 2001년도 하계종합학술대회 논문집(2)
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• pp.197-200
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• 2001

Novel Enhanced Inductively Coupled Plasma is applied to etch $SiO_2$. Effect of $O_2$ or Ar addition to $C_{4}F_{8}$ gas is monitored by Optical Emission Spectroscopy and Quadrupole Mass Spectrometer. It is fund that Ar or $O_2$ dilution to $C_{4}F_{8}$ increases F emission intensity and decreases $CF_2$ intensity. However, the ac frequency to the Helmholtz coil decreases the F intensity and thus increases $CF_2$/F ratio. By adjusting the ac frequency, the optimum etch rate and PR to $SiO_2$ selectivity can be obtained in E-lCP.

• 대한전기학회:학술대회논문집
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• 대한전기학회 2015년도 제46회 하계학술대회
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• pp.685-686
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• 2015

This paper describes design results of the measurement system to test the properties of broadband AC magnetic field sensors used in weapon system. This measurement system consists of 3-axis helmholtz coil, signal generator, signal amplifier, sensor data acquisition unit and measurement & analysis controller including the operating software. This system is able to measure various properties of AC magnetic field sensor such as sensitivity, linearity and dynamic response in the frequency of 1 Hz to 10 kHz. The performance of this system was verified by measuring and analyzing the property of a MAG 639, standard magnetic field sensor of bartington instruments, with this developed system.

• 한국자기학회지
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• 제24권1호
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• pp.22-27
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• 2014

자북을 지시하는 방위각 측정용 센서는 항공기와 선박이나 스마트폰 등에 널리 사용되고 있다. 센서의 좌표계가 회전을 하였을 경우도 방위각(azimuth angle) 및 회전각(roll angle)를 지시할 수 있게 하기위하여 3-축의 가속도 센서가 추가로 사용된다. 본 연구에서는 방위각센서에 부착된 3-축의 자기장센서의 특성을 측정하거나, 방위각센서용 3-축의 자기장센서를 개발하기 위하여 3-축의 자기장센서의 방위각 특성을 측정할 수 있는 장치를 개발 제작하였다. 3-축의 자기장발생을 위해서 직경이 290 mm 이상인 3-축의 헬름홀쯔 코일을 사용하여 코일 중심 ${\pm}30mm$ 범위에서 자기장의 분포의 균일도가 0.2 % 이내가 되게 하였다. 비자성실험실이 아닌 일반실험실에서도 실험이 가능하게 소형의 헬름홀쯔 코일과 3-축의 마그네토미터를 사용, 환경자기장(지구자기장+건축물에 의한 자기장)을 보상하고 시험하고자하는 자기장을 컴퓨터 소프트웨어로 제어를 할 수 있게 시험 장치를 고안하였다. 제작된 장치는 자기장을 0.2 % 정확도로, 직각도를 $0.2^{\circ}$, 환경자기장을 10 nT 이하로 보상할 수 있었다. 또한 제작된 장치의 성능검증을 위하여 상용의 방위각센서에 대하여, 그 특성을 측정하여보았다.

• 비파괴검사학회지
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• 제23권4호
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• pp.356-363
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• 2003

플랜트, 산업용 설비로서 사용되어지고 있는 강관의 결함 검출을 위한 와전류검사장비를 개발하였다. 강관은 내부 불균일 한 전자기적 특성을 포함하고 있는 자성체로서 와전류검사의 응답신호를 왜곡시키므로 이러한 전자기적 특성의 균일화를 위해 자기포화가 요구된다. 자기포화가 없을 경우 결함신호는 잡음신호와 구별되지 않았으나 약 0.62A의 전류가 코일에 가해졌을 때 자기포화되어 결함을 검출 할 수 있었다 자기포화형 탐촉자는 헬름홀츠 코일을 적용하여 제작하였고 내부 대역 통과필터를 이용하여 직류자기장으로 야기되는 잡음신호를 최소화하였다. 개발된 장비를 이용한 현장실험 결과 1m/sec의 이송속도에서 관통홀$({\phi}=2.0mm)$ 결함을 정확히 검출 할 수 있었다.

• 수산해양기술연구
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• 제39권3호
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• pp.181-188
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• 2003

최근 널리 개발되고 있는 디지털형 지자기 감지형 컴퍼스의 전자장에서의 다양한 성능을 펑가하기 위한 3축형 인공자장발생장치를 실험적으로 제작하고, 그 성능 특성을 검토한 결과는 다음과 같다. 1. 3축형 인공자장발생장치의 X,Y,X 각축에 대한 자력의 변화는 전류의 증가에 따라 선형적으로 증가하였고, 측정치는 이론치와의 비교에서도 그 차의 평균 범위가 0.33～1.93$\uT$로 이론치와 거의 일치하여 제작된 인공자장발생장치의 성능은 양호한 것으로 판단된다. 2. 헬름홀츠 코일내의 가장자리에서는 다소 불규칙한 자력의 변화가 발생하였지만, 중심으로 갈수록 그 변동이 안정되는 경향을 나타내었다. 3. 자기 컴퍼스의 제진특성의 측정치와 이론치와의 비교에서 수평자력 0.30gauss 및 0.40gauss 에서는 성능이 양호한 것으로 판단되나, 수평자력 0.50gauss 에서는 다소 큰 차이가 나타내어 0.40gauss 이상의 비교적 높은 자력에서는 신뢰도가 낮은 것으로 판단되었다. 4. 0.30gauss 의 자장 속에서 측정된 수반각은 1rpm의 회전속도에서 1$\circ$로서 이 값은 국제성능 표준규격(6 $\circ$미만)에 적합하였다.

• 한국자기공명학회논문지
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• 제21권1호
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• pp.7-12
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• 2017

The nuclear magnetic resonance (NMR) and atomic magnetic resonance (AMR) plays a fundamental role in achieving a high accuracy of magnetic field measurements. Magnetic field unit (T) was realized based on the shielded proton gyromagnetic ratio (${\gamma}^{\prime}_P$), helium-4 gyromagnetic ratio (${\gamma}_{4He}$) and related techniques. The magnetic field standard system has been disseminated by the NMR magnetometer and electromagnet, a Helmholtz coil system, and AMR magnetometer in the nonmagnetic laboratory. A magnetic field standard below 1 mT has been developed by using Cs and Cs- $^4He$ AMR with automatic compensation of an external magnetic field noise. The standards serve for the calibration of magnetometers and support the test of sensors and materials in the range from $5{\mu}T$ to 2.0 T with (1 to 50) ${\mu}T/T$ uncertainty (k=2).

• 생물환경조절학회지
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• 제15권4호
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• pp.412-416
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• 2006

전자파 자기장 발생 장치를 개발하여 제작한 후, 이를 수경재배와 배지경의 양액 공급관에 장착하여 물에 자기장을 쬔 자화수 처리의 유무에 따른 수질 성분변화, 배추와 상추의 생장량 변화, 그리고 성분 변화를 분석하였다. 자화수 처리구는 무처리구에 비해 비타민 C 함량이 상추 2.8배, 배추 1.2배로 더 많았다. 또한 자화수 처리에 의한 생장촉진 효과는 상추의 수경과 배지경 재배에서 현저히 나타났으나 배추의 토경재배는 자화수 처리의 효과가 미미하였다. 따라서 토경재배 상추에서 자화수 처리에 의해 생장과 비타민의 함량을 높일 수 있을 것으로 기대된다.

• 조명전기설비학회논문지
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• 제24권6호
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• pp.154-159
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• 2010

본 논문에서는 0.1[Hz]에서 60[Hz]의 저주파 자기장을 차폐할 수 있는 경량의 자기차폐실을 설계하고, 차폐실을 제작하여 차폐율을 측정하였다. 자기차폐실의 크기는 산업용 측정기기가 들어갈 수 있는 3.0[m](W)$\times$ 3.0[m](L)$\times$3.0[m](H)로 하였으며, 투자율이 높은 자성체의 직류차폐와 교류차폐특성, 도전성물질의 와전류에 의한 차폐율을 계산하였고, 설계된 결과로부터 차폐실의 구조 값을 구하였다. 설계된 차폐실의 타당성을 검토하기 위하여 저주파 차폐실을 제작하고 차폐율을 측정하여 계산값과 비교하였다. 측정결과는 0.1[Hz]에서 5배 이상의 차폐율을 만족하였고, 60[Hz]에서는 86배였다. 따라서 본 논문에서 제작한 자기차폐실은 저주파 자기차폐실로 사용할 수 있을 것으로 생각된다.

• Journal of the Korean Association of Oral and Maxillofacial Surgeons
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• 제28권4호
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• pp.264-273
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• 2002

Pulsed electromagnetic field (PEMF) was used first to induce osteogenesis in 1974. The appliance which was consisted of the Helmholtz coil configuration have used to osteogensis. The objective of this study was to determine whether PEMF, a frequency of 100 Hz and magnetic field strength of 38 gauss applied to the calvarial defect in rabbit, could affect the induction of osteogenesis and the healing of the graft bone. This field should not produce excitation of nerve or muscle and heating the tissue. To evaluate the effect of PEMF on osteogenesis, 16 rabbit under the same condition was divided into 8 experimental groups and 8 control groups. 10 mm calvarial bone defects were formed around sagittal suture. The defect of left side was left without graft while the defect of right side was grafted by bone harvested from left side. A pulsed electromagnetic field was applied for 8 hours per day. Each group was sacrificed after 1 week, 2 weeks, 4 weeks, 8 weeks. Microscopic specimens were obtained from the calvarial bone defects and surrounding tissue using Hematoxylin-Eosin staining method. The results were as follows. 1. In the group which pulsed electromagnetic field was applied, new bone formation filled up the defect was observed after 4 and 8 weeks effectively. 2. There are no difference in the healing period for the fusion between the bone and graft bone. According to the result, the PEMF with 38 Gauss, 100 Hz was very effective in the healing of bone defect and new bone formation. So The PEMF will be useful in clinical aspect for oseteogenesis.

• 전자공학회논문지
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• 제50권12호
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• pp.270-276
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• 2013

자기장에 대하여 우리는 부지불식간에 많이 노출되고 있고 이와 관련된 영향에 대한 연구도 많이 진행되어 왔다. 역학 조사를 통한 연구도 있고, 실험실 수준의 연구도 있다. 실험실 수준의 연구의 경우, 인위적인 자기장 생성을 통해서 세포에 자극을 가하고 이에 대한 영향을 관찰한다. 세포 실험에서 많이 사용되는 주파수와 파형은 다양하지만, 그 크기는 보통 10G 내외이다. 지구 자계의 크기인 300-400mG 정도와 비교하면 크다고 할 수 없으나, 오래 전부터 이 환경에 적응되어 왔기 때문에 인위적으로 가하는 자기장 세기의 3-4%의 크기지만 무시할 수 없다. 본 연구에서는 주변 자기장에 대한 영향을 고려하여 실험할 수 있도록 양방향 정자계 생성이 가능한 자기장 발생 장치를 설계하고 구현하였다. 제안된 시스템으로 조절 가능한 정자계의 크기는 ${\pm}500mG({\pm}50uT)$까지이며 최소 ${\pm}5mG({\pm}0.5uT)$까지 주변 자기장을 실시간으로 상쇄시킬 수 있었다.