• Journal of the Korean Ceramic Society
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• v.39 no.6
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• pp.570-575
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• 2002

The present tendency of electrical and electronics is concentrated on MEMS devices for advantage of miniaturization, intergration, low electric power and low cost. Therefore it is essential that high aspect ratio and high etch rate by HDP technology development, so that silicon deep trench etching reactions was studied by ICP equipment. Deep trench etching of silicon was investigated as function of platen power, etch step time of etch/passivation cycle time and SF$\_$6/:C$_4$F$\_$8/ flow rate. Their effects on etch profile, scallops, etch rate, uniformity and selectivity were also studied.

• Proceedings of the Korean Institute of Information and Commucation Sciences Conference
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• 2013.05a
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• pp.954-956
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• 2013

IOS/IEEE 11073 PHD 표준들은 u-헬스 측정기기와 u-헬스 게이트웨이간의 통신을 가능하게 하도록 설계되어 있다. 모바일 단말기를 데이터 취합을 위한 중계기로 활용하고 별도의 게이트웨이를 구성하여 헬스케어 의료기기를 연동하고 모니터링을 위한 인터페이스를 제공해 왔으나 스마트폰 애플리케이션 단계에서 IEEE 11073 플랫폼을 포함하여 헬스케어 의료기기를 활용하는 u-헬스케어 서비스를 제공하기에는 많은 제약이 있다. 이에 본 논문에서는 Android 4.0.x OS 스마트폰을 대상으로 Bluetooth HDP을 활용하여 u-헬스케어 시스템에서의 게이트웨이/서버 플랫폼 기능을 포함하는 헬스케어 의료기기의 모니터링 애플리케이션 시스템을 설계하였다.

• Nuclear Medicine and Molecular Imaging
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• v.43 no.6
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• pp.592-595
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• 2009

Juvenile dermatomyositis is a common inflammatory muscle disease of childhood, characterized by weakness in proximal muscles and specific skin rash. In case of juvenile dermatomyositis without characteristic clinical features, non-invasive imaging tools such as $^{99m}Tc$-HDP three-phase bone scan are very helpful in diagnostic workup of myopathies. We report a case of 13-year old female with juvenile dermatomyositis, in which $^{99m}Tc$-HDP three-phase bone scan was useful in diagnosis and assessing therapy response.

• Proceedings of the Korean Institute of Information and Commucation Sciences Conference
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• 2014.10a
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• pp.88-90
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• 2014

최근 스마트 TV가 방송과 통신을 결합하고 융합하여 보다 다양한 콘텐츠를 제공하면서 헬스케어, 스마트 홈으로 서비스 영역을 확장시킬 수 있는 보다 능동적인 매체로 부각되면서 스마트 헬스케어 분야에 적극적으로 활용될 것으로 기대되고 있다. 그러나 현재 헬스케어 서비스는 대부분의 개인건강기기에서 사용자의 신체를 측정하고 확인하기 위해서는 건강기기 제조사별로 존재하는 고유의 인터페이스를 통해서만 확인이 가능하며 스마트 TV 환경에서 헬스케어 서비스를 제공하기 위해서는 스마트 TV의 특징을 고려한 통합 게이트웨이 및 건강관리 애플리케이션이 필요하다. 따라서 본 논문에서는 스마트 TV 환경에 따른 헬스케어 서비스를 제공하기 위해 Bluetooth HDP를 활용한 통합 게이트웨이를 설계하고 이를 기반으로 홈 헬스케어 시스템을 구현하고자 한다.

• Journal of KIISE
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• v.44 no.10
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• pp.1026-1033
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• 2017

In this paper a Bayesian modeling and duration-based prediction method is proposed for health clinic time series data using the Hierarchical Dirichlet Process Hidden Markov Model (HDP-HMM). HDP-HMM is a Bayesian extension of HMM which can find the optimal number of health states, a number which is highly uncertain and even difficult to estimate under the context of health dynamics. Test results of HDP-HMM using simulated data and real health clinic data have shown interesting modeling behaviors and promising prediction performance over the span of up to five years. The future of health change is uncertain and its prediction is inherently difficult, but experimental results on health clinic data suggests that practical long-term prediction is possible and can be made useful if we present multiple hypotheses given dynamic contexts as defined by HMM states.

• Journal of the Semiconductor & Display Technology
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• v.9 no.4
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• pp.39-43
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• 2010

According to recent changes in industry for the semiconductor device, a gap between patterns in wafer is getting narrow. And this narrow gap makes a failure of uniform deposition between center and edge on the wafer. In this paper, for solving this problem, we analyze and manipulate the gas flow inside of the HDP CVD chamber by using CFD(Computational Fluid Dynamics). This simulation includes design manipulations in heights of the chamber and shape of center nozzle in the upper side of the chamber. The result of simulation shows 1.28 uniformity which is lower 3% than original uniformity.

• Proceedings of the Korean Institute of Surface Engineering Conference
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• 2006.10a
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• pp.2-3
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• 2006

본 논문에서는 신경망 모델링을 통하여 HDP-CVD를 이용한 실리콘 산화막 형성에 영향을 주는 다섯 가지 공정 장비 변수와 그에 따른 두 가지 출력 파라미터 Deposition rate과 Uniformity와의 관계를 동시에 고려한 특성결과를 분석하고， 최적의 recipe를 Genetic Algorithm을 통해 제시하였다. 실험계획법을 사용하여， 필요한 실험의 횟수를 최소화 하였으며 그 실험결과를 신경망 모델링을 통하여 입력변수와 출력파라미터의 관계를 3차원의 반응표면 곡선으로 분석하였다. 이 과정을 통해 Deposition rate과 Uniformity을 동시에 고려한 두 출력파라미터를 만족하는 최적의 입력변수 값들을 제시하였다.

• Proceedings of the KIEE Conference
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• 2006.07c
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• pp.1398-1399
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• 2006

현재 상용화된 OLED 소자는 최대 단점인 수분 취약성의 원인으로 top emission과 flexible 타입으로 제조되는데 장애가 되고 있다. 따라서 top emission 방식과 flexible한 소자를 실현하기 위해 수분 및 산소 침투를 방지하기 위한 유전체 막의 실험이 진행되고 있는데, 본 실험에서는 기존의 PECVD보다 plasma의 density가 높은 HDP(High Density Plasma)-CVD를 사용해 SiOx 및 SiNx 유전체 film을 증착하였고 MOCON 테스트를 통한 수분침투 방지막으로써의 가능성을 검증하였다.

• Proceedings of the Korean Society of Precision Engineering Conference
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• 2012.05a
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• pp.459-460
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• 2012

• Nuclear Medicine and Molecular Imaging
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• v.42 no.6
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• pp.491-493
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• 2008