Proceedings of the KIEE Conference (대한전기학회:학술대회논문집)
- 2006.07c
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- Pages.1398-1399
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- 2006
Thin film permeation barrier for OLED using HDP-CVD
HDP-CVD를 이용한 OLED용 수분침투 방지막에 대한 연구
Abstract
현재 상용화된 OLED 소자는 최대 단점인 수분 취약성의 원인으로 top emission과 flexible 타입으로 제조되는데 장애가 되고 있다. 따라서 top emission 방식과 flexible한 소자를 실현하기 위해 수분 및 산소 침투를 방지하기 위한 유전체 막의 실험이 진행되고 있는데, 본 실험에서는 기존의 PECVD보다 plasma의 density가 높은 HDP(High Density Plasma)-CVD를 사용해 SiOx 및 SiNx 유전체 film을 증착하였고 MOCON 테스트를 통한 수분침투 방지막으로써의 가능성을 검증하였다.
Keywords