An Analysis of Light-Induced Degradation of PECVD a-Si Films Using $SiF_4$
($SiF_4$ 를 이용하여 증착한 PECVD 박막의 빛에 의한 열화도 특성 분석)
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- Proceedings of the KIEE Conference
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- 1995.07c
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- pp.1019-1021
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- 1995